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本实用新型涉及一种掩膜板运送装置,用于运送固定有掩膜板的固定结构,包括:底座;多个滑轮,用于承载所述固定结构,每个滑轮通过弹性结构固定于所述底座上,所述弹性结构包括与所述滑轮连接的连接单元,以及对称设置于所述滑轮相对的两侧的弹性单元,所述弹...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司授权不得商用。