金属网板及蒸镀掩膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种金属网板，包括：位于所述金属网板表面的第一区域，包括阵列分布的第一通孔；第二区域，包括阵列分布的第二通孔，所述第二通孔围绕所述第一区域设置；以及第三区域，包括阵列分布的第三通孔，所述第三通孔围绕所述第二区域设置；本发明专利技术的有益效果为：金属网板的表面设置有形变吸收区，在张网工艺中，通过对金属网板不断的调试拉伸，可将金属网板对应显示区的褶皱转移到形变吸收区，从而保证了金属网板与像素间的对位精度，进而提高对基板蒸镀的精确度。

Metal mesh and steamed mask

The invention provides a metal screen, including: the first area is located on the metal surface, comprises a first through hole array distribution; second regions, including the second array distribution through hole, the second hole around the first regional settings; and a third region including third array distribution hole. The third through holes around the second area; the invention has the advantages that the surface of the metal screen is arranged in the net absorption of deformation zone, in the process of the metal screen constantly debugging tension, the metal screen corresponding to the display area to fold deformation absorption area, so as to ensure the alignment precision metal screen and between pixels, so as to improve the accuracy of substrate evaporation.

【技术实现步骤摘要】
金属网板及蒸镀掩膜装置
本专利技术涉及显示面板制造工艺，尤其涉及一种金属网板及具有所述金属网板的蒸镀掩膜装置。
技术介绍
OLED(OrganicLightEmittingDisplay，有机发光显示装置)具有自发光功耗低、反应速度较快、对比度更高、视角较广等特点；在制造OLED的过程中，需要对像素R(红)G(绿)B(蓝)分别进行蒸镀，而蒸镀过程中需要用掩膜板对非蒸镀区进行遮挡。随着技术的发展，产品解析度的不断提高，对金属掩膜板制作精细化的要求也在不断提高；金属网板在焊接于框架前，需要通过张网设备将金属网板拉平，然而在拉伸过程中，金属网板的表面会出现褶皱，进而导致金属网板表面的网孔变形，网孔与像素的对位精度降低，最终会影响蒸镀的精确度。综上所述，现有的金属掩膜装置，金属网板在张网工艺中易出现褶皱，进而导致金属网板表面的网孔变形，网孔与像素的对位精度降低，最终会影响蒸镀的精确度。
技术实现思路
本专利技术提供一种金属网板，具有两部分形变吸收区，从而将金属网板对应于显示区的形变部分转移至形变吸收区，以解决现有的金属掩膜装置，金属网板在张网工艺中易出现褶皱，进而导致金属网板表面的网孔变形，网孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属网板，用于真空蒸镀法中作为衬底基板的掩膜板，其特征在于，包括位于所述金属网板表面的：第一区域，包括阵列分布的第一通孔，所述第一区域对应于显示面板的显示区；以将材料沉积于衬底基板的对应位置；第二区域，包括阵列分布的第二通孔，所述第二通孔位于所述显示面板的非显示区，且围绕所述第一区域设置；用作所述金属网板在张网工艺中的第一形变吸收区；以及：第三区域，包括阵列分布的第三通孔，所述第三通孔围绕所述第二区域设置；用作所述金属板体在张网工艺中的第二形变吸收区。

【技术特征摘要】
1.一种金属网板，用于真空蒸镀法中作为衬底基板的掩膜板，其特征在于，包括位于所述金属网板表面的：第一区域，包括阵列分布的第一通孔，所述第一区域对应于显示面板的显示区；以将材料沉积于衬底基板的对应位置；第二区域，包括阵列分布的第二通孔，所述第二通孔位于所述显示面板的非显示区，且围绕所述第一区域设置；用作所述金属网板在张网工艺中的第一形变吸收区；以及：第三区域，包括阵列分布的第三通孔，所述第三通孔围绕所述第二区域设置；用作所述金属板体在张网工艺中的第二形变吸收区。2.根据权利要求1所述的金属网板，其特征在于，所述第一通孔、所述第二通孔以及所述第三通孔具有相同的孔型及尺寸。3.根据权利要求1所述的金属网板，其特征在于，位于所述第三区域的通孔行数，为所述第二区域的通孔行数的2～3倍；位于所述第三区域的通孔列数，为所述第二区域的通孔列数的2～3倍。4.根据权利要求2或3所述的金属网板，其特征在于，所述第一区域的相邻行通孔的间距、所述第二区域的相邻行通孔的间距以及所述第三区域的相邻行通孔的间距相等；所述第一区域的相邻列通孔的间距、所述第二区域的相邻列通孔的间距以及所述第三区域的相邻列通孔的间距相等。5.根据权利要求4所述的金属网板，其特征在于，所述第一区域边缘的通孔行，与邻近的所述第二区域边缘的通孔行的间距，等于各区域相邻行通孔的间距；所述第一区域边缘的通孔列，与邻近的所述第二区域边缘的通孔列的间距，等于各区域相邻列通孔的间距；所述第三区域内边缘的通孔行，与邻近的所述第二区域边缘的通孔行的间距，等于各区域相邻行通孔的间距；所述第三区域内边缘的通孔列，与邻近的所述第二区域边缘的通孔列的间距，等于各区域相邻列通孔的间距。6.一种蒸镀掩膜装置，其特征在于，包括：框架；金属网板，设置于所述框架内，其表面开设有若干沉积孔；用于真空蒸镀法中作为衬底基板的掩膜板；支撑条，设置于所述金属网板底部，以避免所述金属网...

【专利技术属性】
技术研发人员：张鹏，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42