机械手臂制造技术

本实用新型专利技术提供一种机械手臂，该机械手臂包括座体、伸缩调节机构、旋转调节机构、机械手臂本体、传感器、以及控制单元，该伸缩调节机构设置于该座体上且可沿着该座体水平移动，该旋转调节机构固定于该伸缩调节机构上，该机械手臂本体水平地固定于该旋转调节机构上端且可随该旋转调节机构水平转动，该传感器为四个且分别设置于下电极四角的外侧，该传感器感测其上方玻璃基板是否存在偏移，若有偏移则反馈给该控制单元，该控制单元将调整信号发送给该旋转调节机构和该伸缩调节机构，该旋转调节机构和该伸缩调节机构根据接收的该调整信号进行相应的调整。本实用新型专利技术提供的该机械手臂，可对该机械手臂本体自动校准，节约大量的人力物力。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液晶显示面板制造
，尤其涉及一种可自行校正的机械手臂。
技术介绍
在液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)的阵列基板制造过程中，需要对玻璃基板实施刻蚀制程。刻蚀包括干刻蚀和湿刻蚀两种。干刻蚀由于具有高保真性以及各向异性刻蚀而被广泛应用，干刻蚀是在真空条件下通过上、下电极作用产生电浆(plasma)来轰击薄膜材料实现刻蚀加工。干刻蚀前，需要通过机械手臂将玻璃基板传送至干刻蚀机台而后进行刻蚀制程，为了使玻璃基板上的薄膜材料在刻蚀时全部被刻蚀到，故而干刻蚀机台的轰击位置对应于整个下电极位置，因此需要机械手臂将玻璃基板精准运送至下电极正上方的位置，且恰好覆盖于整个下电极上，而防止裸漏出下电极，避免在刻蚀过程对下电极轰击而造成下电极漏电、损坏等。目前，机械手臂的调整都是通过工作人员手工操作来完成，为了保证机械手臂运送的精准性，需要工作人员大量反复的调整与校准，并通过一系列的传片测试来确认，其必然产生大量的人力与物力成本的浪费，同时传片测试也会造成一定量的玻璃基板的损坏；再者，由于玻璃基板边缘仅比下电极边缘略大一点(约1.5～2mm)，而使得机械手臂的调整相当困难。
技术实现思路
鉴于上述状况，有必要提供一种结构简单、可自动校正的机械手臂，以解决现有技术中的不足。本技术提供一种机械手臂，所述机械手臂包括座体、伸缩调节机构、旋转调节机构、机械手臂本体、传感器、以及控制单元，所述伸缩调节机构设置于所述座体上且可沿着所述座体水平移动，所述旋转调节机构固定于所述伸缩调节机构上，所述机械手臂本体水平地固定于所述旋转调节机构上端且可随所述旋转调节机构水平转动，所述传感器为四个且分别设置于下电极四角的外侧，所述控制单元分别与所述旋转调节机构、所述伸缩调节机构、及所述传感器电性连接；所述传感器感测其上方玻璃基板是否存在偏移，若有偏移则反馈给所述控制单元，所述控制单元将调整信号发送给所述旋转调节机构和所述伸缩调节机构，所述旋转调节机构和所述伸缩调节机构根据接收的调整信号进行相应的调整。进一步地，所述伸缩调节机构包括主动辊轴、从动辊轴、传动带、以及滑块，所述主动辊轴与所述从动辊轴分别固定于所述座体的上端，所述传动带传动连接于所述主动辊轴和所述从动辊轴上，所述滑块固定于所述传动带上且在所述传动带的带动下于所述主动辊轴与所述从动辊轴之间移动。进一步地，所述伸缩调节机构还包括伸缩伺服器，所述伸缩伺服器设置于所述主动辊轴的下方且与所述主动辊轴连接，所述伸缩伺服器与所述控制单元电性连接并接收所述控制单元调整信号而控制所述主动辊轴的转动。进一步地，所述传动带的两端分别绕过所述主动辊轴和所述从动辊轴，而后所述传动带的两端分别固定于所述滑块相对的两侧且所述传动带保持绷紧，所述滑块的下表面与所述座体的上表面相接触。进一步地，所述滑块的下表面和所述座体的上表面均光滑。进一步地，所述旋转调节机构包括转盘和旋转伺服器，所述转盘水平地嵌设于所述滑块上表面的圆形槽体中，所述机械手臂本体水平地固定于所述转盘上，所述旋转伺服器设置于所述转盘的下方且与所述转盘连接，所述旋转伺服器与所述控制单元电性连接并接收所述控制单元调整信号而控制所述转盘的轴向转动。进一步地，所述机械手臂本体为水平的叉状结构。进一步地，所述机械手臂本体的上表面设置有防滑层。如上所述，本技术实施例的技术方案带来的有益效果是：本技术的机械手臂，可对机械手臂本体自动校准，节约大量的人力物力，校准时间短，提升工作效率，使得机械手臂本体可以精准的输送玻璃基板，玻璃基板覆盖于整个下电极上，而避免在刻蚀过程中对下电极轰击。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1是本技术实施例的机械手臂的俯视图；以及图2是图1的主视图。具体实施方式为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本技术的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。图1是本技术实施例的机械手臂的俯视图，图2是图1的主视图。为方便描述，图1中除了机械手臂10之外还包括玻璃基板20和下电极30。