大面积平板吸附压印装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种大面积平板吸附压印装置，其包括：软膜模具，其表面设置有压印图案；模具驱动部，其驱动面上设置有多个孔体，模具驱动部还连接吸附驱动装置，吸附驱动装置驱动孔体吸附住软膜模具，孔体在驱动面分为多个由内至外分布直径逐渐变大的环形孔体组，每个环形孔体组包括多个组成环形的孔体，各个环形孔体组的圆心重合，重合处设有一孔体；底板，其上设置有样品，样品上涂覆有固化胶。本实用新型专利技术中，压印时，模具就像水波纹一样地逐渐贴覆到固化胶上去，克服直接压制所带来的应力等问题，使得贴覆更为轻盈和紧密，从而有效地解决固化胶表面的气泡问题。

Large area plate adsorption embossing device

The utility model discloses a large flat adsorption imprint apparatus includes a soft mold, the surface is provided with embossing pattern; mold driving part, the drive surface is provided with a plurality of holes, the driving part is connected with the adsorption mould driving device, driving device for driving the adsorption hole body absorbs the soft mold hole body in the drive surface is divided into a plurality of annular hole from the inside to the outside diameter distribution of progressively larger groups. Each group includes a plurality of annular hole body composed of circular holes, each ring hole body group center overlap, overlap is provided with a hole; the bottom plate is arranged on the sample, sample coating a curable adhesive. In the utility model, when stamping, the mold is gradually pasted onto the curing glue as the water ripple, and overcomes the stress and other problems caused by direct pressing, making the sticking more light and tight, so as to effectively solve the bubble problem on the surface of the curing glue.

【技术实现步骤摘要】
大面积平板吸附压印装置
本技术属于微纳米器件图案化制作
，具体涉及一种大面积平板吸附压印装置。
技术介绍
现有的纳米压印技术主要有三种：热压印技术、紫外线压印技术和微接触纳米压印技术。其中，由于热压印技术固有的升降温过程和高压过程，目前还存在效率低的问题，实用中具有相当的技术难度，而紫外线压印技术是通过在压印胶中掺入光敏物质使得压印胶在紫外光照后可以固化从而实现室温压甲的纳米压印技术，其工艺所要求的压力也大大降低，因此紫外线压印技术是一种比较有前途的纳米图形转换技术，对其进行优化和改进，具有显著的市场价值。目前对其的研究也在逐步展开。目前的压印都是通过模具直接压制固化胶或者通过滚轮以滚动的方式压制固化胶，但是由于力度的控制等方面的原因，在压印过程中，模具和固化胶之间难以做到更为紧密的贴覆，从而造成固化胶表面形成较多的气泡，影响产品的良率。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供了一种可以有效克服固化胶表面气泡问题的大面积平板吸附压印装置及压印方法。为了达到上述目的，本技术的技术方案如下：大面积平板吸附压印装置，包括：软膜模具，其表面设置有压印图案，从软膜模具的纵截面看，压印图案本文档来自技高网...

【技术保护点】
大面积平板吸附压印装置，其特征在于，包括：软膜模具，其表面设置有压印图案，从所述软膜模具的纵截面看，所述压印图案呈锯齿状；模具驱动部，其驱动面上设置有多个孔体，所述模具驱动部还连接吸附驱动装置，所述吸附驱动装置驱动所述孔体吸附住所述软膜模具，所述孔体在所述驱动面分为四个由内至外分布直径逐渐变大的环形孔体组，每个所述环形孔体组包括多个组成环形的所述孔体，各个所述环形孔体组的圆心重合，重合处设有一所述孔体，四个所述环形孔体组由内至外形成第一环形孔体组、第二环形孔体组、第三环形孔体组和第四环形孔体组，所述第一环形孔体组包括十个所述孔体，所述第二环形孔体组包括十六个所述孔体，所述第三环形孔体组包括二十...

【技术特征摘要】
1.大面积平板吸附压印装置，其特征在于，包括：软膜模具，其表面设置有压印图案，从所述软膜模具的纵截面看，所述压印图案呈锯齿状；模具驱动部，其驱动面上设置有多个孔体，所述模具驱动部还连接吸附驱动装置，所述吸附驱动装置驱动所述孔体吸附住所述软膜模具，所述孔体在所述驱动面分为四个由内至外分布直径逐渐变大的环形孔体组，每个所述环形孔体组包括多个组成环形的所述孔体，各个所述环形孔体组的圆心重合，重合处设有一所述孔体，四个所述环形孔体组由内至外形成第一环形孔体组、第二环形孔体组、第三环形孔体组和第四环形孔体组，所述第一环形孔体组包括十...

【专利技术属性】
技术研发人员：史晓华，
申请(专利权)人：苏州光越微纳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32