晶片存取装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种晶片存取装置，用于储存放置晶片，其包括为整个装置提供旋转动力的一旋转电机、一固定板、两卡塞、两夹板、一轴承支持座、一旋转轴、固定于轴承支持座的两侧壁上的两轴承以及一控制器，所述两轴承相对设置，所述旋转轴与两轴承相互配合，所述固定板连接在两轴承之间并能够随着旋转轴旋转，所述两夹板均固定在固定板的侧面上，每一卡塞上有若干平行分布的卡槽，所述两卡塞分别固定于两夹板的侧面上，所述晶片放置在卡槽里，所述旋转电机受控制器控制，将旋转动力通过旋转轴传递给固定板和夹板。本实用新型专利技术晶片存取装置通过旋转电机带动放置晶片的卡槽旋转，实现晶片空间姿态的变化，便于后续取片。

Chip access device

【技术实现步骤摘要】
晶片存取装置
本技术涉及晶片的加工领域，尤其涉及一种晶片存取装置。
技术介绍
现有的半导体晶片在清洗前需要储存在一装置内放置，然后依靠人工进行搬运，这样晶片表面极易在搬运过程中被划伤，通过设备改进，可以实现搬运的机械自动化，然而另一个技术问题仍未得到解决，晶片在存取装置中通常处于竖直放置状态，而晶片清洗需要晶片处于水平放置状态，这也意味着在搬运过程中需要完成晶片姿态的调整，带来了新的挑战。因此，有必要设计一种新的晶片存取装置以解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述技术问题，提出一种新的晶片存取装置。为实现前述目的，本技术采用如下技术方案：一种晶片存取装置，用于储存放置晶片，其包括为整个装置提供旋转动力的一旋转电机、一固定板、两卡塞、两夹板、一轴承支持座、一旋转轴、固定于轴承支持座的两侧壁上的两轴承以及一控制器，所述两轴承相对设置，所述旋转轴与两轴承相互配合，所述固定板连接在两轴承之间并能够随着旋转轴旋转，所述两夹板均固定在固定板的侧面上，每一卡塞上有若干平行分布的卡槽，所述两卡塞分别固定于两夹板的侧面上，所述晶片放置在卡槽里，所述旋转电机受控制器控制，将旋转动力通过旋转轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片存取装置，用于储存放置晶片，其特征在于：其包括为整个装置提供旋转动力的一旋转电机、一固定板、两卡塞、两夹板、一轴承支持座、一旋转轴、固定于轴承支持座的两侧壁上的两轴承以及一控制器，所述两轴承相对设置，所述旋转轴与两轴承相互配合，所述固定板连接在两轴承之间并能够随着旋转轴旋转，所述两夹板均固定在固定板的侧面上，每一卡塞上有若干平行分布的卡槽，所述两卡塞分别固定于两夹板的侧面上，所述晶片放置在卡槽里，所述旋转电机受控制器控制，将旋转动力通过旋转轴传递给固定板和夹板。

【技术特征摘要】
1.一种晶片存取装置，用于储存放置晶片，其特征在于：其包括为整个装置提供旋转动力的一旋转电机、一固定板、两卡塞、两夹板、一轴承支持座、一旋转轴、固定于轴承支持座的两侧壁上的两轴承以及一控制器，所述两轴承相对设置，所述旋转轴与两轴承相互配合，所述固定板连接在两轴承之间并能够随着旋转轴旋转，所述两夹板均固定在固定板的侧面上，每一卡塞上有若干平行分布的卡槽，所述两卡塞分别固定于...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘留，沈艳东，周铁军，廖彬，曾小东，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44