清洗系统及具有该清洗系统的湿法刻蚀设备技术方案

本实用新型专利技术公开一种清洗系统，清洗系统包括清洗槽、进液管、排液管以及清洗泵；清洗槽储放有清洗液；进液管一端连接于清洗槽，另一端连接于过滤器进口和出口其中之一的管路；排液管一端连接于过滤器进口和出口其中另一的管路，另一端连接于湿法刻蚀设备的废液排放管路；清洗泵设于进液管与清洗槽之间，以将清洗液由清洗槽泵入过滤器。本实用新型专利技术提出的清洗系统，在安装于湿法刻蚀设备中对过滤器进行清洗时，通过进液管和排液管将清洗槽与过滤器的进、出口管路连接起来，并利用清洗泵向过滤器泵入清洗液而对其进行清洗，使过滤器无需拆卸或更换，延长过滤器的使用寿命，降低设备成本。

Cleaning system and wet etching equipment with the cleaning system

The utility model discloses a cleaning system, cleaning system comprises a cleaning tank, a liquid inlet pipe, a liquid discharging pipe and pump cleaning; cleaning tank for storing cleaning liquid; a liquid inlet pipe connected to the cleaning tank, the other end is connected to the filter inlet and outlet one pipe drain pipe; one end is connected to the filter the import and export of another pipeline, the other end is connected to the wet etching equipment of waste liquid discharge pipe; cleaning pump is arranged between the liquid inlet pipe and the cleaning tank, the cleaning fluid from the cleaning tank into the filter. The cleaning system of the utility model, mounted on a wet etching device for cleaning the filter, through the liquid inlet pipe and a drain pipe connected to the cleaning tank and filter the inlet and outlet of the pipeline, and the use of cleaning pump to pump into the filter cleaning liquid and cleaning of the filter, without removing or replace, extend the service life of the filter, reduce the cost of equipment.

