全自动纳米压印装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种全自动纳米压印装置，包括：料片供料机构，包括供料架、以及设置于供料架上的至少一个料盒，料盒上由下至上依次设有多个料片固定机构；纳米压印机构，包括压印机箱和压印机构，压印机箱设置于料片供料机构的一侧，压印机箱内设有料片定位机构和软膜板定位机构，压印机箱的侧面上设有料片进出口和软膜板进出口，压印机构设置于压印机箱内用于将软膜板压印至料片上；料片移载机构，其设置于料片供料机构和纳米压印机构之间，用于将料片在料片供料机构和纳米压印机构之间移动。本实用新型专利技术相较于现有技术，料片移载机构将料片在料片供料机构和纳米压印机构之间移动，结构合理，省却人力，实现自动纳米压印，大大提高工作效率。

Automatic nanoscale imprint device

The utility model discloses an automatic nanoimprint device, including: sheet feed mechanism comprises a feeding frame, and arranged on the feeding frame at least one cartridge, followed by the bottom material box is provided with a plurality of sheet fixing mechanism; nano imprinting mechanism, including the press box and imprinting mechanism one side of the chassis is arranged on the imprint sheet feeding mechanism, stamping chassis is provided with a material plate positioning mechanism and soft board positioning mechanism is arranged on the side of the chassis, stamping material import and export and import and export of soft plate, embossing mechanism is arranged on the chassis for the soft imprint imprint to film plate blank; sheet transfer mechanism, which is arranged in the material feeding mechanism and nano imprinting mechanism, used to move between the blank sheet feeding mechanism and nano imprinting mechanism. Compared with the prior art, the material shifting mechanism moves the sheet material between the feeding mechanism and the nano imprint mechanism, the structure is reasonable, the manpower is saved, the automatic nano imprint is realized, and the work efficiency is greatly improved.

