在单个真空腔体上实现多个超高真空工位结构及测试方法技术

本发明专利技术公开了在单个真空腔体上实现多个超高真空工位结构及测试方法，利用传统的结构进行产品测试的抽真空过程中，很难使副舱达到超高真空本底状态，即使达到，也需要数小时，真空度较差，容易对产品造成损伤。利用本发明专利技术结构，能够在1小时以内快速使副舱达到超高真空本底状态；本发明专利技术分子泵对副舱的实际抽速实现了最大化，在所有副舱共用一台分子泵的前提下，付出较少的代价就使得每一个副舱都能够轻松达到超高真空本底状态，优于1×10

The realization of multiple ultrahigh vacuum station structures and testing methods on a single vacuum chamber

The invention discloses a multiple ultra high vacuum station structure and test method in a single vacuum chamber, the vacuum pumping process for product testing by using the traditional structure, it is difficult to achieve the ultra high vacuum side tank bottom, even if achieved, it takes a few hours, the vacuum degree is relatively poor, easy to damage product. The structure of the invention can, within 1 hours to reach the ultra high vacuum auxiliary chamber at the end of the actual state; the invention of the molecular pump auxiliary chamber to achieve maximum pumping speed, all auxiliary chamber share a molecular pump under the premise, pay less cost makes each side cabin can easily reach the bottom of ultra high vacuum state, better than 1 * 10

【技术实现步骤摘要】
在单个真空腔体上实现多个超高真空工位结构及测试方法
本专利技术涉及一种在单个真空腔体上实现多个超高真空工位结构及测试方法，适用于所有必须在超高真空条件下才能够进行的产品批量化测试领域。
技术介绍
每台霍尔推力器配置两个阴极，每个阴极都需要经过单机性能测试并且满足设计要求之后才能进行霍尔推力器整机装配。由于阴极投产数量较大，而且对阴极的测试需要在超高真空系统才能进行，一个阴极的完整测试周期包括：安装阴极、关闭真空腔体、真空腔体抽至本底压力(气压优于1×10-5Pa)中、供气管道清洗和置换、正常供气(气压优于5×10-3Pa)、阴极测试、阴极冷却、真空腔体充气、拆卸阴极。按照任务书要求，一个阴极的测试时间长达上百小时。单一一台超高真空测试设备完全无法满足阴极批量测试的需求。目前，对于阴极的批量测试，最常见以下五种方法：1、多台真空设备，每台只能测试一个阴极。(无图)2、增大真空腔体容积，使得单个腔体内可以同时放置多个阴极，多个阴极必须同时进行测试。(无图)3、真空系统设计多个工位，即一个主舱(305)周围布置多个副舱(301-304)，主舱(305)安装主泵(306)以及唯一一台分子泵(本文档来自技高网...

【技术保护点】
在单个真空腔体上实现多个超高真空工位结构，其特征在于：包括一个主舱(605)和连接在主舱(605)上的多个副舱，主舱(605)和副舱之间均由插板阀的开闭实现连通或隔离，主舱(605)通过抽气管道及粗抽阀(V01)与第一级粗抽真空泵(613)连接，副舱分别通过抽气管道及阀门与第一级粗抽真空泵(613)连接；分子泵(607)轴线与主舱(605)轴线重合，并通过插板阀(V02)与主舱(605)连接，每个副舱各自通过一个插板阀与分子泵(607)连接；分子泵(607)通过前级阀(V03)与前级泵(614)连接，主泵(606)与主舱(605)直接连接；主舱(605)及各个副舱中均安装有全量程真空计；每个副...

【技术特征摘要】
1.在单个真空腔体上实现多个超高真空工位结构，其特征在于：包括一个主舱(605)和连接在主舱(605)上的多个副舱，主舱(605)和副舱之间均由插板阀的开闭实现连通或隔离，主舱(605)通过抽气管道及粗抽阀(V01)与第一级粗抽真空泵(613)连接，副舱分别通过抽气管道及阀门与第一级粗抽真空泵(613)连接；分子泵(607)轴线与主舱(605)轴线重合，并通过插板阀(V02)与主舱(605)连接，每个副舱各自通过一个插板阀与分子泵(607)连接；分子泵(607)通过前级阀(V03)与前级泵(614)连接，主泵(606)与主舱(605)直接连接；主舱(605)及各个副舱中均安装有全量程真空计；每个副舱上安装有放气阀；主舱(605)为水平放置的圆柱形腔体，一端为舱门，舱门上预留安装主泵(606)的法兰接口；主舱(605)另一端为封头，封头正中心为安装分子泵(607)的法兰接口，以该接口为中心，周围沿圆周均布多个安装副舱的法兰接口，副舱轴线与分子泵(607)轴线和主舱(605)轴线平行。2.如权利要求1所述的在单个真空腔体上实现多个超高真空工位结构，其特征在于：主泵(606)为低温泵或氙泵。3.如权利要求1所述的在单个真空腔体上实现多个超高真空工位结构，其特征在于：封头为碟形封头或...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡大为，扈延林，毛威，吴朋安，山世华，
申请(专利权)人：北京控制工程研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11