The present invention provides a display panel and display panel manufacturing process, including: providing a substrate layer; thin film transistor is formed on the substrate layer; forming a layer of flat layer on the thin film transistor; forming auxiliary electrode layer on the flat layer; the auxiliary electrode layer in turn deposition of multilayer films, the monolayer film in the multilayer film density from the bottom up gradually increased; the multilayer thin film coating photoresist, exposure and development form the preset pattern forming the multilayer film, the preset pattern is equal to the width of the multilayer film; dry etching, in order to make the monolayer film the width of the multilayer film from the bottom up gradually; remove the photoresist coating the multilayer film, forming the cathode isolation column obtrapezoid. The cathode isolation column has the characteristics of good process stability and good uniformity of large plate, and it is not easy to fall off from the substrate in the follow-up process. Simplified production obtrapezoid cathode separator process, improve efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种显示面板及其制程
本专利技术涉及显示
,特别涉及一种显示面板及显示面板栅极信号的控制方法。
技术介绍
现有的显示面板主要包括有液晶(LiquidCrystalDisplay,LCD)显示面板和OLED(OrganicLightEmittingDiode,OLED)显示面板。其中,OLED显示面板具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽,可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点,被业界公认为是最有发展潜力的显示面板。随着OLED显示面板的工艺、制程的提升,以及成本的降低,OLED电视逐渐普及,为更多人所认识和接受。而且,因OLED具有超越LCD的显示特性与品质:例如轻薄化,短的反应时间,低的驱动电压更好的显示色彩以及显示视角等优点,其受到大家广泛的关注,近些年其发展日新月异,不仅可以制作曲面显示,同时也逐渐向大尺寸发展。但是大尺寸又存在IRDropIssue,甚至目视可见Mura,故在工艺上制作辅助电极以及阴极隔离柱,将阴极隔离开从而达到单独控制阴极,从而减少IRDrop的问题,改善显示问题.传统的阴极隔离柱制作方式是通过有机光阻涂敷,曝光,显影制作而成,通过控制工艺参数形成倒梯形;稳定性差。
技术实现思路
本专利技术的一个目的在于提供一种显示面板的制程,其阴极隔离柱稳定性好。本专利技术的另一个目的在于提供一种显示面板,其阴极隔离柱稳定性好。为解决上述问题,本专利技术的优选实施例提供了一种显示面板的制程,所述显示面板的制程包括:提供一基板层;在所述基板层上形成薄膜晶体管;在所述薄膜晶体 ...
【技术保护点】
一种显示面板的制程,其特征在于,包括:提供一基板层;在所述基板层上形成薄膜晶体管;在所述薄膜晶体管上形成一层平坦层;在所述平坦层上形成辅助电极层;在所述辅助电极层上依次沉积多层薄膜,所述多层薄膜中单层薄膜的致密性从下往上逐渐增大;对所述多层薄膜涂敷光阻、曝光、显影形成预设图案,形成预设图案的所述多层薄膜的宽度相等;对所述多层薄膜进行干蚀刻,以使所述多层薄膜中单层薄膜的宽度从下往上逐渐变大;去除所述多层薄膜上的涂覆光阻,形成倒梯形的阴极隔离柱。
【技术特征摘要】
1.一种显示面板的制程,其特征在于,包括:提供一基板层;在所述基板层上形成薄膜晶体管;在所述薄膜晶体管上形成一层平坦层;在所述平坦层上形成辅助电极层;在所述辅助电极层上依次沉积多层薄膜,所述多层薄膜中单层薄膜的致密性从下往上逐渐增大;对所述多层薄膜涂敷光阻、曝光、显影形成预设图案,形成预设图案的所述多层薄膜的宽度相等;对所述多层薄膜进行干蚀刻,以使所述多层薄膜中单层薄膜的宽度从下往上逐渐变大;去除所述多层薄膜上的涂覆光阻,形成倒梯形的阴极隔离柱。2.根据权利要求1所述的显示面板的制程,其特征在于,所述多层薄膜中单层薄膜的致密性从下往上逐渐增大,包括:所述多层薄膜包括至少三层薄膜,所述多层薄膜中相邻薄膜的致密性的差值从下往上逐渐增大或减小。3.根据权利要求1所述的显示面板的制程,其特征在于,在所述辅助电极层上依次沉积多层薄膜,包括:通过化学气相沉积法在所述辅助电极层上依次沉积多层薄膜。4.根据权利要求1所述的显示面板的制程,其特征在于,在所述辅助电极层上依次沉积多层薄膜的步骤,包括:多次进入机台,其中每次进入机台在所述辅助电极层上沉积一层薄膜。5....
【专利技术属性】
技术研发人员:张良芬,
申请(专利权)人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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