防着板及其表面处理方法、材料回收方法以及薄膜沉积设备技术

本发明专利技术涉及一种防着板及其表面处理方法、材料回收方法以及薄膜沉积设备。该防着板包括基板以及位于基板上的用于承载镀敷材料的承载层，其中承载层能够从基板剥离。通过在基板上形成可剥离的承载层，能够简化防着板的清洁过程，进而节省防着板的清洁费用。并且通过蒸馏、过滤或物理分离等方法来回收再利用镀敷材料，能够进一步提升镀敷材料的利用率。

Resist plate and its surface treatment method, material recovery method and film deposition equipment

The invention relates to a guard plate, a surface treatment method, a material recovery method, and a film deposition apparatus. The guard plate comprises a base plate and a bearing layer for carrying the plating material on the base plate, wherein the bearing layer can be peeled off from the base plate. By forming a stripped bearing layer on the substrate, the cleaning process of the guard plate can be simplified, thereby saving the cleaning cost of the guard plate. And by distillation, filtration or physical separation and other methods to recover, and then the use of plating materials, can further enhance the utilization rate of plated materials.

【技术实现步骤摘要】
防着板及其表面处理方法、材料回收方法以及薄膜沉积设备
本专利技术涉及薄膜沉积领域，尤其涉及一种防着板及其表面处理方法、材料回收方法以及薄膜沉积设备。
技术介绍
在采用物理气相沉积方法的薄膜沉积设备中，来自镀敷材料源的镀敷材料除了沉积在希望的区域(例如，基板)上之外，还会沉积在反应腔的内壁上，当形成的膜的厚度达到一定程度后，该膜便从内壁上剥落。为防止上述现象的发生，需要在反应腔的内壁覆盖防着板。当防着板上形成的膜的厚累积到一定程度时，对防着板进行维护，例如，拆卸、更换和清洁的维护等。然而，该维护工作导致生产效率的降低和成本的增加。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种防着板及其表面处理方法、材料回收方法以及薄膜沉积设备。通过在基板上形成可剥离的承载层，能够简化防着板的清洁过程，进而节省防着板的清洁费用。并且通过蒸馏、过滤或物理分离等方法来回收再利用镀敷材料，能够进一步提升镀敷材料的利用率。在本公开的第一方面中，提供一种防着板，其包括基板以及位于所述基板上的用于承载镀敷材料的承载层，其中，所述承载层能够从所述基板剥离。在一个实施例中，所述承载层的材料包括有机物。在一个实施例中，所述有机物包括橡胶。在一个实施例中，所述承载层具有致密均匀的结构。在一个实施例中，所述镀敷材料包括有机物。在本公开的第二方面中，提供一种薄膜沉积设备，其包括在本公开的第一方面中描述的任意一种防着板。在本公开的第三方面中，提供一种防着板的表面处理方法，包括以下步骤：提供基板；在所述基板上形成用于承载镀敷材料的承载层，其中，所述承载层能够从所述基板剥离。在一个实施例中，所述承载层的材料包括有机物，在所述基板上形成所述承载层包括在所述基板的表面上涂覆包含所述有机物的溶液；以及加热所述基板以蒸发所述溶液中的溶剂。在一个实施例中，所述有机物包括橡胶，所述溶液包括无机胶水或有机胶水。在本公开的第四方面中，提供一种材料回收方法，用于回收在本公开的第一方面中描述的任意一种防着板上的承载层上附着的镀敷材料，包括以下步骤：将所述承载层从所述防着板上剥离；处理所述承载层以回收所述镀敷材料。在一个实施例中，所述处理包括将所述承载层浸入能够溶解所述镀敷材料的溶剂中以形成溶解有所述镀敷材料的溶液；以及对所述溶液进行蒸馏处理以获得所述镀敷材料。在一个实施例中，所述承载层的材料和所述镀敷材料均包括有机物，所述承载层的材料的沸点与所述镀敷材料的沸点不同。在一个实施例中，所述承载层的材料包括橡胶，所述溶剂包括环己酮、乙酸丁酯或丁酮。在一个实施例中，所述处理包括将所述承载层浸入仅溶解所述承载层的溶剂中以形成溶液；以及对所述溶液进行过滤处理以获得所述镀敷材料。在一个实施例中，所述承载层的材料包括橡胶，所述溶剂包括丙酮。在一个实施例中，所述处理包括对所述承载层上的所述镀敷材料进行物理分离。在本文描述的实施例中，在基板上形成可剥离的承载层，当需要清洁防着板时，将承载层从基板上剥离。这种清洁方式可以简化防着板的清洁过程，进而节省防着板的清洁费用。通过蒸馏、过滤或物理分离等方法来回收再利用镀敷材料，能够提升镀敷材料的利用率。附图说明本文中描述的附图用于仅对所选择的实施例的说明的目的，并不是所有可能的实施方式，并且不旨在限制本申请的范围，其中：图1示意性示出了根据本专利技术实施例的示例性防着板的截面图；图2示意性示出了根据本专利技术实施例的示例性薄膜沉积设备的截面图；图3示意性示出了根据本专利技术实施例的防着板的表面处理方法的流程图；图4示意性示出了材料回收方法的流程图。