【技术实现步骤摘要】
一种一体化真空镀膜机
本技术涉及一种真空设备,特别是一种一体化真空镀膜机。
技术介绍
利用真空蒸发技术在工件表面镀保护膜的技术,已经成熟应用于工业生产。现有的真空镀膜机在安装运输时,均是把镀膜机拆成很多个部分,打包运输,到现场后又全部拆开,再连接起来,各个部件不仅分散而且管道弯曲行程长,不仅耗时耗力,大大增加了人力的消耗及影响了工作的连续性,而且占用场地大,导致工作效率降低、综合成本高。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本技术提供一种一体化真空镀膜机。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种一体化真空镀膜机,包括真空室体、扩散泵、罗茨泵、机械泵以及电气柜,其特征在于:包括四方形框架,该方形框架包括底架及顶架,底架上从左至右顺序安装有真空室体、扩散泵、机械泵以及电气柜,所述真空室体通过真空阀门连接扩散泵,所述顶架上焊有垂直于顶架的侧架,所述侧架上安装有罗茨泵,且罗茨泵位于机械泵上方,且所述罗茨泵的排气口与机械泵的入气口正对并通过竖直的金属管连接,所述罗茨泵的进气管与真空阀门和扩散泵的排气管连接,所述真空室体的半圆球形门位于框架的左外侧。所述电气柜内设有报警指示灯和紧急停止开关。所述扩散泵、罗茨泵、机械泵均通过螺钉安装于焊于方形框架上的安装板上。所述进气管平行于顶架上方设置,所述排气管位于扩散泵与罗茨泵间且垂直于进气管。本技术的有益效果是:该真空镀膜机采用方形框架结构,使得设备内零散的结构成为一个立体的整体,如此,不仅解决了运输时的不便,并且在机器要搬离及挪动时,免去了繁重的拆装工作,大大提高了工作效率,而且占用空间小,真空室体、扩散泵、罗茨泵、机械泵间 ...
【技术保护点】
一种一体化真空镀膜机,包括真空室体、扩散泵、罗茨泵、机械泵以及电气柜,其特征在于:包括四方形框架,该方形框架包括底架及顶架,底架上从左至右顺序安装有真空室体、扩散泵、机械泵以及电气柜,所述真空室体通过真空阀门连接扩散泵,所述顶架上焊有垂直于顶架的侧架,所述侧架上安装有罗茨泵,且罗茨泵位于机械泵上方,且所述罗茨泵的排气口与机械泵的入气口正对并通过竖直的金属管连接,所述罗茨泵的进气管与真空阀门和扩散泵的排气管连接,所述真空室体的半圆球形门位于框架的左外侧。
【技术特征摘要】
1.一种一体化真空镀膜机,包括真空室体、扩散泵、罗茨泵、机械泵以及电气柜,其特征在于:包括四方形框架,该方形框架包括底架及顶架,底架上从左至右顺序安装有真空室体、扩散泵、机械泵以及电气柜,所述真空室体通过真空阀门连接扩散泵,所述顶架上焊有垂直于顶架的侧架,所述侧架上安装有罗茨泵,且罗茨泵位于机械泵上方,且所述罗茨泵的排气口与机械泵的入气口正对并通过竖直的金属管连接,所述罗茨泵的进气管与真空阀门和扩散泵的排气...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭艳平,
申请(专利权)人:中山天誉真空科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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