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本实用新型提供一种掩模板干燥设备，包括吹气装置和用于竖直容置掩模板的腔室，吹气设置于腔室的顶端。腔室上设置有排气口，所述排气口到腔室的底壁的距离小于掩模板的底端到腔室的底壁的距离。在掩模板的干燥过程中，吹气装置吹出的气体在完成对掩模板的表面...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司授权不得商用。