一种干涉仪检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种干涉仪检测装置，包括减震板，减震板上设有调平装置，调平装置上方设有转座，调平装置上设有滑轨，转座的下端面设有与滑轨适配的滑块，转座可在滑轨上前后滑动，滑轨上设有第一刻度，转座的中部设有转盘，转盘可在转座上沿轴心转动，转盘的边缘设有第二刻度，转盘的上方设有干涉仪支承板，干涉仪支承板上设有干涉仪，干涉仪支承板通过支撑杆支撑在减震板上。由于采用了上述技术方案，通过本实用新型专利技术检测得出的大口径平面产品的面形精度十分精确，真实可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种干涉仪检测装置
本技术属于光学仪器
，具体是一种干涉仪检测装置。
技术介绍
平面干涉仪主要用于检测加工平面面形精度，其价格随检测口径大小成几何倍数增加，因此很多厂家都采用小口径平面干涉仪测量大口径平面，通过面积比运算得出大口径平面面形精度。但是很多厂家在取测量区域时和确定前后两次测量区域的重复面积时都是人为估算判断，前后测量缺乏科学依据性，总测量区域占整个被测工件表面面积比无法确定，从而使最终检测结果的精度低，不真实。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构合理的干涉仪检测装置，解决了大口径平面的面形精度的检测结果精度低，不真实的问题。本技术的目的是通过这样的技术方案实现的，它包括包括减震板，所述减震板上设有调平装置，所述调平装置上方设有转座，所述调平装置上设有滑轨，所述转座的下端面设有与所述滑轨适配的滑块，所述转座可在滑轨上前后滑动，所述滑轨上第一刻度，所述转座的中部设有转盘，所述转盘可在转座上沿轴心转动，所述转盘的边缘设有第二刻度，所述转盘的上方设有干涉仪支承板，所述干涉仪支承板上设有干涉仪，所述干涉仪支承板通过支撑杆支撑在减震板上。进一步，所述调平装置包括调平板、球头杆和两个调节旋钮，所述调平板为方形，所述调平板的左右对称线上设有第一螺孔，所述第一螺孔设于调平板的后部，所述减震板上在与第一螺孔对应的位置设有凹槽，所述球头杆的球头端设于所述凹槽内，且可以在所述凹槽内自由转动，所述球头杆的非球头端螺纹连接于第一螺孔内，所述调平板前端的两个夹角处均设有第二螺孔，所述减震板在与两个第二螺孔对应的位置均设有第三螺孔，两个所述调节旋钮的下端穿过相应的第二螺孔后连接于第三螺孔内。进一步，第一螺孔和两个第二螺孔之间的连线呈等腰三角形。进一步，所述滑轨为两条，两条所述滑轨相互平行。进一步，所述支撑杆为四根，四根所述支撑杆的上端固定在干涉仪支承板的四个夹角位置，四根所述支撑杆的下端固定在减震板与干涉仪支承板的四个夹角对应的位置后，其中两根所述支撑杆位于调平装置的左侧，另外两个所述支撑杆位于调平装置的右侧。综上所述，本技术的有益效果是：1、在使用本技术提供的一种平面干涉仪检测装置检测大口径平面产品的面形精度时：沿滑轨向前拉出转座，将大口径平面产品搁置在转盘正中间。然后，将转盘沿滑轨向后推到干涉仪的检测口的正下方。开启干涉仪，调节调平装置，对焦，根据干涉仪上的显示内容，确定是否调平误差在允许范围之内，直至调平至误差允许的范围，然后对大口径平面产品进行测量。在检测圆形的大口径平面产品时：先检测圆形产品中部与干涉仪的检测口径对应的区域。然后在直线滑轨上向前或向后移动转座，移动的距离为H，H值可根据客户要求的求前后两次测试范围的重复区域的比例，通过计算得出。通过计算得出的H值可通过滑轨上的第一刻度精确测量，然后将转座移动到相应的位置，然后对移动后干涉仪的检测口径对应的区域进行检测。然后旋转转盘，其旋转角度为θ，θ值可根据客户要求的前后两次测试范围的重复区域比例，通过计算得出，通过计算得出的H值可通过转座边缘的第二刻度精确测量，然后将转盘转动到相应的位置，然后对转动后干涉仪的检测口径对应的区域进行检测。多次重复地移动转座和转动转盘，干涉仪便可以检测出整个圆形的大口径平面产品的面形精度。通过多次移动转座和转动转盘即可以测出整个圆形的大口径平面产品的面形精度，根据滑轨上的第一刻度可以精确地控制转座的移动距离，根据转座上的第二刻度可以精确地控制转盘的转动角度，所以通过本技术检测得出的大口径平面产品的面形精度十分精确，真实可靠。2、所述调平装置包括调平板、球头杆和两个调节旋钮，所述调平板为方形，所述调平板的左右对称线上设有第一螺孔，所述第一螺孔设于调平板的后部，所述减震板上在与第一螺孔对应的位置设有凹槽，所述球头杆的球头端设于所述凹槽内，且可以在所述凹槽内自由转动，所述球头杆的非球头端螺纹连接于第一螺孔内，所述调平板前端的两个夹角处均设有第二螺孔，所述减震板在与两个第二螺孔对应的位置均设有第三螺孔，两个所述调节旋钮的下端穿过相应的第二螺孔后连接于第三螺孔内。