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大面积平板吸附压印装置制造方法及图纸
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文档序号:16874246
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本实用新型公开了一种大面积平板吸附压印装置,其包括:软膜模具,其表面设置有压印图案;模具驱动部,其驱动面上设置有多个孔体,模具驱动部还连接吸附驱动装置,吸附驱动装置驱动孔体吸附住软膜模具,孔体在驱动面分为多个由内至外分布直径逐渐变大的环形孔...
该专利属于苏州光越微纳科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州光越微纳科技有限公司授权不得商用。
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