一种研磨石英大晶片的斜角游星轮制造技术

本实用新型专利技术提供了一种研磨石英大晶片的斜角游星轮，包括金属基体轮和分别固定设置所述金属基体轮上、下表面的环氧板材片；所述金属基体轮上和所述环氧板材片上分别开设有多个透液孔和多个石英晶片方形限位孔，所述石英晶片方形限位孔的一边与所述金属基体轮直径的夹角均为22°30’。该研磨石英大晶片的斜角游星轮能有效降低石英大晶片研磨过程中造成的各种外观不良，使石英大晶片研磨的合格率提高8%，研磨后的石英大晶片的散差也得到了较好的控制，对上研盘和下研盘的磨损更为均匀，特别是对研盘边沿的磨损更适用。该装置还具有结构简单，使用方便快捷等优点。

A bevel wheel for grinding quartz large wafers

The utility model provides a bevel planetary wheel grinding quartz wafer, including a metal base and wheel are respectively fixed to the metal wheel on the lower surface of the epoxy plates; the metal wheel and the epoxy plates are respectively provided with a plurality of through holes and a plurality of quartz liquid the wafer square spacing hole, the quartz wafer square spacing hole and one side of the metal wheel diameter angle is 22 degrees 30'. The star wheel angle of the grinding quartz wafer tour can effectively reduce a variety of quartz wafer grinding process caused by the bad appearance, the pass rate increase of 8% quartz wafer grinding, dispersion of quartz wafer after grinding has been well controlled, the research on wear plate and the lower plate is more uniform. In particular, is more suitable to wear plate edge research. The device also has the advantages of simple structure, convenient and quick use and so on.

