用于掩膜板的对位装置、蒸镀设备及对位方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于掩膜板的对位装置、蒸镀设备及对位方法。该对位装置包括：能够分别移动的至少两个磁性件，每一所述磁性件均能够形成均匀磁场，且当每一所述磁性件均位于第一预设位置时，至少两个所述磁性件相组合在第二预设位置形成均匀面磁场；其中，所述掩膜板处于所述第二预设位置时，至少两个所述磁性件相组合所形成面磁场对所述掩膜板施加使所述掩膜板朝所述第一预设位置移动的磁场力。本发明专利技术所述对位装置通过设置至少两个磁性件，能够保证每一下垂位置的掩膜板在磁场力作用下均能够以相同移动速度，带动玻璃基板移动，避免掩膜板下垂产生褶皱，造成对位精度不准确的影响。

【技术实现步骤摘要】
用于掩膜板的对位装置、蒸镀设备及对位方法
本专利技术涉及显示器制备
，尤其是指用于掩膜板的对位装置、蒸镀设备及对位方法。
技术介绍
有机发光二级管(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)显示器由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等多项优点，成为极具发展前景的下一代显示技术。目前，蒸镀工艺为OLED显示器制造过程中必不可少的工艺过程。蒸镀工艺是指在真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化或升化为原子、分子或原子团构成的蒸汽，穿过掩膜板在基板上形成预定形状的膜层，以制成所需要的功能层。基于蒸镀工艺的上述过程，在进行蒸镀之前，须将掩膜板与基板进行对位，保证基板上所形成蒸镀材料的膜层为设定位置。现有技术将掩膜板与基板对位的方式是通过形成均匀磁场，利用均匀磁场对掩膜板的吸引力使掩膜板与基板相对位贴合。然而采用该方式进行掩膜板对位时，由于基板和掩膜板通常为柔性材料制成，对位时局部区域会有一定下垂量，而且不同位置下垂量不同，而整体结构设置用于产生均匀磁场的磁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于掩膜板的对位装置，所述掩膜板采用金属材料制成，其特征在于，所述对位装置包括：能够分别移动的至少两个磁性件，每一所述磁性件均能够形成均匀磁场，且当每一所述磁性件均位于第一预设位置时，至少两个所述磁性件相组合在第二预设位置形成均匀面磁场；其中，所述掩膜板处于所述第二预设位置时，至少两个所述磁性件相组合所形成面磁场对所述掩膜板施加使所述掩膜板朝所述第一预设位置移动的磁场力。

【技术特征摘要】
1.一种用于掩膜板的对位装置，所述掩膜板采用金属材料制成，其特征在于，所述对位装置包括：能够分别移动的至少两个磁性件，每一所述磁性件均能够形成均匀磁场，且当每一所述磁性件均位于第一预设位置时，至少两个所述磁性件相组合在第二预设位置形成均匀面磁场；其中，所述掩膜板处于所述第二预设位置时，至少两个所述磁性件相组合所形成面磁场对所述掩膜板施加使所述掩膜板朝所述第一预设位置移动的磁场力。2.根据权利要求1所述用于掩膜板的对位装置，其特征在于，所述对位装置还包括：驱动结构，用于分别驱动每一所述磁性件在第一位置与第二位置之间移动；其中，所述第一预设位置为所述第一位置、所述第二位置或者所述第一位置和所述第二位置之间的其中一位置。3.根据权利要求1所述用于掩膜板的对位装置，其特征在于，当每一所述磁性件均位于第一预设位置时，至少两个所述磁性件中的第一磁性件围绕至少两个所述磁性件中的第二磁性件设置。4.根据权利要求3所述用于掩膜板的对位装置，其特征在于，至少两个所述磁性件分别形成为板状件，在所述第一预设位置时，每一所述磁性件分别位于同一平面。5.根据权利要求4所述用于掩膜板的对位装置，其特征在于，所述掩膜板处于所述第二预设位置时平行于至少两个所述磁性件。6.根据权利要求3所述用于掩膜板的对位装置，其特征在于，所述第二磁性件的面积小于所述掩膜板的面积。7.根据权利要求4所述用于掩膜板的对位装置，其特征在于，所述第一磁性件上设置有与所述第二磁性件的形状和尺寸对应的第一开孔；所述第一磁性...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘金彪，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11