机械臂制造技术
Mechanical arm
The utility model relates to a mechanical arm, comprising a motor, electrically connected with the motor and control the motor controller, a motor, a motor set with a telescopic arm for a suite, transfer plate is connected with a motor and a suite of telescopic lifting shaft is movably connected with the telescopic arm and the suite on the other end of the lifting shaft and motor set coaxially connected and the lifting shaft along the axial lifting motor set, the other end of the telescopic boom kit is movably connected with the lifting shaft. The mechanical arm of the utility model greatly expands the freedom and transmission space of the mechanical arm through the activity of telescopic arm assembly controlled by the motor, improves the transmission efficiency of the manipulator, and does not cause damage to the wafer surface, so it is worth promoting in practical production.
【技术实现步骤摘要】
机械臂
本技术涉及一种机械装置，尤其涉及一种机械臂。
技术介绍
以砷化镓（GaAs）为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料由于其独特的电学性能，在卫星通讯、微波器件、激光器及发光二极管领域有着十分广泛的应用。异质结双极晶体管、高电子迁移率晶体管、LED等器件的制作需要在高质量的衬底表面用分子束外延或者有机金属化合物气相外延技术生长外延结构。随着半导体器件工艺制作的不断完善，器件尺寸越来越小，利用率也越来越高，半导体衬底的质量尤其是晶片表面的质量对器件的可靠性和稳定性影响也越来越大。晶片清洗是获取高质量高稳定性的半导体晶片重要的环节之一，在晶片清洗前，晶片需要进行稳定的放置，为了后续清洗的方便，从存取装置传送到清洗机的过程中需要用到机械臂，现有的机械臂极容易损伤晶片表面，而且活动的自由度很小，造成传送效率低，无法实现自动化生产。所以，急需提出一种新的机械臂来解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于传送晶片的机械臂。为实现前述目的，本技术采用如下技术方案：一种机械臂，包括一电机、电性连接电机并控制电机的一控制器、包覆电机的一电机套、一伸缩臂套件、用于连接电机及...
【技术保护点】
一种机械臂，其特征在于：包括一电机、电性连接电机并控制电机的一控制器、支撑电机的一电机套、一伸缩臂套件、用于连接电机及伸缩臂套件的一升降轴以及活动连接在伸缩臂套件一端上的一传送板，所述升降轴与电机套同轴连接且升降轴能够沿着电机和/或电机套进行轴向升降，所述伸缩臂套件的另一端与升降轴活动连接。
【技术特征摘要】
1.一种机械臂，其特征在于：包括一电机、电性连接电机并控制电机的一控制器、支撑电机的一电机套、一伸缩臂套件、用于连接电机及伸缩臂套件的一升降轴以及活动连接在伸缩臂套件一端上的一传送板，所述升降轴与电机套同轴连接且升降轴能够沿着电机和/或电机套进行轴向升降，所述伸缩臂套件的另一端与升降轴活动连接。2.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于：所述伸缩臂套件包括第一伸缩臂和第二伸缩臂两个伸缩臂，所述第一伸缩臂和第二伸缩臂分别包括第一端和第二端，所述第一伸缩臂的第一端活动连接升降轴，所述第一伸缩臂的第二端能够自由活动。3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘留，沈艳东，周铁军，廖彬，曾小东，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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