一种掩模板干燥设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种掩模板干燥设备，包括吹气装置和用于竖直容置掩模板的腔室，吹气设置于腔室的顶端。腔室上设置有排气口，所述排气口到腔室的底壁的距离小于掩模板的底端到腔室的底壁的距离。在掩模板的干燥过程中，吹气装置吹出的气体在完成对掩模板的表面吹扫后，可以从位于掩模板的下方的排气口排出，从而可以减少经腔室的底壁和侧壁反弹至掩模板表面的气体，相应可以减少掩模板上由反弹气体携带上来的水汽，进而可以提高掩模板的干燥效果，从而在蒸镀过程中，可以减少掩模板上的水汽对有机材料性能的影响，进而提高OLED器件的良率和使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种掩模板干燥设备
本技术涉及设备制造领域，特别涉及一种掩模板干燥设备。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示面板由于同时具备高色域、厚度薄、自发光和可弯曲等优势，逐渐受到了广泛的关注。在OLED的制造过程中，有机材料蒸镀工艺是指利用FMM(FineMetalMask,高精度金属掩模板)将有机发光材料蒸镀在背板的特定位置上。掩模板是蒸镀工艺的关键组件，其蒸镀精度直接影响OLED器件的良率。在蒸镀过程中，有机材料会不断沉积在掩模板的表面，导致掩模板发生形变，影响掩模板的蒸镀精度，因此，为了保证掩模板的蒸镀精度，在掩模板使用一定时间后，需要对其表面进行清洗，以去除附着在其表面的有机材料。由于有机材料对氧气和水汽特别敏感，氧气和水汽会与有机材料发生化学反应，影响有机材料的发光性能，因此，在去除附着在掩模板表面的有机材料后，需要对掩模板进行彻底干燥。现有掩模板干燥设备包括腔室、第一气刀和第二气刀，腔室用于竖直容置掩模板，第一气刀和第二气刀相对设置于腔室的顶端，用于向所述掩模板相对的两个表面吹气。在掩模板的干燥过程中，第一气刀和第二气刀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩模板干燥设备，包括吹气装置和用于竖直容置掩模板的腔室，所述吹气装置设置于所述腔室的顶端，用于向所述掩模板相对的两个表面吹气，其特征在于，所述腔室上设置有排气口，所述排气口到所述腔室的底壁的距离小于所述掩模板的底端到所述腔室的底壁的距离。

【技术特征摘要】
1.一种掩模板干燥设备，包括吹气装置和用于竖直容置掩模板的腔室，所述吹气装置设置于所述腔室的顶端，用于向所述掩模板相对的两个表面吹气，其特征在于，所述腔室上设置有排气口，所述排气口到所述腔室的底壁的距离小于所述掩模板的底端到所述腔室的底壁的距离。2.根据权利要求1所述的掩模板干燥设备，其特征在于，所述吹气装置包括第一气刀和第二气刀，所述第一气刀和第二气刀相对设置，并分别位于所述掩模板的两侧；所述排气口包括第一开口和第二开口，所述第一开口与所述第一气刀同侧设置，所述第二开口与所述第二气刀同侧设置。3.根据权利要求2所述的掩模板干燥设备，其特征在于，所述第一开口和第二开口呈条状，且分别设置于所述腔室的两个侧壁上。4.根据权利要求3所述的掩模板干燥设备，其特征在于，所述第一开口与所述第一气刀平行设置，所述第二开口与所述第二气刀平行设置，且所述第一开口和第二开口的长度与所述腔室的侧壁的长度相等。5.根据权利要求2所述的掩模板干燥设备，其特征在于，还包括排气装置，所述排气装置包括第一排气管、第二排气管和真空泵，所述第一排气管的第一端和所述第二排气管的第一端与所述真空泵相连，所述第一排气管的第二端与所述第一开口相连，所述第二排气管的第二端与所述第二开口相连。6.根据权利要求5所述的掩模板干燥设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐富强，赵艳艳，金龙，张新建，黄俊杰，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11