【技术实现步骤摘要】
全自动纳米压印装置
本技术涉及一种全自动纳米压印装置。
技术介绍
纳米压印技术是微纳米器件制作工艺中的一个重要技术，纳米压印技术最早由StephenYChou教授在1995年率先提出，这是一种不同于传统光刻技术的全新图形转移技术。纳米压印技术的定义为：不使用光线或者辐照使光刻感光成型，而是直接在硅衬底或者其他衬底上利用物理学的机理构造纳米尺寸图形。目前纳米压印制作时，主要采用人工的方式搬运料片，劳动强度大，工作效率低，容易影响后期压印效果。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供了一种全自动纳米压印装置。为了达到上述目的，本技术的技术方案如下：本技术提供一种全自动纳米压印装置，包括：料片供料机构，包括供料架、以及设置于供料架上的至少一个料盒，料盒上由下至上依次设有多个料片固定机构；纳米压印机构，包括压印机箱和压印机构，压印机箱设置于料片供料机构的一侧，压印机箱内设有料片定位机构和软膜板定位机构，压印机箱的侧面上设有料片进出口和软膜板进出口，压印机构设置于压印机箱内用于将软膜板压印至料片上；料片移载机构，其设置于料片供料机构和纳米压印机构之间，用于将料片在料片供料机构和纳米压印机构之间移动。本技术相较于现有技术，料片移载机构将料片在料片供料机构和纳米压印机构之间移动，结构合理，省却人力，实现自动纳米压印，大大提高工作效率。在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：作为优选的方案，上述的料片移载机构包括底座、曲柄机构、安装基座、料片取料组件和旋转驱动机构，底座设置于料片供料机构和纳米压印机构之间，曲柄机构包括第一连接臂和第二连接臂，第一连接臂长度方向的一端转动设置于底座上，第二连接臂长度方向的一端转动设置于第一连接臂上，安装基座转动设置于第二连接臂的自由端，料片取料组件设置于安装基座上，旋转驱动机构与第一连接臂、第二连接臂和安装基座连接用于驱动第一连接臂绕其与底座的连接点转动、驱动第二连接臂绕其与第一连接臂的连接点转动、以及驱动安装基座在第二连接臂的自由端作圆周方向转动。采用上述优选的方案，第一连接臂和第二连接臂转动驱动安装基座靠近或远离供料机构和纳米压印机构，安装基座转动可将料片取料组件在供料机构和纳米压印机构之间切换。作为优选的方案，上述的安装基座为圆柱结构，料片取料组件为二个，二个料片取料组件相对设置于圆柱结构的侧面上。采用上述优选的方案，设置二个料片取料组件，实现待压印料片和压印完成的料片的取料，更加方便。作为优选的方案，上述的安装基座包括上基座和下基座，下基座转动设置于第二连接臂的自由端，上基座设置于下基座上，料片取料组件设置于上基座和下基座之间。采用上述优选的方案，料片取料组件设置于上基座和下基座之间，便于安装和拆卸。作为优选的方案，上述的料片取料组件包括固定环、连接组件和二取料杆，固定环套设于上基座和下基座之间，连接组件设置于固定环上，二取料杆设置于连接组件上。采用上述优选的方案，料片取料组件采用固定环连接，便于更换，适用于不同产品。作为优选的方案，上述的取料杆内设有电磁线圈，电磁线圈与变频电源连接。采用上述优选的方案，电磁线圈通电后产生吸力，从而将料片吸附住，便于料片的移载。作为优选的方案，上述的第一连接臂长度方向的一端的底部设有第一转盘，第一转盘转动设置于底座上，第二连接臂长度方向的一端的底部设有第二转盘，第二转盘转动设置于第一连接臂上，第一转盘、第二转盘和下基座上设有角度传感器。采用上述优选的方案，第一连接臂通过第一转盘转动设置于底座上，第二连接臂通过第二转盘设置于第一连接臂上，角度传感器可计算第一转盘、第二转盘和下基座转动的角度，避免产生操作错误。作为优选的方案，上述的第一转盘、第二转盘和下基座料盒包括对称设置的二料架，料片固定结构设置于二料架的相对侧面上，料片固定机构为料片导向固定槽，料片导向固定槽槽底的横截面为圆弧结构且圆弧结构的外径尺寸由料盒的进出口至料盒的内侧为由大渐小设置。采用上述优选的方案，圆弧结构的外径尺寸由料盒的进出口至料盒的内侧为由大渐小设置，便于料片的固定，也便于料片移载机构取料。附图说明图1为本技术的整体结构示意图。具体实施方式下面结合附图详细说明本技术的优选实施方式。为了达到本技术的目的，如图1所示，在本技术的其中一种实施方式中提供一种全自动纳米压印装置，其特征在于，包括：料片供料机构4，包括供料架、以及设置于供料架上的四个料盒，料盒上由下至上依次设有多个料片固定机构；纳米压印机构1，包括压印机箱和压印机构，压印机箱设置于料片供料机构的一侧，压印机箱内设有料片定位机构和软膜板定位机构，压印机箱的侧面上设有料片进出口和软膜板进出口，压印机构设置于压印机箱内用于将软膜板压印至料片上；料片移载机构3，其设置于料片供料机构和纳米压印机构之间，用于将料片在料片供料机构和纳米压印机构之间移动。本实施方式相较于现有技术，料片移载机构将料片2在料片供料机构4和纳米压印机构1之间移动，结构合理，省却人力，实现自动纳米压印，大大提高工作效率。为了进一步地优化本技术的实施效果，在本技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的料片移载机构3包括底座、曲柄机构、安装基座、料片取料组件和旋转驱动机构，底座设置于料片供料机构和纳米压印机构之间，曲柄机构包括第一连接臂和第二连接臂，第一连接臂长度方向的一端转动设置于底座上，第二连接臂长度方向的一端转动设置于第一连接臂上，安装基座转动设置于第二连接臂的自由端，料片取料组件设置于安装基座上，旋转驱动机构与第一连接臂、第二连接臂和安装基座连接用于驱动第一连接臂绕其与底座的连接点转动、驱动第二连接臂绕其与第一连接臂的连接点转动、以及驱动安装基座在第二连接臂的自由端作圆周方向转动。采用上述优选的方案，第一连接臂和第二连接臂转动驱动安装基座靠近或远离供料机构和纳米压印机构，安装基座转动可将料片取料组件在供料机构和纳米压印机构之间切换。为了进一步地优化本技术的实施效果，在本技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的安装基座为圆柱结构，料片取料组件为二个，二个料片取料组件相对设置于圆柱结构的侧面上。采用上述优选的方案，设置二个料片取料组件，实现待压印料片和压印完成的料片的取料，更加方便。为了进一步地优化本技术的实施效果，在本技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的安装基座包括上基座和下基座，下基座转动设置于第二连接臂的自由端，上基座设置于下基座上，料片取料组件设置于上基座和下基座之间。采用上述优选的方案，料片取料组件设置于上基座和下基座之间，便于安装和拆卸。为了进一步地优化本技术的实施效果，在本技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的料片取料组件包括固定环、连接组件和二取料杆，固定环套设于上基座和下基座之间，连接组件设置于固定环上，二取料杆设置于连接组件上。采用上述优选的方案，料片取料组件采用固定环连接，便于更换，适用于不同产品。为了进一步地优化本技术的实施效果，在本技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的取料杆内设有电磁线圈，电磁线圈与变频电源连接。采用上述优选的方案，电磁线圈通电后产生吸力，从而将料片吸附住，便于料片本文档来自技高网...

