一种显示屏光刻胶剥离液制造技术

本发明专利技术公开了一种显示屏光刻胶剥离液，其是由如下质量分数的原料组成：季胺氢氧化物22‑34％、特征性有机胺18‑25％、辅助性有机胺10‑16％、添加剂3‑5％、表面活性剂5‑14％、极性有机溶剂20‑40％、腐蚀抑制剂5‑9％、防腐剂4‑7％和水。与现有技术相比，本发明专利技术剥离液对蚀刻工序中发生变质的光致抗蚀剂可以有效的进行剥离，对于显示屏玻璃基板的金属膜、氧化膜的无机材料物质具有极低的腐蚀性；同时本剥离液能在较低温度下、较短时间内去除玻璃基板滤光片上的彩色抗蚀剂和保护层，对玻璃基板没有损伤，用剥离液处理后的玻璃基板能够再利用；本发明专利技术的剥离液剥离效果较好，同时对环境和人体具有高度的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种显示屏光刻胶剥离液
本专利技术涉及剥离液
，具体涉及一种显示屏光刻胶剥离液。
技术介绍
在显示屏基板的生产的光刻技术中通常包括在玻璃基板上依次进行：设置金属或金属氧化物层的金属配线形成工序；设置光致抗蚀剂层的工序；在光致抗蚀剂上转写掩模图形的曝光工序；按照图形对模进行蚀刻的蚀刻工序；以及除去光致抗蚀剂的剥离工序。在通常的制造工艺中光刻工序会多达十多次。基板上抗蚀剂层上形成有一层保护层，也无法轻易去除剥离。由于玻璃基板成本很高，如果直接废弃会造成很大浪费，因此可以将不良彩色滤光片基板上的膜层全部剥离掉，重新使用，可以节约成本。但是如果膜层剥离的不干净，或者彻底剥离需要的时间很长，就无法起到节约成本的作用。一般的剥离液可以列举出无机酸、有机酸、无机碱或者有机溶剂，可是，作为剥离剂的有效成分，当使用无机酸或者无机碱时，或使下部金属膜腐蚀，或伴随有害于人体的缺点等操作上的困难性。因此通常使用有机溶剂。目前PDP面板制造中使用剥离液主要是含有有机极性溶剂、胺类及水的体系的剥离液。然而这些现有的剥离液存在以下问题：1、生产工艺复杂。在进行剥离处理过程中，在剥离掉光致抗蚀剂后需要用有机溶剂和水分别漂洗，增加清洗工序时间，产生大量废液废水；2、剥离性能弱，对布线腐蚀影响大；3、清洗后残留金属离子的数量超出标准要求，容易引起表面金属离子污染。
技术实现思路
本专利技术旨在提供了一种显示屏光刻胶剥离液。本专利技术提供如下技术方案：一种显示屏光刻胶剥离液，其是由如下质量分数的原料组成：季胺氢氧化物22-34％、特征性有机胺18-25％、辅助性有机胺10-16％、添加剂3-5％、表面活性剂5-14％、极性有机溶剂20-40％、腐蚀抑制剂5-9％、防腐剂4-7％和水。所述季胺氢氧化物结构式为：所述R1、R2和R3均选自C1-C5的烷基和C1-C5的羟烷基中的任意一种。所述季胺氢氧化物为选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯丙基铵、氢氧化(1，2-二羟基乙基)一丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。所述添加剂包括唑类化合物。所述表面活性剂为聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一种或多种。所述极性有机溶剂为选自酰胺类和醇醚类中的至少一种。所述腐蚀抑制剂为乙二醇、1,2-丙二醇、二乙二醇、4-甲基邻苯二酚的一种或多种。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术剥离液对蚀刻工序中发生变质的光致抗蚀剂可以有效的进行剥离，对于显示屏玻璃基板的金属膜、氧化膜的无机材料物质具有极低的腐蚀性；同时本剥离液能在较低温度下、较短时间内去除玻璃基板滤光片上的彩色抗蚀剂和保护层，对玻璃基板没有损伤，用剥离液处理后的玻璃基板能够再利用；本专利技术的剥离液剥离效果较好，同时对环境和人体具有高度的安全性。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例1一种显示屏光刻胶剥离液，其是由如下质量分数的原料组成：季胺氢氧化物22％、特征性有机胺18％、辅助性有机胺10％、添加剂3％、表面活性剂5％、极性有机溶剂20％、腐蚀抑制剂5％、防腐剂4％和水。所述季胺氢氧化物结构式为：所述R1、R2和R3均选自C1-C5的烷基和C1-C5的羟烷基中的任意一种。