【技术实现步骤摘要】
一种研磨石英大晶片的斜角游星轮
本技术涉及一种游星轮装置，具体的说，涉及了一种研磨石英大晶片的斜角游星轮。
技术介绍
石英晶片是电子产业中最为重要的元件，石英晶片在生产流程中需要经过多道处理工序，以便保证石英晶片的光电转换效果和光利用率。随着石英晶体行业原材料及各辅料价格大幅度上涨，而成品石英晶片价格不断降价的总体趋势，急需通过对大尺寸晶片研磨来减少原材料的投入、增加成品产出；同时也可提高劳动效率，有效降低生产成本。现有的双面研磨机的游星轮，一般采用在游星轮模板上设置多个待研磨产品的型腔，型腔略大于工件的尺寸，除待研磨产品的型腔外，无其他腔体。由于大尺寸石英晶片的研磨面较大，利用现有研磨设备对大尺寸的石英晶片进行研磨时，会出现在研磨过程中工件接触的研磨液较少从而造成石英晶片表面产生划伤。另外，由于传统游星轮通常采用环氧板材料或金属钢制成，但是，由环氧板材制成的游星轮易磨损，强度小，使用寿命短，一般在2-3天就会磨损报废；而金属钢结构的游星轮虽然强度大，使用寿命长，但在工作过程中其边缘易撞击大尺寸石英晶片，导致加工处理的石英晶片产品不良率提升。为了解决以上存在的问题，人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足，从而提供一种研磨石英大晶片的斜角游星轮。为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种研磨石英大晶片的斜角游星轮，它包括金属基体轮，所述金属基体轮的上表面和下表面分别固定设置有的环氧板材片；所述金属基体轮的外周面固定设置有多个轮齿，所述金属基体轮上分别开设有第一中心孔、多个第一透液孔和多个第一石英晶片方形限位孔，多个所述第一透液孔和多个所述第一石英晶片方形限位孔围绕所述第一中心孔均匀排列在所述金属基体轮上，多个所述第一透液孔和多个所述第一石英晶片方形限位孔间隔设置，每个所述第一石英晶片方形限位孔的一边与所述金属基体轮直径的夹角均为22°30’，所述环氧板材片上分别开设有第二中心孔、多个第二透液孔和多个第二石英晶片方形限位孔，多个所述第二透液孔和多个所述第二石英晶片方形限位孔围绕所述第二中心孔均匀排列在所述环氧板材片上，多个所述第二透液孔和多个所述第二石英晶片方形限位孔间隔设置，每个所述第二石英晶片方形限位孔的一边与所述环氧板材片直径的夹角为22°30’，所述第一中心孔与所述第二中心孔对应，所述第一透液孔和所述第二透液孔一一对应，所述第一石英晶片方形限位孔和所述第二石英晶片方形限位孔一一对应。基于上述，所述金属基体轮的上表面和所述金属基体轮的下表面分别开设有环氧板材安装凹槽，所述环氧板材片固定设置在所述环氧板材安装凹槽内。基于上述，所述环氧板材上和所述金属基体轮上分别还开设有销钉孔，所述销钉孔内设置有销钉。基于上述，所述金属基体轮上表面和下表面分别通过粘结胶固定设置所述环氧板材片。需要说明的是，石英大晶片的尺寸为石英晶片长度大于25mm、宽度大于20mm的石英晶片。本技术相对现有技术具有实质性特点和进步，具体的说，本技术通过所提供的研磨石英大晶片的斜角游星轮，在对石英大晶片进行双面研磨时，通过开设在该斜角游星轮上的多个第一透液孔和多个第二透液孔，能有效的在圆周运动中将研磨机的上研盘流下的研磨液更多的分配到下研盘的研磨垫上，使得研磨过程中的化学反应与机械作用达到相对平衡，大大减少了机械划伤的产生，提高研磨产品的良品率。更重要的是，通过将普通的游星轮设计成上下面均固定设置有环氧板材片的22°30斜角游星轮，通过所述环氧板材片对石英大晶片边沿的保护，有效降低了石英大晶片研磨过程中造成的各种外观不良，如大角、锯齿片、角裂等，使石英大晶片研磨的合格率提高8%，研磨后的石英大晶片的散差也得到了较好的控制，对上研盘和下研盘的磨损更为均匀，特别是对研盘边沿的磨损更适用。该装置还具有结构简单，使用方便快捷等优点。附图说明图1是本技术提供的研磨石英大晶片的斜角游星轮结构拆分示意图。图2和图3是本技术提供的研磨石英大晶片的斜角游星轮中金属基体轮结构示意图。图4和图5是本技术提供的研磨石英大晶片的斜角游星轮中的环氧板材片结构示意图。图中：1、金属基体轮；2、环氧板材片；3、第一中心孔；4、轮齿；5、环氧板材安装凹槽；6、第一透液孔；7、第一石英晶片方形限位孔；8、第二透液孔；9、第二石英晶片方形限位孔；10、销钉孔；11、第二中心孔。具体实施方式下面通过具体实施方式，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。实施例1如图1所示，本实施例提供一种研磨石英大晶片的斜角游星轮，它包括金属基体轮1，所述金属基体轮1的上表面和所述金属基体轮1的下表面分别开设有圆形环氧板材安装凹槽5，所述环氧板材安装凹槽5内分别通过粘结胶固定设置有的圆形环氧板材片2，所述金属基体轮1的外周面固定设置有多个轮齿4。