光干涉测定装置和光干涉测定方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光干涉测定装置和光干涉测定方法。提供一种能够将来自测定对象物的不与光轴垂直的表面部分的反射光取入到光学系统的光干涉测定装置。具备：光源，其射出光；干涉物镜，其具备参考镜和分束器，其中，该参考镜配置在参考光路上，该分束器将入射的光沿所述参考光路和测定光路分支，并且输出将被参考镜反射的反射光和被在测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光；摄像单元，其拍摄由合成光成像得到的图像；以及光圈，其能够在干涉物镜与光源及摄像单元之间的光路上沿干涉物镜的光轴方向移动。

【技术实现步骤摘要】
光干涉测定装置和光干涉测定方法
本专利技术涉及一种使用由于光的干涉而产生的干涉条纹的亮度信息来对测定对象物的形状进行测定的光干涉测定装置和光干涉测定方法。
技术介绍
以往已知一种使用由于光的干涉而产生的干涉条纹的亮度信息来对例如测定对象物的三维形状进行精密的测定的三维形状测定装置等光干涉测定装置。在该光干涉测定装置中，众所周知光源使用宽频带光(白色光等)的方法(例如参照日本特开2011-191118号公报)。使用白色光光源的光干涉测定装置能够进行纳米级分辨率的微小形状测定，在以半导体领域为首的广泛的领域中，被利用于宽度、高度等的形状测定、表面的性状检查等。图6是表示具备Michelson型的干涉物镜30的光干涉测定装置1的基本结构的示意图。从光源11射出的光通过准直透镜12被形成为平行光束后从与干涉物镜30的光轴成直角的方向向分束器20入射。分束器20将该平行光束改变朝向而向沿着干涉物镜30的光轴的方向射出，使射出的光向物镜31入射。经过了物镜31的光成为收敛光而向分束器32入射。入射至分束器32的光被分支为在配置有参考镜33的参考光路上行进的光和在配置有测定对象物W的测定光路上行进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光干涉测定装置，其特征在于，具备：光源，其射出光；干涉物镜，其具有参考镜和分束器，其中，该参考镜配置在参考光路上，该分束器将入射的所述光沿所述参考光路和测定光路分支，并且输出将被所述参考镜反射的反射光和被在所述测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光；摄像单元，其拍摄由所述合成光成像得到的图像；以及光圈，其能够在所述干涉物镜与所述光源及所述摄像单元之间的光路上沿所述干涉物镜的光轴方向移动。

【技术特征摘要】
2016.06.17 JP 2016-1204671.一种光干涉测定装置，其特征在于，具备：光源，其射出光；干涉物镜，其具有参考镜和分束器，其中，该参考镜配置在参考光路上，该分束器将入射的所述光沿所述参考光路和测定光路分支，并且输出将被所述参考镜反射的反射光和被在所述测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光；摄像单元，其拍摄由所述合成光成像得到的图像；以及光圈，其能够在所述干涉物镜与所述光源及所述摄像单元之间的光路上沿所述干涉物镜的光轴方向移动。2.根据权利要求1所述的光干涉测定装置，其特征在于，能够将所述参考镜更换或切换为形状不同的其它参考镜。3.根据权利要求1或2所述的光干涉测定装置，其特征在于，所述光圈位于比所述干涉物镜的在所述摄像单元侧的焦点位置更靠所述摄像单元侧的位置，所述参考镜为凸形状。4.根据权利要求1或2所述的光干涉测定装置，其特征在于，所述光圈位于比所述干涉物镜的在所述摄像单元侧的焦点位置更靠所述干涉物镜侧的位置，所述参考镜为凹形状。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的光干涉测定装置，其特征在于，在所述光圈与所述摄像单元之间的光路上具备能够将焦点位置移动至所述光圈的位置的成像透镜。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的光干涉测定装置，其特征在于，在所述光源与所述光圈之间的光路上具备能够将焦点位置移动至所述光圈的位置的准直透镜。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的光干涉测...

【专利技术属性】
技术研发人员：长滨龙也，本桥研，H·海特杰马，J·奎达克尔斯，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本,JP