在调平时，由于球头杆的球头端可以在凹槽内自由转动，调平板前端的两个夹角处均设有第二螺孔，减震板在与两个第二螺孔对应的位置均设有第三螺孔，两个调节旋钮的下端穿过相应的第二螺孔后连接于第三螺孔内，反复旋转两个调节旋钮即可以控制调节板前端、左侧和右侧的上下移动，然后观察干涉仪上显示的内容即可以确定是否调平，调平时十分方便。3、第一螺孔和两个第二螺孔之间的连线呈等腰三角形。由于第一螺孔设置在调平板的左右对称线上，即两个第二螺孔也相对于调平板的左右对称线对称设置，调节时更容易调平。4、所述滑轨为两条，两条所述滑轨相互平行，设置两条滑轨，转座在滑轨上滑动时更加稳定。5、所述支撑杆为四根，四根所述支撑杆的上端固定在干涉仪支承板的四个夹角位置，四根所述支撑杆的下端固定在减震板与干涉仪支承板的四个夹角对应的位置后，其中两根所述支撑杆位于调平装置的左侧，另外两个所述支撑杆位于调平装置的右侧。对干涉仪支承板的支撑十分稳定，不容易晃动。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术中球头杆的连接方式示意图；图3是图1中减震板的结构示意图；图4是图1中调平板的结构示意图；图5是本技术工作原理图。图中，1、减震板；2、转座；3、滑轨；4、滑块；5、第一刻度；6、转盘；7、第二刻度；8、干涉仪支承板；9、干涉仪；10、支撑杆；11、调平板；12、球头杆；13、调节旋钮；14、第一螺孔；15、凹槽；16、第二螺孔；17、第三螺孔。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。如图1所示，本技术包括减震板1，减震板1上设有调平装置，调平装置上方设有转座2，调平装置1上设有滑轨3，转座2的下端面设有与滑轨3适配的滑块4，转座2可在滑轨3上前后滑动，滑轨3上设有第一刻度5，转座2的中部设有转盘6，转盘6可在转座2上沿轴心转动，转盘6的边缘设有第二刻度7，转盘6的上方设有干涉仪支承板8，干涉仪支承板8上设有干涉仪9，干涉仪支承板8通过支撑杆10支撑在减震板1上。在使用本技术提供的一种平面干涉仪检测装置检测大口径平面产品的面形精度时：沿滑轨3向前拉出转座2，将大口径平面产品搁置在转盘6正中间。然后，将转盘6沿滑轨3向后推到干涉仪9的检测口的正下方。开启干涉仪9，调节调平装置，对焦，根据干涉仪9上的显示内容，确定是否调平误差在允许范围之内，直至调平至误差允许的范围，然后对大口径平面产品进行测量。如图1和图5所示，在检测圆形的大口径平面产品a时：先检测圆形的大口径平面产品a中部与干涉仪的检测口径对应的区域b。然后在滑轨3上向前或向后移动转座，移动的距离为H，H值可根据客户要求的求前后两次测试范围的重复区域的比例，通过计算得出。通过计算得出的H值可通过滑轨上的第一刻度5精确测量，然后将转座2移动到相应的位置，然后对移动后干涉仪9的检测口径对应的区域c进行检测。然后旋转转盘6，其旋转角度为θ，θ值可根据客户要求的前后两次测试范围的重复区域比例，通过计算得出，通过计算得出的H值可通过转座本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面干涉仪检测装置，其特征在于：包括减震板，所述减震板上设有调平装置，所述调平装置上方设有转座，所述调平装置上设有滑轨，所述转座的下端面设有与所述滑轨适配的滑块，所述转座可在滑轨上前后滑动，所述滑轨上设有第一刻度，所述转座的中部设有转盘，所述转盘可在转座上沿轴心转动，所述转盘的边缘设有第二刻度，所述转盘的上方设有干涉仪支承板，所述干涉仪支承板上设有干涉仪，所述干涉仪支承板通过支撑杆支撑在减震板上。

【技术特征摘要】
1.一种平面干涉仪检测装置，其特征在于：包括减震板，所述减震板上设有调平装置，所述调平装置上方设有转座，所述调平装置上设有滑轨，所述转座的下端面设有与所述滑轨适配的滑块，所述转座可在滑轨上前后滑动，所述滑轨上设有第一刻度，所述转座的中部设有转盘，所述转盘可在转座上沿轴心转动，所述转盘的边缘设有第二刻度，所述转盘的上方设有干涉仪支承板，所述干涉仪支承板上设有干涉仪，所述干涉仪支承板通过支撑杆支撑在减震板上。2.如权利要求1所述的一种平面干涉仪检测装置，其特征在于：所述调平装置包括调平板、球头杆和两个调节旋钮，所述调平板为方形，所述调平板的左右对称线上设有第一螺孔，所述第一螺孔设于调平板的后部，所述减震板上在与第一螺孔对应的位置设有凹槽，所述球头杆的球头端设于所述凹槽内，且可以在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩钢，
申请(专利权)人：重庆四联特种装备材料有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆,50