如图2和图3所示，所述金属基体轮1上分别开设有第一中心孔3、多个第一透液孔6和多个第一石英晶片方形限位孔7，多个所述第一透液孔6和多个所述第一石英晶片方形限位孔7围绕所述第一中心孔3均匀排列在所述金属基体轮1上，多个所述第一透液孔6和多个所述第一石英晶片方形限位孔7间隔设置，每个所述第一石英晶片方形限位孔7的一边与所述金属基体轮1直径的夹角均为22°30’。如图4和图5所示，所述环氧板材片2上分别开设有第二中心孔11、多个第二透液孔8和多个第二石英晶片方形限位孔9，多个所述第二透液孔8和多个所述第二石英晶片方形限位孔9组围绕所述第二中心孔11均匀排列在所述环氧板材片2上，多个所述第二透液孔8和多个所述第二石英晶片方形限位孔9间隔设置，每个所述第二石英晶片方形限位孔9的一边与所述环氧板材片2直径的夹角为22°30’。所述圆形环氧板材片固定在所述金属基体轮1上时，所述第一中心孔与所述第二中心孔对应，所述第一透液孔和所述第二透液孔一一对应，所述第一石英晶片方形限位孔和所述第二石英晶片方形限位孔一一对应。为了方便将所述环氧板材2粘结在所述金属基体轮1上，所述环氧板材2上和所述金属基体轮1上分别还开设有销钉孔10，所述销钉孔10内设置有销钉。试验验证为了验证本实施例所提供的研磨石英大晶片的斜角游星轮比利用方形孔一边与游轮直径垂直的普通游星轮的优越性，分别利用这两种游星轮对尺寸为长28mm宽25.7mm的石英大晶片进行相同加工量的研磨试验，试验结果如表1所示。表1、经不同游星轮加工后的石英大晶片外观不良汇总表游星轮种类投入片数大角小角裂纹不良总数合格率普通方形孔游星轮123471064420312179685.45%本实施例游星轮11839132858129897.48%从表1中可以看出：经本实施例所提供的研磨石英大晶片的斜角游星轮加工后的石英大晶片的各种外观不良，如大角、锯齿片、角裂等明显得到减少，使石英大晶片研磨的合格率提高了8%。最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本技术的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本技术进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本技术的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本技术技术方案的精神，其均应涵盖在本技术请求保护的技术方案范围当中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种研磨石英大晶片的斜角游星轮，其特征在于：它包括金属基体轮，所述金属基体轮的上表面和下表面分别固定设置有环氧板材片；所述金属基体轮的外周面固定设置有多个轮齿，所述金属基体轮上分别开设有第一中心孔、多个第一透液孔和多个第一石英晶片方形限位孔，多个所述第一透液孔和多个所述第一石英晶片方形限位孔围绕所述第一中心孔均匀排列在所述金属基体轮上，多个所述第一透液孔和多个所述第一石英晶片方形限位孔间隔设置，每个所述第一石英晶片方形限位孔的一边与所述金属基体轮直径的夹角均为22°30’，所述环氧板材片上分别开设有第二中心孔、多个第二透液孔和多个第二石英晶片方形限位孔，多个所述第二透液孔和多个所述第二石英晶片方形限位孔围绕所述第二中心孔均匀排列在所述环氧板材片上，多个所述第二透液孔和多个所述第二石英晶片方形限位孔间隔设置，每个所述第二石英晶片方形限位孔的一边与所述环氧板材片直径的夹角为22°30’，所述第一中心孔与所述第二中心孔对应，所述第一透液孔和所述第二透液孔一一对应，所述第一石英晶片方形限位孔和所述第二石英晶片方形限位孔一一对应。

【技术特征摘要】
1.一种研磨石英大晶片的斜角游星轮，其特征在于：它包括金属基体轮，所述金属基体轮的上表面和下表面分别固定设置有环氧板材片；所述金属基体轮的外周面固定设置有多个轮齿，所述金属基体轮上分别开设有第一中心孔、多个第一透液孔和多个第一石英晶片方形限位孔，多个所述第一透液孔和多个所述第一石英晶片方形限位孔围绕所述第一中心孔均匀排列在所述金属基体轮上，多个所述第一透液孔和多个所述第一石英晶片方形限位孔间隔设置，每个所述第一石英晶片方形限位孔的一边与所述金属基体轮直径的夹角均为22°30’，所述环氧板材片上分别开设有第二中心孔、多个第二透液孔和多个第二石英晶片方形限位孔，多个所述第二透液孔和多个所述第二石英晶片方形限位孔围绕所述第二中心孔均匀排列在所述环氧板材片上，多个所述第二透液孔和多个所述第二石英晶片方...

【专利技术属性】
技术研发人员：董建峰，董振峰，崔素芝，
申请(专利权)人：济源石晶光电频率技术有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41