The utility model discloses a film coating machine revolution structure, relates to the technical field of coating machine, the film coating machine revolution structure comprises a transmission mechanism, a fixed axis, the axis of rotation around a fixed annular chassis rotating cylinder, the cover body and is fixed on the top of the coating machine, the upper end of the shaft is fixed on the top cover the body, the drum is fixedly arranged on the outer peripheral surface of a reduction gear, the drive gear motor driven by external rotation, drive gear and gear meshing gear to drive the rotation of the rotary drum is driven to rotate, and further, the ring is arranged above a chassis supporting axial thrust ball bearing rotor the cover body, the inner wall of the drum and the drum to prevent peripheral ball bearing radial offset is provided between the surface. The dual bearing setting is advantageous to the steady rotation of the drum and to reduce the die loss of the bearing.
【技术实现步骤摘要】
镀膜机膜片公转结构
本技术涉及镀膜机
,具体涉及一种镀膜机的膜片公转结构。
技术介绍
真空镀膜机主要由以下几部分组成:真空腔体,抽气系统,充气布气系统,加热系统,薄膜沉积控制系统,高压控制系统,低压控制系统,蒸发源系统,工件旋转系统。其功能描述如下:真空腔体:镀膜加工的一个空间抽气系统:使镀膜达到所需的真空度充气布气系统:使气动元件获得足够的气压完成动作加热系统:使基片达到镀膜所需的温度薄膜沉积控制系统:使基片上镀的膜厚达到所需的要求高压控制系统:使蒸发源获得足够的电压低压控制系统:控制镀膜机的元件完成规定的动作蒸发源系统:让膜料蒸发工件旋转系统:装载基片并使其转动目前行业内的镀膜机工转主要是单轴承,易发生卡死、抖动等问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足,提供一种不易卡死的镀膜机膜片公转结构。为了解决上述现有技术的不足,本技术采用的技术方案是:镀膜机膜片公转结构包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘,所述传动机构主要包括一个驱动齿轮,所述罩体固定在底盘上,转筒底部可以设置用于挂载基片的镀膜伞架,所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔,所述定轴的上端部固定在罩体的顶部,所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮,所述驱动齿轮由外部电机带动转动,驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动,进一步带动转筒转动,所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承,所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承。进一步的,所述推力球轴承包括座圈、轴圈和钢球保持架组成,轴圈与减速齿轮或 ...
【技术保护点】
一种镀膜机膜片公转结构,包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘,所述传动机构主要包括一个驱动齿轮,所述罩体固定在底盘上,转筒底部可以设置用于挂载基片的镀膜伞架,其特征在于:所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔,所述定轴的上端部固定在罩体的顶部,所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮,所述驱动齿轮由外部电机带动转动,驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动,进一步带动转筒转动,所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承,所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承。
【技术特征摘要】
1.一种镀膜机膜片公转结构,包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘,所述传动机构主要包括一个驱动齿轮,所述罩体固定在底盘上,转筒底部可以设置用于挂载基片的镀膜伞架,其特征在于:所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔,所述定轴的上端部固定在罩体的顶部,所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮,所述驱动齿轮由外部电机带动转动,驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动,进一步带动转筒转动,所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承,所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承。2.根据权利要求1所述的镀膜机膜片公转结构,其特征在于:所述推力球轴承包括座圈、轴圈和钢球保持架组成,轴圈与减速齿轮或者转筒固定,座圈固定在环形底盘...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘忠兴,
申请(专利权)人:江阴市中兴光电实业有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。