所述季胺氢氧化物为选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯丙基铵、氢氧化(1，2-二羟基乙基)一丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。所述添加剂包括唑类化合物。所述表面活性剂为聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一种或多种。所述极性有机溶剂为选自酰胺类和醇醚类中的至少一种。所述腐蚀抑制剂为乙二醇、1,2-丙二醇、二乙二醇、4-甲基邻苯二酚的一种或多种。实施例2一种显示屏光刻胶剥离液，其是由如下质量分数的原料组成：季胺氢氧化物34％、特征性有机胺25％、辅助性有机胺16％、添加剂5％、表面活性剂14％、极性有机溶剂40％、腐蚀抑制剂9％、防腐剂7％和水。所述季胺氢氧化物结构式为：所述R1、R2和R3均选自C1-C5的烷基和C1-C5的羟烷基中的任意一种。所述季胺氢氧化物为选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯丙基铵、氢氧化(1，2-二羟基乙基)一丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。所述添加剂包括唑类化合物。所述表面活性剂为聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一种或多种。所述极性有机溶剂为选自酰胺类和醇醚类中的至少一种。所述腐蚀抑制剂为乙二醇、1,2-丙二醇、二乙二醇、4-甲基邻苯二酚的一种或多种。实施例3一种显示屏光刻胶剥离液，其是由如下质量分数的原料组成：季胺氢氧化物28％、特征性有机胺23％、辅助性有机胺14％、添加剂4％、表面活性剂11％、极性有机溶剂32％、腐蚀抑制剂7％、防腐剂6％和水。所述季胺氢氧化物结构式为：所述R1、R2和R3均选自C1-C5的烷基和C1-C5的羟烷基中的任意一种。所述季胺氢氧化物为选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯丙基铵、氢氧化(1，2-二羟基乙基)一丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。所述添加剂包括唑类化合物。所述表面活性剂为聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一种或多种。所述极性有机溶剂为选自酰胺类和醇醚类中的至少一种。所述腐蚀抑制剂为乙二醇、1,2-丙二醇、二乙二醇、4-甲基邻苯二酚的一种或多种。对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于所述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本专利技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本专利技术的范围由所附权利要求而不是所述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本专利技术内。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示屏光刻胶剥离液，其特征在于：其是由如下质量分数的原料组成：季胺氢氧化物22‑34％、特征性有机胺18‑25％、辅助性有机胺10‑16％、添加剂3‑5％、表面活性剂5‑14％、极性有机溶剂20‑40％、腐蚀抑制剂5‑9％、防腐剂4‑7％和水。

【技术特征摘要】
1.一种显示屏光刻胶剥离液，其特征在于：其是由如下质量分数的原料组成：季胺氢氧化物22-34％、特征性有机胺18-25％、辅助性有机胺10-16％、添加剂3-5％、表面活性剂5-14％、极性有机溶剂20-40％、腐蚀抑制剂5-9％、防腐剂4-7％和水。2.根据权利要求1所述的一种显示屏光刻胶剥离液，其特征在于：所述季胺氢氧化物结构式为：所述R1、R2和R3均选自C1-C5的烷基和C1-C5的羟烷基中的任意一种。3.根据权利要求1所述的一种显示屏光刻胶剥离液，其特征在于：所述季胺氢氧化物为选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯...

【专利技术属性】
技术研发人员：白航空，
申请(专利权)人：合肥惠科金扬科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34