一种石墨载板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨载板，包括板架，所述板架的内侧设有分隔筋，所述分隔筋的内侧设有放置槽，所述放置槽的内角设有弧形边，所述放置槽的内壁设有适配槽，所述适配槽的内侧设有条形板，所述条形板的外侧安装有压板，所述外凹槽的内侧设有合金杆。该石墨载板，通过压板、条形板和合金杆的配合，使用时将合金杆放入外凹槽内，使合金杆的外侧与板架平齐，合金杆两端的插杆插入插孔内，并通过定位销进行连接固定，以此来增强板架的强度，防止在使用一定时间后板架发生形变而影响加工硅片的精度，在使用硅片放置于放置槽内使，通过条形板内侧的压板进行压合固定，增强对硅片的固定效果，保证内部硅片制备效果。

A kind of graphite plate

The utility model discloses a graphite plate, including plate frame, the plate frame is arranged on the inner side of the inner side of the separating ribs, ribs are arranged in separate slots, the slot is placed inside the arc edge groove is arranged on the internal wall adapter slot, the inner side of the adapter is provided with a groove the strip plate, wherein the outer side of the strip board installation plate, the inner side of the outer groove is provided with alloy rod. The graphite board, with plate, strip plate and alloy rod, will use the alloy rod into the groove, the alloy rod and the outer side plate frame flush, alloy rod at both ends of the inserting rod inserted into the jack, and are connected and fixed by a positioning pin, so as to enhance the strength of the plate frame. To prevent the use of a certain time frame plate deformation influences the machining accuracy in the use of silicon wafer, placed on the placing groove, are pressed and fixed by a press plate strip plate inside, enhance the fixation effect of silicon wafer preparation, ensure the internal effect.