具体地，请参阅图1所示，本实用新型实施例的机械手臂10，包括座体11、伸缩调节机构12、旋转调节机构13、机械手臂本体14、传感器15、以及控制单元16。座体11呈长方体状结构，座体11用于固定伸缩调节机构12、旋转调节机构13、机械手臂本体14。座体11的上表面光滑。伸缩调节机构12包括主动辊轴121、从动辊轴122、传动带123、伸缩伺服器124、滑块125。主动辊轴121与从动辊轴122分别固定于座体11的上端，且主动辊轴121与从动辊轴122可轴向转动，主动辊轴121与从动辊轴122的直径相同，传动带123传动连接于主动辊轴121和从动辊轴122上且传动带123保持绷紧，主动辊轴121的下方连接有伸缩伺服器124。伸缩伺服器124控制主动辊轴121的转动，主动辊轴121带动传动带123运动，从动辊轴122通过传动带123带动而与主动辊轴121同步转动。滑块125固定于传动带123上且在传动带123的带动下可于主动辊轴121与从动辊轴122之间移动，具体地，传动带123的两端分别绕过主动辊轴121和从动辊轴122，而后传动带123的两端分别固定于滑块125相对的两侧，传动带123保持绷紧，滑块125的下表面与座体11的上表面相接触(座体11支撑滑块125)，滑块125的下表面光滑，座体11的上表面光滑，滑块125与座体11之间的相对运动摩擦力较小。旋转调节机构13包括转盘132和旋转伺服器134。为配合转盘132的设置，而于滑块125的上表面开设有圆形槽体126，转盘132呈圆形板状，转盘132水平地嵌设于圆形槽体126中，转盘132的直径等于或略小于圆形槽体113的直径，转盘132的上表面略高于滑块125的上表面。旋转伺服器134设置于转盘132的下方且与转盘132连接，旋转伺服器134控制转盘132的轴向转动。机械手臂本体14为水平的叉状结构，机械手臂本体14水平地固定于转盘132的上表面，机械手臂本体14的轴向平行于传动带123，机械手臂本体14的下端面高于滑块125的上表面，机械手臂本体14可随转盘132的轴向转动而水平转动，同时机械手臂本体14还可随滑块125水平移动而水平移动。机械手臂本体14的上表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机械手臂(10)，其特征在于：所述机械手臂(10)包括座体(11)、伸缩调节机构(12)、旋转调节机构(13)、机械手臂本体(14)、传感器(15)、以及控制单元(16)，所述伸缩调节机构(12)设置于所述座体(11)上且可沿着所述座体(11)水平移动，所述旋转调节机构(13)固定于所述伸缩调节机构(12)上，所述机械手臂本体(14)水平地固定于所述旋转调节机构(13)上端且可随所述旋转调节机构(13)水平转动，所述传感器(15)为四个且分别设置于下电极(30)四角的外侧，所述控制单元(16)分别与所述旋转调节机构(13)、所述伸缩调节机构(12)、及所述传感器(15)电性连接；所述传感器(15)感测其上方玻璃基板(20)是否存在偏移，若有偏移则反馈给所述控制单元(16)，所述控制单元(16)将调整信号发送给所述旋转调节机构(13)和所述伸缩调节机构(12)，所述旋转调节机构(13)和所述伸缩调节机构(12)根据接收的调整信号进行相应的调整。

【技术特征摘要】
1.一种机械手臂(10)，其特征在于：所述机械手臂(10)包括座体(11)、伸缩调节机构(12)、旋转调节机构(13)、机械手臂本体(14)、传感器(15)、以及控制单元(16)，所述伸缩调节机构(12)设置于所述座体(11)上且可沿着所述座体(11)水平移动，所述旋转调节机构(13)固定于所述伸缩调节机构(12)上，所述机械手臂本体(14)水平地固定于所述旋转调节机构(13)上端且可随所述旋转调节机构(13)水平转动，所述传感器(15)为四个且分别设置于下电极(30)四角的外侧，所述控制单元(16)分别与所述旋转调节机构(13)、所述伸缩调节机构(12)、及所述传感器(15)电性连接；所述传感器(15)感测其上方玻璃基板(20)是否存在偏移，若有偏移则反馈给所述控制单元(16)，所述控制单元(16)将调整信号发送给所述旋转调节机构(13)和所述伸缩调节机构(12)，所述旋转调节机构(13)和所述伸缩调节机构(12)根据接收的调整信号进行相应的调整。
2.如权利要求1所述的机械手臂(10)，其特征在于：所述伸缩调节机构(12)包括主动辊轴(121)、从动辊轴(122)、传动带(123)、以及滑块(125)，所述主动辊轴(121)与所述从动辊轴(122)分别固定于所述座体(11)的上端，所述传动带(123)传动连接于所述主动辊轴(121)和所述从动辊轴(122)上，所述滑块(125)固定于所述传动带(123)上且在所述传动带(123)的带动下于所述主动辊轴(121)与所述从动辊轴(122)之间移动。
3.如权利要求2所述的机械手臂(10)，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王亮，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32