掩膜板运送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种掩膜板运送装置，用于运送固定有掩膜板的固定结构，包括：底座；多个滑轮，用于承载所述固定结构，每个滑轮通过弹性结构固定于所述底座上，所述弹性结构包括与所述滑轮连接的连接单元，以及对称设置于所述滑轮相对的两侧的弹性单元，所述弹性单元固定于所述底座上、并能够带动所述连接单元在竖直方向上弹性运动。本实用新型专利技术的有益效果是：弹性结构的设置使得滑轮可以在竖直方向弹性运动，在固定结构放置于滑轮上时，滑轮的高度可以弹性降低，这样可以避免滑轮与固定结构的撞击，延长固定结构和滑轮的使用寿命，且避免由于滑轮和固定结构撞击对掩膜板质量影响以至于影响蒸镀效果。

Masking plate conveyer

The utility model relates to a conveying device of a mask plate, used for transporting is fixed with a fixed structure, the mask plate comprises a base; a plurality of pulleys, used for carrying the fixed structure, each pulley is fixed on the base through the elastic structure, the elastic structure includes a connecting unit connected with the pulley. The elastic element and symmetrically arranged on opposite sides of the pulley, the elastic element is fixed on the base, and can drive the connecting unit in the vertical direction elastic motion. The utility model has the advantages that: elastic structure is arranged so that the pulley can be flexible in the vertical direction, in the fixed structure placed on the pulley, the pulley height can be reduced flexibility, which can avoid the pulley and the fixed structure of the impact of fixed pulley structure and prolong service life, and avoid the pulley and the fixed structure the impact that the effects on the mask quality evaporation effect.

【技术实现步骤摘要】
掩膜板运送装置
本技术涉及液晶产品制作
，尤其涉及一种掩膜板运送装置。
技术介绍
现阶段OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)产线中，在进行蒸镀所需掩膜板准备阶段，会对应各个腔室将掩膜板投入到蒸镀机中；将蒸镀所需的掩膜板放入到CST(用于固定掩膜板的固定结构)中，再将CST推入对应腔室，CST与滑轮正常衔接很重要，而且又是必不可少的一步，由于CST与滑轮衔接时，CST高度较低(原因为CST中Mask数量较多，长期使用使得MGV(用于搬运CST的搬运设备)载放CST的机台高度降低)，当CST进行推入动作时会撞击滑轮，造成对CST、滑轮的使用寿命，以及对CST内的掩膜板品质影响，进而影响蒸镀效果。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供一种掩膜板运送装置，避免固定结构与滑轮撞击。为了达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种掩膜板运送装置，用于运送固定有掩膜板的固定结构，包括：底座；多个滑轮，用于承载所述固定结构，每个滑轮通过弹性结构固定于所述底座上，所述弹性结构包括与所述滑轮连接的连接单元，以及对称设置于所述滑轮相对的两侧的弹性单元，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板运送装置，用于运送固定有掩膜板的固定结构，其特征在于，包括：底座；多个滑轮，用于承载所述固定结构，每个滑轮通过弹性结构固定于所述底座上，所述弹性结构包括与所述滑轮连接的连接单元，以及对称设置于所述滑轮相对的两侧的弹性单元，所述弹性单元固定于所述底座上、并能够带动所述连接单元在竖直方向上弹性运动。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板运送装置，用于运送固定有掩膜板的固定结构，其特征在于，包括：底座；多个滑轮，用于承载所述固定结构，每个滑轮通过弹性结构固定于所述底座上，所述弹性结构包括与所述滑轮连接的连接单元，以及对称设置于所述滑轮相对的两侧的弹性单元，所述弹性单元固定于所述底座上、并能够带动所述连接单元在竖直方向上弹性运动。2.根据权利要求1所述的掩膜板运送装置，其特征在于，所述弹性单元包括弹簧，所述弹簧的第一端固定于所述底座上；所述连接单元包括连接轴，所述连接轴穿插于所述滑轮的中心，且所述连接轴的两端分别与相应的所述弹簧的第二端固定连接。3.根据权利要求2所述的掩膜板运送装置，其特征在于，所述连接单元还包括设置于所述连接轴的两端的连接块，所述连接块插接于相应的所述弹簧内部。4.根据权利要求3所述的掩膜板运送装置，其特征在于，所述连接块为截面直径与相应的所述弹簧的内径相同的圆柱结构。5.根据权利要求3所述的掩膜板运送装置，其特征在于，所述底座上与两个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周猛，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11