The present invention provides a method for preparing two tin oxide gas sensing thin films, the oxalate to tin by adding deionized water, stirring conditions by adding glucose, citric acid, surfactant, heated to 30 DEG C for 30 40 40min, cooling, mixed liquid, adding triethanolamine, pH adjusted to 6 7, adding ethanol, stirring, the sol was spin coated on the printed interdigitated alumina substrate of silver electrode, drying, sintering, i.e.. Two tin oxide gas sensing film of the invention has good sensitivity and fast response speed of H2S.
【技术实现步骤摘要】
一种二氧化锡气敏薄膜的制备方法
本专利技术属于金属氧化物半导体气体传感器
，具体涉及一种二氧化锡气敏薄膜的制备方法。
技术介绍
随着人类工业水平不断发展，越来越多的生活产品使人们生活变得便捷的同时，也不可避免的带来了工业对环境的污染，城市雾霾现象使解决空气污染的任务迫在眉睫。然而煤气及天然气等的使用以及工业、交通中排放的各种废弃气体仍然不断在污染着环境，威胁着人们生活。这种情况下，迫切需要一种能够测定气体浓度的仪器以获知被测气体浓度和种类，及早对隐患做出必要的措施，防止危害的发生。氧化锡(SnO2)为N型半导体结构，是一种性能优良的气敏材料。二氧化锡薄膜具有很多优良的性能，如导电率、透明度比较高以及化学性能比较稳定等。二氧化锡薄膜传感器可以用来检测环境污染，掺杂金属元素的薄膜传感器还可以做透明导电薄膜，广泛用于液晶显示器及光学技术，微波反射等领域。传感器性能优劣主要取决于二氧化锡特薄膜性能，而薄膜的性能又严格依赖于制备方法。因此选择高效实际的实验工艺尤其重要。国内外的研究中报道最多的是采用喷涂、气相沉积、电蒸发、磁控溅射等方法制备二氧化锡薄膜,虽然各有优点,...
【技术保护点】
一种二氧化锡气敏薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1，以重量份计，将草酸亚锡4‑10份加至去离子水30‑40份中，搅拌条件下加入葡萄糖0.8‑1.5份、柠檬酸0.4‑1.2份、表面活性剂0.3‑0.7份，加热至30‑40℃保温30‑40min，冷却，得到混合液；步骤2，以重量份计，将三乙醇胺0.5‑1份加至步骤1所得混合液中，调节pH至6.0‑7.0，滴加无水乙醇0.5‑1.2份，搅拌，得到溶胶；步骤3，将步骤2所得溶胶旋涂在印刷有叉指银电极的氧化铝基片上，干燥，烧结，即得。
【技术特征摘要】
1.一种二氧化锡气敏薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1，以重量份计，将草酸亚锡4-10份加至去离子水30-40份中，搅拌条件下加入葡萄糖0.8-1.5份、柠檬酸0.4-1.2份、表面活性剂0.3-0.7份，加热至30-40℃保温30-40min，冷却，得到混合液；步骤2，以重量份计，将三乙醇胺0.5-1份加至步骤1所得混合液中，调节pH至6.0-7.0，滴加无水乙醇0.5-1.2份，搅拌，得到溶胶；步骤3，将步骤2所得溶胶旋涂在印刷有叉指银电极的氧化铝基片上，干燥，烧结，即得。2.根据权利要求1所述的二氧化锡气敏薄膜的制备方法，其特征在于：所述表面活性...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪洋，李训红，汪雪婷，
申请(专利权)人：江苏时瑞电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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