一种表面喷砂石墨制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种表面喷砂石墨
本技术涉及石墨加工
，特别涉及一种表面喷砂石墨。
技术介绍
近年来国内半导体晶圆厂，国家出台了4000亿国家集成电路的产业大基金来支持国内的半导体行业。离子注入机是目前半导体晶圆厂内的最精密的关键设备，石墨类的耗材需求量很大，对石墨类的零部件不但要求高纯度无污染，还要求同一套石墨保护组件能最大限度提升使用寿面，延长机台俩次保养的间隔时段，这样石墨喷砂就有了应用市场，为此，我们提出一种表面喷砂石墨。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种表面喷砂石墨，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种表面喷砂石墨，包括石墨件和砂料，所述石墨件表层经喷砂处理有砂料，所述砂料均匀分布在石墨件表层，且经过喷砂处理后的石墨件表层粗糙度Ra大于6.4，所述砂料为铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂和海南砂其中的一种。进一步的，所述石墨件采用高纯石墨材料制成。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：该技术由于采用石墨喷砂处理，使得石墨件表层均匀附着有砂料，能够增大石墨件的表面粗糙度，可以有效增强表面附着污染物的能力，延长石墨件使用寿命，有效延长机台两次保养的间隔时段。【附图说明】图1为石墨件表面无喷砂处理的表面效果；图2为本技术表面喷砂石墨喷砂处理后效果示意图。图中：1、石墨件；2、砂料。【具体实施方式】为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。如图1-2所示，一种表面喷砂石墨，包括石墨件1和砂料2，所述石墨件1表层经喷砂处理有砂料2，所述砂料2均匀分布在石墨件...
【技术保护点】
一种表面喷砂石墨，包括石墨件(1)和砂料(2)，其特征在于：所述石墨件(1)表层经喷砂处理有砂料(2)，所述砂料(2)均匀分布在石墨件(1)表层，且经过喷砂处理后的石墨件(1)表层粗糙度Ra大于6.4，所述砂料(2)为铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂和海南砂其中的一种。
【技术特征摘要】
1.一种表面喷砂石墨，包括石墨件(1)和砂料(2)，其特征在于：所述石墨件(1)表层经喷砂处理有砂料(2)，所述砂料(2)均匀分布在石墨件(1)表层，且经过喷砂处理后的石墨件(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈庚栋，陈华杰，彭功祥，
申请(专利权)人：东莞市凯迪碳素有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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