一种晶棒Z面粘接定向装置制造方法及图纸

技术编号:34492962 阅读:22 留言:0更新日期:2022-08-10 09:12
本实用新型专利技术提供一种晶棒Z面粘接定向装置,包括底板,所述底板的一侧设置有X光发光装置,所述底板的另一侧设置有底座;所述底座上斜向设置有斜向定位架和一对导轨,一对所述导轨的一端设置有盖革计数器和毫安表,一对所述导轨上滑动设置有滑块板,所述滑块板上通过支撑座设置有用于粘结晶棒的料板,所述料板设置在所述X光发光装置与所述盖革计数器之间;所述斜向定位架的中部设置在所述料板的上方,所述斜向定位架的中部设置有一对顶尖,其中一个顶尖通过顶尖调节旋钮可伸缩设置在所述斜向定位架上。该装置减少了偏移量易于通过毫安表进行定向调节,定向角度精度高且结构简单、便于操作。于操作。于操作。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒Z面粘接定向装置


[0001]本技术涉及石英晶棒领域,具体的说,涉及了一种晶棒Z面粘接定向装置。

技术介绍

[0002]目前,在压电石英晶体频率片的生产过程中有一道晶片切片工序,而在进行该切片工序之前需要通过胶水将晶棒按照特定的角度粘接固定在托板或垫板上,以便进行切片作业,待晶棒很好地被粘接固定时,便可以将晶棒放置到线切割机中进行线切加工。
[0003]目前,在以特定的角度对石英晶棒进行粘接时,通常会使用到X光定向粘板机进行辅助粘接。其中,X光定向粘板机的工作原理如下:当X射线射入待粘接的晶棒Z面后再反射到盖革计数器时,会使电离箱内的气体发生电离,于是气体的正负离子分别奔向充气管的正负极,在电阻的作用下产生一个微小的脉冲电压降,此脉冲电压通过放大器的放大、检波器的积分后再传输给在毫安表上,从而可以反映出反射线的强度。若X射线反射强,则脉冲频率也越高,积分电压越大,毫伏表所通过的电流也相应变大。通过毫伏表的指示便可以给石英晶体定向操作,进而可以转换成粘接角度并可以以数显的形式表现出来。从而实现了在粘接晶棒时可以精确定位晶棒的Z面。
[0004]但是,现有的X光定向粘板机结构复杂,在调节粘接角度时偏移量较大、不便于精确调节。
[0005]为了解决以上存在的问题,人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。

