一种能够进行空气循环的纳米压印设备制造技术

本发明专利技术公开了一种能够进行空气循环的纳米压印设备，包括支撑座和升降台，支撑座和升降台的外部设有壳体，升降台的四周具有多根升降柱固定于支撑座上，升降台可以沿升降柱移动，所述支撑座上还设有硅胶垫和样品台，升降台中部设有模板以及位于模板上方的紫外灯。所述壳体在样平台的高度位置设有空气进口和空气出口，空气进口和空气出口相对设置，所述壳体上的空气进口沿气流的方向直径越来越大，空气出口沿气流的方向直径越来越小，空气进口直径最大处设有一层能够进行空气滤清的滤网。采用本发明专利技术的设计，能够尽量减缓空气在样品台出的空气流速，并且加快整体的空气循环效率，同时防止循环后的空气携带压印杂质，影响下一次的压印效果。

A nano imprint equipment capable of carrying out air circulation

The invention discloses a nano imprinting apparatus capable of circulating air, comprises a supporting seat and a lifting platform, external support seat and a lifting platform is provided with a shell around the lifting platform is provided with a lifting column fixed on the supporting seat, the lifting platform can move along the lifting column, the supporting seat is also provided with a silicone pad and the sample stage, the lifting platform is arranged in the middle of a template and UV lamp located above the template. The shell height in the sample platform is provided with an air inlet and an air outlet, an air inlet and an air outlet positioned relative to the housing along the airflow direction of the air inlet diameter increasing, the diameter of the air outlet along the airflow direction is more and more small, the maximum diameter of the air inlet is provided with a filter screen can be a layer of air filter the. The design of the invention can minimize the air flow rate of the air at the sample stage, and speed up the overall air circulation efficiency, while preventing the air after the cycle carrying the imprint impurities, affecting the next impression.

【技术实现步骤摘要】
一种能够进行空气循环的纳米压印设备
本专利技术涉及一种纳米压印设备，特别是一种能够进行空气循环的纳米压印设备。
技术介绍
现有的纳米压印设备一般采用非循环式空气流通，防止纳米压印过程中的杂质进行循环，并且现有的纳米压印设备在空气进口和出口处均设置空气阀以能够对空气的流速进行管控，但是此量种设计需要的成本均较高。
技术实现思路
专利技术目的：本专利技术在于解决现有的纳米压印设备采用非循环式空气流通或空气阀进行空气管控成本较高的问题。技术方案：本专利技术提供以下技术方案：一种能够进行空气循环的纳米压印设备，包括支撑座和升降台，支撑座和升降台的外部设有壳体，升降台的四周具有多根升降柱固定于支撑座上，升降台可以沿升降柱移动，所述支撑座上还设有硅胶垫和样品台，升降台中部设有模板以及位于模板上方的紫外灯，所述壳体在样平台的高度位置设有空气进口和空气出口，所述壳体上的空气进口沿气流的方向直径越来越大，空气出口沿气流的方向直径越来越小。进一步地，所述空气进口直径最大处设有一层能够进行空气滤清的滤网。进一步地，所述空气进口和空气出口沿同一直线相对设置。进一步地，所述空气进口和空气出口在壳体的外部通过直径不大于3cm的空气管路连接，空气管路的中部设有空气泵。进一步地，所述空气管路的外部包覆有一层网状散热膜。进一步地，所述网状散热膜为网状石墨散热膜。工作原理：在压印过程中，空气能够带走样品台上样品压印产生的杂质，并且随着空气流动，进入空气管路，最终会阻挡在滤网上，只需进行定时清洗即可，同时，空气进口位置能够通过通孔直径的变化，使得空气流速变小，防止对压印过程产生问题，而空气出口位置相反，空气流速加快，能够提高空气循环的速度。有益效果：本专利技术与现有技术相比：采用本专利技术的设计，能够尽量减缓空气在样品台出的空气流速，并且加快整体的空气循环效率，同时防止循环后的空气携带压印杂质，影响下一次的压印效果。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步的解释。如附图1所示，一种能够进行空气循环的纳米压印设备，包括支撑座1和升降台2，支撑座1和升降台2的外部设有壳体3，升降台2的四周具有多根升降柱4固定于支撑座1上，升降台2可以沿升降柱4移动，所述支撑座1上还设有硅胶垫5和样品台6，升降台2中部设有模板7以及位于模板7上方的紫外灯8，所述壳体3在样平台6的高度位置设有空气进口9和空气出口10，所述壳体3上的空气进口10沿气流的方向直径越来越大，空气出口10沿气流的方向直径越来越小。所述空气进口9直径最大处设有一层能够进行空气滤清的滤网11。所述空气进口9和空气出口10沿同一直线相对设置。所述空气进口9和空气出口10在壳体3的外部通过直径不大于3cm的空气管路12连接，空气管路12的中部设有空气泵13。所述空气管路12的外部包覆有一层网状散热膜(未图示)。所述网状散热膜为网状石墨散热膜。在压印过程中，空气能够带走样品台6上样品压印产生的杂质，并且随着空气流动，进入空气管路12，最终会阻挡在滤网11上，只需进行定时清洗即可，同时，空气进口9位置能够通过通孔直径的变化，使得空气流速变小，防止对压印过程产生问题，而空气出口10位置相反，空气流速加快，能够提高空气循环的速度。本专利技术提供了一种能够进行空气循环的纳米压印设备，具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围，本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种能够进行空气循环的纳米压印设备，包括支撑座和升降台，支撑座和升降台的外部设有壳体，升降台的四周具有多根升降柱固定于支撑座上，升降台可以沿升降柱移动，所述支撑座上还设有硅胶垫和样品台，升降台中部设有模板以及位于模板上方的紫外灯，其特征在于：所述壳体在样平台的高度位置设有空气进口和空气出口，所述壳体上的空气进口沿气流的方向直径越来越大，空气出口沿气流的方向直径越来越小。

【技术特征摘要】
1.一种能够进行空气循环的纳米压印设备，包括支撑座和升降台，支撑座和升降台的外部设有壳体，升降台的四周具有多根升降柱固定于支撑座上，升降台可以沿升降柱移动，所述支撑座上还设有硅胶垫和样品台，升降台中部设有模板以及位于模板上方的紫外灯，其特征在于：所述壳体在样平台的高度位置设有空气进口和空气出口，所述壳体上的空气进口沿气流的方向直径越来越大，空气出口沿气流的方向直径越来越小。2.根据权利要求1所述的能够进行空气循环的纳米压印设备，其特征在于：所述空气进口直径最大处设有一层能够进行空气滤清...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵敏洁，杨彦涛，
申请(专利权)人：无锡英普林纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32