【技术保护点】
全自动纳米压印装置，其特征在于，包括：料片供料机构，包括供料架、以及设置于供料架上的至少一个料盒，料盒上由下至上依次设有多个料片固定机构；纳米压印机构，包括压印机箱和压印机构，压印机箱设置于料片供料机构的一侧，压印机箱内设有料片定位机构和软膜板定位机构，压印机箱的侧面上设有料片进出口和软膜板进出口，压印机构设置于压印机箱内用于将软膜板压印至料片上；料片移载机构，其设置于料片供料机构和纳米压印机构之间，用于将料片在料片供料机构和纳米压印机构之间移动。

【技术特征摘要】
1.全自动纳米压印装置，其特征在于，包括：料片供料机构，包括供料架、以及设置于供料架上的至少一个料盒，料盒上由下至上依次设有多个料片固定机构；纳米压印机构，包括压印机箱和压印机构，压印机箱设置于料片供料机构的一侧，压印机箱内设有料片定位机构和软膜板定位机构，压印机箱的侧面上设有料片进出口和软膜板进出口，压印机构设置于压印机箱内用于将软膜板压印至料片上；料片移载机构，其设置于料片供料机构和纳米压印机构之间，用于将料片在料片供料机构和纳米压印机构之间移动。2.根据权利要求1所述的全自动纳米压印装置，其特征在于，料片移载机构包括底座、曲柄机构、安装基座、料片取料组件和旋转驱动机构，底座设置于料片供料机构和纳米压印机构之间，曲柄机构包括第一连接臂和第二连接臂，第一连接臂长度方向的一端转动设置于底座上，第二连接臂长度方向的一端转动设置于第一连接臂上，安装基座转动设置于第二连接臂的自由端，料片取料组件设置于安装基座上，旋转驱动机构与第一连接臂、第二连接臂和安装基座连接用于驱动第一连接臂绕其与底座的连接点转动、驱动第二连接臂绕其与第一连接臂的连接点转动、以及驱动安装基座在第二连接臂的自由端作圆周方向转动。3.根据权利要求2所述的全自动纳米压印装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓成，史晓华，
申请(专利权)人：苏州光越微纳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32