【技术实现步骤摘要】
一种石墨载板
本技术涉及石墨板
，具体为一种石墨载板。
技术介绍
为了提高晶体硅电池正面的陷光性，工业中常采用表面织构化和减反射膜技术，以减少电池正面对太阳光的反射，其中，减反射膜一般采用等离子增强气相沉积来制备，在制备减反射膜的过程中，需将硅片放置在石墨载板上，再将纸膜载板置于PECVD设备中，之后进行沉积过程，在现有的石墨载板中，例如申请号为201420319818.5的技术专利，包括石墨板，石墨板上均匀设置有若干镂空区域，相邻镂空区域之间通过间隔条间隔开，间隔条上设置有卡槽，用于安装金属挂钩，硅片通过金属挂钩放置于镂空区域内，该专利虽然降低了由于背面反镀造成的产品质量降低的现象，但在实际使用时，对硅片的固定效果差，硅片在放入PECVD设备中后极易脱离石墨载体，同时石墨载体的强度差，在使用时易发生形变，影响内部硅片制备效果。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种石墨载板，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种石墨载板，包括板架，所述板架的内侧设有分隔筋，所述分隔筋的内侧设有放置槽，所述放置槽的内角设有弧形边，所述放置槽的内壁设有适配槽，所述适配槽的内侧设有条形板，所述条形板的外侧安装有压板，所述分隔筋的内部设有中心杆，所述中心杆通过连接杆与条形板相连，所述板架的上下两端内侧均设有外凹槽，所述外凹槽的内侧设有合金杆，所述板架的左右两端均设有插孔，所述合金杆的左右两侧均设有插杆，所述插杆贯穿插孔，所述板架的外侧贯穿连接有定位销，所述插杆的外侧设有通孔，所述定位销贯穿通孔。优选的，所述板架的外侧设有边板，所述边板的内侧设有翼板，所述板架的外壁内侧设有开槽，所述翼板与开槽相配合，所述翼板通过转杆与板架相连，所述转杆与板架的连接处设有转环，所述板架的外壁设有卡凹，所述边板的内壁设有卡凸，所述卡凸与卡凹相匹配。优选的，所述定位销的外侧设有密封帽。优选的，所述弧形边的内壁设有角槽。优选的，所述放置槽的内角设有内角槽。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该石墨载板，通过压板、条形板和合金杆的配合，使用时将合金杆放入外凹槽内，使合金杆的外侧与板架平齐，合金杆两端的插杆插入插孔内，并通过定位销进行连接固定，以此来增强板架的强度，防止在使用一定时间后板架发生形变而影响加工硅片的精度，在使用硅片放置于放置槽内使，通过条形板内侧的压板进行压合固定，增强对硅片的固定效果，保证内部硅片制备效果。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术的弧形边结构示意图；图3为本技术的压板结构示意图；图4为本技术的合金杆结构示意图；图5为本技术的定位销结构示意图；图6为本技术的边板结构示意图。图中：1、板架，2、分隔筋，3、放置槽，4、弧形边，5、角槽，6、压板，7、条形板，8、连接杆，9、中心杆，10、适配槽，11、内角槽，12、合金杆，13、外凹槽，14、插孔，15、插杆，16、通孔，17、密封帽，18、定位销，19、边板，20、卡凸，21、转环，22、开槽，23、翼板，24、转杆，25、卡凹。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-6，本技术提供一种技术方案：一种石墨载板，包括板架1，板架1的内侧设有分隔筋2，分隔筋2的内侧设有放置槽3，放置槽3的内角设有内角槽11，通过在板架1内设置分隔筋2来形成放置槽3，放置槽3的内角设有弧形边4，通过设置弧形边4增强放置硅片的适配性，弧形边4的内壁设有角槽5，放置槽3的内壁设有适配槽10，适配槽10的内侧设有条形板7，条形板7的外侧安装有压板6，分隔筋2的内部设有中心杆9，中心杆9通过连接杆8与条形板7相连，由于中心杆9设置在分隔筋2的内部，通过连接杆8对条形板7和压板6进行压合固定，进而在使用硅片放置于放置槽3内使，通过条形板7内侧的压板6进行压合固定，增强对硅片的固定效果，板架1的上下两端内侧均设有外凹槽13，外凹槽13的内侧设有合金杆12，板架1的左右两端均设有插孔14，合金杆12的左右两侧均设有插杆15，插杆15贯穿插孔14，板架1的外侧贯穿连接有定位销18，插杆15的外侧设有通孔16，定位销18贯穿通孔16，定位销18的外侧设有密封帽17，将合金杆12放入外凹槽13内，使合金杆12的外侧与板架1平齐，合金杆12两端的插杆15插入插孔14内，并通过定位销18进行连接固定，以此来增强板架1的强度，防止在使用一定时间后板架1发生形变而影响加工硅片的精度，板架1的外侧设有边板19，边板19的内侧设有翼板23，板架1的外壁内侧设有开槽22，翼板23与开槽22相配合，翼板23通过转杆24与板架1相连，转杆24与板架1的连接处设有转环21，板架1的外壁设有卡凹25，边板19的内壁设有卡凸20，卡凸20与卡凹25相匹配，边板19内侧的翼板23可通过转杆24和转环21转动于板架1的外侧，在转动至底端时，通过边板19对板架1的支撑，使在装入硅片时板架1与工作台具有一定的高度，方便放入硅片，在装载完毕将板架1放入PECVD设备内时，回转边板19即可使其平行于板架1上，同时使卡凸20卡接在卡凹25内进行固定。使用时将合金杆12放入外凹槽13内，使合金杆12的外侧与板架1平齐，合金杆12两端的插杆15插入插孔14内，并通过定位销18进行连接固定，以此来增强板架1的强度，在使用硅片放置于放置槽3内使，通过条形板7内侧的压板6进行压合固定。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨载板，包括板架（1），所述板架（1）的内侧设有分隔筋（2），所述分隔筋（2）的内侧设有放置槽（3），其特征在于：所述放置槽（3）的内角设有弧形边（4），所述放置槽（3）的内壁设有适配槽（10），所述适配槽（10）的内侧设有条形板（7），所述条形板（7）的外侧安装有压板（6），所述分隔筋（2）的内部设有中心杆（9），所述中心杆（9）通过连接杆（8）与条形板（7）相连，所述板架（1）的上下两端内侧均设有外凹槽（13），所述外凹槽（13）的内侧设有合金杆（12），所述板架（1）的左右两端均设有插孔（14），所述合金杆（12）的左右两侧均设有插杆（15），所述插杆（15）贯穿插孔（14），所述板架（1）的外侧贯穿连接有定位销（18），所述插杆（15）的外侧设有通孔（16），所述定位销（18）贯穿通孔（16）。

【技术特征摘要】
1.一种石墨载板，包括板架（1），所述板架（1）的内侧设有分隔筋（2），所述分隔筋（2）的内侧设有放置槽（3），其特征在于：所述放置槽（3）的内角设有弧形边（4），所述放置槽（3）的内壁设有适配槽（10），所述适配槽（10）的内侧设有条形板（7），所述条形板（7）的外侧安装有压板（6），所述分隔筋（2）的内部设有中心杆（9），所述中心杆（9）通过连接杆（8）与条形板（7）相连，所述板架（1）的上下两端内侧均设有外凹槽（13），所述外凹槽（13）的内侧设有合金杆（12），所述板架（1）的左右两端均设有插孔（14），所述合金杆（12）的左右两侧均设有插杆（15），所述插杆（15）贯穿插孔（14），所述板架（1）的外侧贯穿连接有定位销（18），所述插杆（15）的外侧设有通孔（16），所述定位销（18）贯穿通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴旭光，
申请(专利权)人：青岛环球石墨制品有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37