贯穿这些附图的各个视图，相应的参考编号指示相应的部件或特征。具体实施方式首先需要说明的是，除非上下文中另外明确地指出，否则在本文和所附权利要求中所使用的词语的单数形式包括复数，反之亦然。因而，当提及单数时，通常包括相应术语的复数。相似地，措辞“包含”和“包括”将解释为包含在内而不是独占性地。同样地，术语“包括”和“或”应当解释为包括在内的，除非本文中明确禁止这样的解释。在本文中使用术语“示例”之处，特别是当其位于一组术语之后时，所述“示例”仅仅是示例性的和阐述性的，且不应当被认为是独占性的或广泛性的。此外，在附图中，为了清楚起见夸大了各层的厚度及区域。应当理解的是，术语“纵向”、“径向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。现将参照附图更全面地描述示例性的实施例。图1示意性示出了根据本专利技术实施例的示例性防着板10的截面图。如图1所示，防着板10包括基板101以及位于基板101上的用于承载镀敷材料的承载层102，该承载层102能够从基板101上剥离。当需要清洁防着板时，只需要将承载层102从基板101上剥离，例如可以通过撕取的方式，即可完成对防着板的清洁。如上所述，当需要清洁防着板时，只需要将承载层从基板上剥离即可完成清洁，因此不需要采用复杂的化学或物理的清洁方式。这种清洁方式可以减少对防着板本身的伤害，提升防着板的使用寿命。此外，由于防着板的清洁方式更加简便和快捷，因此不需要异地进行。在实际应用中，这能够节省防着板维护操作对于附加的备用防着板的依赖，进一步节约了费用。本专利技术对于承载层102的材料没有特别的限制，只要该材料形成的承载层102能够从基板101容易地剥离并且在镀敷材料的沉积温度下是热稳定的即可。可选地，为了降低对反应腔内气氛的潜在影响，承载层102的材料选择为其不会在镀敷期间产生额外的气体。在一个示例实施例中，承载层102的材料可以包括有机物，该有机物包括但不限于橡胶。在一个示例实施例中，承载层102具有致密均匀的结构并且能够完全覆盖基板101，从而有效避免基板101的表面与镀敷材料接触。在一个示例实施例中，承载层102的厚度为30μm～100μm，可选地为30μm。可以理解，本领域的技术人员可以根据实际需要适宜地选择承载层的厚度。根据本专利技术的一个实施例，镀敷材料可以包括有机物，例如有机发光材料。根据本专利技术，将承载层从基板上剥离后，便完成防着板的清洁操作，因此简化了维护步骤并降低了清洁费用。图2示意性示出了根据本专利技术实施例的示例性薄膜沉积设备20的截面图。如图2所示，薄膜沉积设备20包括反应腔201以及根据本专利技术的上述实施例的防着板10。其中，防着板10覆盖在反应腔201的内壁上。在一个示例实施例中，薄膜沉积设备20还包括基板202和镀敷材料源203。来自镀敷材料源203的镀敷材料除了沉积在基板202上之外，还会沉积防着板10上。当防着板10上镀敷材料的厚度累积到一定程度时，对防着板10进行拆卸，然后剥离表面的承载层。由于防着板的清洁方式更加简便和快捷，因此不需要异地进行。在实际应用中，这能够节省防着板维护操作对于附加的备用防着板的依赖，进一步节约了费用。本专利技术的实施例还提供一种防着板的表面处理方法。图3示意性示出一种根据本专利技术的上述实施例的防着板的表面处理方法的流程图。如图3所示，本专利技术的方法包括以下步骤：S301：提供基板；S302：在基板上形成用于承载镀敷材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防着板，其特征在于，包括：基板；以及位于所述基板上的用于承载镀敷材料的承载层，其中所述承载层能够从所述基板剥离。

【技术特征摘要】
1.一种防着板，其特征在于，包括：基板；以及位于所述基板上的用于承载镀敷材料的承载层，其中所述承载层能够从所述基板剥离。2.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述承载层的材料包括有机物。3.根据权利要求2所述的防着板，其特征在于，所述有机物包括橡胶。4.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述承载层具有致密均匀的结构。5.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述镀敷材料包括有机物。6.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括权利要求1-5中任一项所述的防着板。7.一种防着板的表面处理方法，其特征在于，包括以下步骤：提供基板；在所述基板上形成用于承载镀敷材料的承载层，其中，所述承载层能够从所述基板剥离。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述承载层的材料包括有机物，在所述基板上形成所述承载层包括在所述基板的表面上涂覆包含所述有机物的溶液；以及加热所述基板以蒸发所述溶液中的溶剂。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述有机物包括橡胶，所述溶液包括无机...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐鹏，潘晟恺，乔永康，刘杰，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34