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本发明提供一种光干涉测定装置和光干涉测定方法。提供一种能够将来自测定对象物的不与光轴垂直的表面部分的反射光取入到光学系统的光干涉测定装置。具备：光源，其射出光；干涉物镜，其具备参考镜和分束器，其中，该参考镜配置在参考光路上，该分束器将入射的...
该专利属于株式会社三丰所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社三丰授权不得商用。

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