一种二氧化硅晶片研磨机封盖制造技术

技术编号:9318354 阅读:106 留言:0更新日期:2013-11-06 23:44
一种二氧化硅晶片研磨机封盖,涉及一种研磨机设备,包括中心连接块和边缘打磨圈,所述的中心连接块通过连接板连接打磨圈。本实用新型专利技术结构简单,设计合理,封盖上的研磨圈通过连接板连接在中心连接块上,中间存在孔隙,可观察研磨片转动轨迹,随时掌握研磨状态。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种二氧化硅晶片研磨机封盖,其特征在于:包括中心连接块和边缘打磨圈,所述的中心连接块通过连接板连接打磨圈。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:华前斌
申请(专利权)人:铜陵迈维电子科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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