技术实现思路

[0006]为了实现上述目的,本技术所采用的技术方案是:一种晶棒Z面粘接定向装置,包括底板,所述底板的一侧设置有X光发光装置,所述底板的另一侧设置有底座;
[0007]所述底座上斜向设置有斜向定位架和一对导轨,一对所述导轨的一端设置有盖革计数器和毫安表,一对所述导轨上滑动设置有滑块板,所述滑块板上通过支撑座设置有用于粘接晶棒的料板,所述料板设置在所述X光发光装置与所述盖革计数器之间;
[0008]所述斜向定位架的中部设置在所述料板的上方,所述斜向定位架的中部设置有一对顶尖,其中一个顶尖通过顶尖调节旋钮可伸缩设置在所述斜向定位架上。
[0009]基于所述,所述盖革计数器与所述毫安表信号连接。
[0010]基于上述,为了便于操作,所述料板可拆卸设置在所述滑块板上。
[0011]基于上述,为了实现平稳移动,所述料板的长度小于所述滑块板的长度。
[0012]基于上述,为了便于精确调节,一对所述顶尖与一对所述导轨平行设置。
[0013]基于上述,一对所述导轨水平设置在所述底座的上表面。
[0014]本技术相对现有技术具有实质性特点和进步,具体的说,本技术提供的一种晶棒Z面粘接定向装置,通过将料板设置在滑块板上,从而可以便于对料板的高度进行调节。同时,在滑块下方设置两条平行的导轨,从而确保了滑块在滑动过程中的平稳性,减少了偏移量易于通过毫安表进行定向调节。
[0015]进一步的,通过在斜向定位架上设置一对顶尖装置,并将其中一个顶尖装置设置成伸缩量可调的形式,从而便于利用顶尖装置对晶棒进行精确调节,定向角度精度高。该装置结构简单、便于操作。
附图说明
[0016]图1是本技术提供的一种晶棒Z面粘接定向装置整体结构示意图。
[0017]图中:1、毫安表;2、X光发光装置;3、底板;4、底座;5、盖革计数器;6、顶尖调节旋钮;7、导轨;8、滑块板;9、料板;10、斜向定位架;11、晶棒;12、可调顶尖;13、固定顶尖;14、支撑座。
具体实施方式
[0018]下面通过具体实施方式,对本技术的技术方案做进一步的详细描述。
[0019]本实施例提供一种晶棒Z面粘接定向装置,如图1所示,包括底板3,所述底板3的一侧设置有X光发光装置2,所述底板3的另一侧设置有底座4。
[0020]所述底座4上斜向设置有斜向定位架10和一对导轨7。一对所述导轨7的一端设置有盖革计数器5和毫安表1。一对所述导轨7上滑动设置有滑块板8。所述滑块板8上通过支撑座14设置有用于粘接晶棒的料板9。所述料板9设置在所述X光发光装置2与所述盖革计数器5之间。
[0021]所述斜向定位架10的中部设置在所述料板9的上方。所述斜向定位架10的中部设置有一对顶尖。
[0022]其中一个顶尖通过顶尖调节旋钮6可伸缩设置在所述斜向定位架10上。具体地,本实施例中一对顶尖包括固定顶尖13和通过顶尖调节旋钮可伸缩设置在所述斜向定位架上的可调顶尖12。
[0023]具体地,所述盖革计数器5与所述毫安表1信号连接。当X射线射入被测的晶棒的Z面后,再反射到盖革计数器时,会使电离箱内的气体发生电离,于是气体的正负离子分别奔向充气管的正负极,在电阻的作用下产生一个微小的脉冲电压降,此脉冲电压通过放大器的放大、检波器的积分后再传输给在毫安表上,来反映出反射线的强度。若X射线反射强,则脉冲频率也越高,积分电压越大,毫伏表所通过的电流也相应变大。当毫伏表指示就可以给石英晶体定向,并转换成角度,并可以以数显的形式表现出来。
[0024]具体地,所述料板9可拆卸设置在所述滑块板8上。本实施例中,所述料板9的长度小于所述滑块板8的长度。一对所述顶尖与一对所述导轨平行设置。一对所述导轨水平设置在所述底座4的上表面。
[0025]具体地,利用本实施例提供的晶棒Z面粘接定向装置对待粘接的晶棒进行定向粘接时,具体操作步骤如下:
[0026]首先,将料板水平放置在滑块板上,然后将待粘接的晶棒置于料板上,然后推动滑块板沿导轨滑动,使晶棒向两个顶尖逐渐靠近并与顶尖接触,然后通过调节顶尖调节旋钮来调节可调顶尖的伸缩尺寸,进而调节抵接在顶尖一侧的晶棒在料板上的倾斜角度,并通过毫安表来显示角度的变化过程,进而寻找确定出晶棒的Z面,在料板上做出相应标记后采用粘接剂将晶棒按照对应角度粘接在料板上。
[0027]最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本技术的技术方案而非对其限制;尽管参照较佳实施例对本技术进行了详细的说明,所属领域的普通技术人员应当理解:依然可以对本技术的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换;而不脱离本技术技术方案的精神,其均应涵盖在本技术请求保护的技术方案范围当中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒Z面粘接定向装置,其特征在于:包括底板,所述底板的一侧设置有X光发光装置,所述底板的另一侧设置有底座;所述底座上斜向设置有斜向定位架和一对导轨,一对所述导轨的一端设置有盖革计数器和毫安表,一对所述导轨上滑动设置有滑块板,所述滑块板上通过支撑座设置有用于粘接晶棒的料板,所述料板设置在所述X光发光装置与所述盖革计数器之间;所述斜向定位架的中部设置在所述料板的上方,所述斜向定位架的中部设置有一对顶尖,其中一个顶尖通过顶尖调节旋钮可伸缩设置在所述斜向定位架上。2. 根据权利要求 1 所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员:董建峰王景琰张伟侯标卫磊
申请(专利权)人:济源石晶光电频率技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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