【技术实现步骤摘要】
清洗系统及具有该清洗系统的湿法刻蚀设备
本技术涉及适用于湿法刻蚀设备的清洗系统及具有该清洗系统的湿法刻蚀设备。
技术介绍
参阅图1所示，其示出了一种现有湿法刻蚀设备的系统管路示意图。该现有湿法刻蚀设备的设计中，刻蚀药液流动路径为：药液槽400→供给泵500→过滤器100→刻蚀喷嘴600→玻璃基板。药液和玻璃基板上的金属或非金属膜层反应后，会生成多种副产物，且部分副产物不溶于药液；同时，药液在对玻璃基板的冲洗过程中，会有少量光刻胶和异物粒子带入药液槽400中。由于上述不溶副产物、光刻胶、异物粒子均是无法被药液溶解的，在使用过程中会随药液再次喷洒到玻璃基板上，影响刻蚀效果(膜层残留等不良)。过滤器100(Filter)的作用即是把以上物质进行过滤，使干净药液重新投入生产当中。因此，长时间使用后，过滤器100会被堵塞，药液流量达不到使用的目标值。目前常用的解决办法是直接进行更换新的过滤器。
技术实现思路
本技术的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种无需拆卸或更换过滤器就可对其进行清洗的清洗系统。本技术的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种具有上述清洗系统的湿法刻蚀设备。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：根据本技术的一个方面，提供一种清洗系统，用于清洗湿法刻蚀设备的过滤器，其中，所述清洗系统包括清洗槽、进液管、排液管以及清洗泵；所述清洗槽储放有清洗液；所述进液管一端连接于所述清洗槽，另一端连接于所述过滤器进口和出口其中之一的管路；所述排液管一端连接于所述过滤器进口和出口其中另一的管路，另一端连接于所述湿法刻蚀设备的废液排放管路；所述清洗泵设于所述进液管与所述清洗槽之间，以将所述清洗液由所述清洗槽泵入所述过滤器。根据本技术的其中一个实施方式，所述进液管上设有进液阀，以控制所述进液管的开启和关闭。根据本技术的其中一个实施方式，所述进液阀为手动阀门。根据本技术的其中一个实施方式，所述排液管上设有排液阀，以控制所述排液管的开启和关闭。根据本技术的其中一个实施方式，所述排液阀为手动阀门。根据本技术的其中一个实施方式，所述进液管的管径与所述过滤器进口和出口的管路的管径匹配；和/或，所述排液管的管径与所述过滤器进口和出口的管路的管径匹配。根据本技术的其中一个实施方式，所述进液管连接于所述过滤器出口的管路，所述排液管连接于所述过滤器进口的管路。根据本技术的其中一个实施方式，所述湿法刻蚀设备包括清洗槽和反应池，所述清洗槽通过清洗管路连接至所述反应池，所述清洗管路上设有清洗泵；其中，所述清洗系统的清洗槽共用为所述湿法刻蚀设备的清洗槽，且所述清洗系统的清洗泵共用为所述清洗管路上的清洗泵；其中，所述进液管和所述排液管均连接于所述清洗管路，所述清洗管路上设有清洗阀。根据本技术的其中一个实施方式，所述清洗阀为手动阀。根据本技术的另一个方面，提供一种湿法刻蚀设备，包括药液槽、供给泵、过滤器、刻蚀喷嘴、清洗槽和反应池，所述药液槽通过管路连接于所述刻蚀喷嘴，所述供给泵和过滤器设于所述管路，所述刻蚀喷嘴对应于所述反应池，所述清洗槽通过清洗管路连接至所述反应池；其中，所述湿法刻蚀设备还包括上述实施方式中所述的清洗系统。由上述技术方案可知，本技术提出的清洗系统及具有该清洗系统的湿法刻蚀设备的优点和积极效果在于：本技术提出的清洗系统，在安装于湿法刻蚀设备中对过滤器进行清洗时，通过进液管和排液管将清洗槽与过滤器的进、出口管路连接起来，并利用清洗泵向过滤器泵入清洗液而对其进行清洗，使过滤器无需拆卸或更换，延长过滤器的使用寿命，降低设备成本。附图说明通过结合附图考虑以下对本技术的优选实施方式的详细说明，本技术的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本技术的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：图1是一种现有湿法刻蚀设备的系统管路示意图；图2是根据一示例性实施方式示出的一种清洗系统的系统管路示意图；图3是根据一示例性实施方式示出的一种湿法刻蚀设备的系统管路示意图。其中，附图标记说明如下：100.过滤器；210.清洗槽；220.进液管；221.进液阀；230.排液管；231.排液阀；240.清洗泵；300.反应池；310.清洗管路；311.清洗阀；400.药液槽；500.供给泵；600.刻蚀喷嘴。具体实施方式体现本技术特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本技术能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本技术的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本技术。在对本技术的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本技术的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本技术的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本技术范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“一端”、“之间”等来描述本技术的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本技术的范围内。清洗系统实施方式参阅图2，图2中代表性地示出了能够体现本技术的原理的清洗系统的系统管路示意图。在该示例性实施方式中，本技术提出的清洗系统是以应用于湿法刻蚀设备(可配合参阅图3)中为例，进一步地，是以作为对湿法刻蚀设备的过滤器100进行清洗的清洗系统为例进行说明的。本领域技术人员容易理解的是，为将该清洗系统应用于其他设备，或应用于对其他装置进行清洗，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本技术提出的清洗系统的原理的范围内。如图2所示，在本实施方式中，清洗系统主要包括清洗槽210、进液管220、排液管230以及清洗泵240。以下参考图2同时结合图3所示，对本技术提出的清洗系统的各主要组成部分的结构、连接方式和功能关系进行详细说明。如图2所示，在本实施方式中，清洗槽210储放有清洗液，该清洗液可以优选为去离子水。并且，当清洗系统应用于湿法刻蚀设备时，清洗系统的清洗槽210可以共用为湿法刻蚀设备的清洗槽(参见图3)，该清洗槽将在下述内容中详细说明，在此不予赘述。如图2所示，在本实施方式中，进液管220一端连接于清洗槽210，另一端连接于过滤器100出口的管路，且排液管230一端连接于过滤器100进口的管路，另一端连接于湿法刻蚀设备的废液排放管路。清洗泵240设置在进液管220上，以提供动力而将清洗槽210中的清洗液泵出，清洗液经进液管220由清洗槽210流至过滤器100而对过滤器100进行清洗，再经排液管230由过滤器100流至废液排放管路进行回收处理和排放。通过上述结构设计，清洗液是由过滤器100出口流入，并由过滤器100入口流出，提供一种逆向清洗的功能，提升清洗液对过滤器100的清洗效果。在其他实施方式中，进液管220亦可连接于过滤器100进口的管路，且出液管亦可连接于过滤器100本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洗系统，用于清洗湿法刻蚀设备的过滤器，其中，所述清洗系统包括：清洗槽，储放有清洗液；进液管，一端连接于所述清洗槽，另一端连接于所述过滤器进口和出口其中之一的管路；排液管，一端连接于所述过滤器进口和出口其中另一的管路，另一端连接于所述湿法刻蚀设备的废液排放管路；以及清洗泵，设于所述进液管与所述清洗槽之间，以将所述清洗液由所述清洗槽泵入所述过滤器。

【技术特征摘要】
1.一种清洗系统，用于清洗湿法刻蚀设备的过滤器，其中，所述清洗系统包括：清洗槽，储放有清洗液；进液管，一端连接于所述清洗槽，另一端连接于所述过滤器进口和出口其中之一的管路；排液管，一端连接于所述过滤器进口和出口其中另一的管路，另一端连接于所述湿法刻蚀设备的废液排放管路；以及清洗泵，设于所述进液管与所述清洗槽之间，以将所述清洗液由所述清洗槽泵入所述过滤器。2.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，所述进液管上设有进液阀，以控制所述进液管的开启和关闭。3.根据权利要求2所述的清洗系统，其特征在于，所述进液阀为手动阀门。4.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，所述排液管上设有排液阀，以控制所述排液管的开启和关闭。5.根据权利要求2所述的清洗系统，其特征在于，所述排液阀为手动阀门。6.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，所述进液管的管径与所述过滤器进口和出口的管路的管径匹配；和/或，所述排液管的管径与所述过滤器进口和出口的管...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘杰，刘国梁，李淳东，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11