用于静电放电测试的人体放电模型信号发生电路制造技术

本发明专利技术提出一种用于ESD测试的人体放电模型（HBM）信号发生电路，以提高产生激励波形的质量。该结构包括：直流高压电源、继电器、高压滤波器、电阻电容、外接测试设备组成。直流高压电源串接一个限流电阻，再接继电器，继电器一端接电容器，电容器接地构成回路，一端接1.5KΩ电阻，再接测试设备，最后接地构成回路。本发明专利技术提出的HBM信号发生电路是在传统的HBM测试电路中添加高压滤波器。用来减小HBM测试机台产生的激励波形存在杂波的幅度，或激励波形产生畸变的情况，使产生的激励失真波形更加平滑，与标准的激励波形更加符合，更加准确的给出ESD测试结果。

A circuit for signal generation of human discharge model for electrostatic discharge testing

In this invention, a circuit of the human discharge model (HBM) signal generator for ESD test is proposed to improve the quality of generating excitation waveform. The structure consists of a DC high voltage power supply, a relay, a high voltage filter, a resistance capacitance and an external testing equipment. The DC high-voltage power supply is connected with a current limiting resistor in series, then connected to the relay. One end of the relay is connected with a capacitor, and the capacitor is grounded to form a loop. One end is connected with 1.5K ohm resistor, then connected to the test equipment, and finally the grounding circuit is built. The HBM signal generation circuit proposed by the invention is to add a high voltage filter to the traditional HBM test circuit. It is used to reduce the amplitude of the clutter and the distortion of the excitation waveform generated by the excitation waveform generated by the HBM test bench, so that the generated excitation distortion waveform is more smooth, which is more consistent with the standard excitation waveform, and more accurately gives the ESD test results.

【技术实现步骤摘要】
用于静电放电测试的人体放电模型信号发生电路
本专利技术涉及集成电路领域，尤其涉及静电放电（ESD）测试中人体放电模型(HBM,HumanBodyModel)信号发生电路。
技术介绍
当今科技日新月异，发展更新速度飞快，尤其是在电子信息领域。在集成电路（IC）设计方面，工艺水平不断发展进步，工艺尺寸不断减小，高分子材料也在IC中得到广泛应用。但同时不可避免的会带来一些负面影响，其中ESD保护器件的设计就变得越来越困难，使得产品静电现象的产生日益严重，因而静电的危险性越来越大，也使得ESD测试技术的要求越来越严格。人体模型（HBM，HumanBodyModel）是目前最常用的模型，也是在产品的可靠性检验中的一定要通过的检测项目。目前，现有的HBM模型ESD测试标准，定义了不同放电电压在通过100pF的放电电容和1.5KΩ等效电阻时的放电电流波形。在测试过程中，存在以下问题：外接测试设备和HBM测试机台之间有很长的测试连接线，随之将会有寄生电感和寄生电容从而产生寄生效应（如说明书附图图2）。使HBM测试机台产生的激励波形存在明显的杂波，甚至会产生畸变（如说明书附图图7），与标准的波形存在明本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于静电放电测试的人体放电模型信号发生电路，其特征在于，直流高压电源(1)正极串接限流电阻(2)，再接继电器（3），继电器一端接电容器（4），电容器接地（8）构成回路，另一端接高压滤波器（5），再接1.5KΩ电阻（6），再接测试设备（7），最后接地（8）构成回路。

【技术特征摘要】
1.用于静电放电测试的人体放电模型信号发生电路，其特征在于，直流高压电源(1)正极串接限流电阻(2)，再接继电器（3），继电器一端接电容器（4），电容器接地（8）构成回路，另一端接高压滤波器（5），再接1.5KΩ电阻（6），再接测试设备（7），最后接地（8）构成回路。2.根据权利要求1所述的用于静电放电测试的人体放电模型信号发生电路，其特征在于，所述高压滤波器（5）也可接在1.5KΩ电阻（6）和测试设备（7）之间。3.根据权利要求1所述的用于静电放电测试的人体...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆宇，张佩佩，程玉华，
申请(专利权)人：上海北京大学微电子研究院，
类型：发明
国别省市：上海,31