本发明专利技术公开了一种带行星盘的镀膜机膜片转动结构，涉及镀膜机技术领域，镀膜机膜片公转结构，包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述定轴的上端部固定在罩体的顶部，所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个膜片行星盘机构。双轴承设置有利与转筒的稳定转动，减少轴承的卡死，可实现膜片自转。
【技术实现步骤摘要】
带行星盘的镀膜机膜片转动结构
本专利技术涉及镀膜机
，具体涉及一种带行星盘的镀膜机膜片转动结构。
技术介绍
真空镀膜机主要由以下几部分组成：真空腔体，抽气系统，充气布气系统，加热系统，薄膜沉积控制系统，高压控制系统，低压控制系统，蒸发源系统，工件旋转系统。其功能描述如下：真空腔体：镀膜加工的一个空间抽气系统：使镀膜达到所需的真空度充气布气系统：使气动元件获得足够的气压完成动作加热系统：使基片达到镀膜所需的温度薄膜沉积控制系统：使基片上镀的膜厚达到所需的要求高压控制系统:使蒸发源获得足够的电压低压控制系统：控制镀膜机的元件完成规定的动作蒸发源系统：让膜料蒸发工件旋转系统：装载基片并使其转动目前行业内的镀膜机工转主要是单轴承，易发生卡死、抖动等问题，公转和自转普遍是链轮和链条结构，但是这种结构转动的时候不稳定，噪音大，而且链条链轮结构在长时间使用后会变松，从而影响膜层的均匀性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足，提供一种不易卡死，稳定的可实现基片公转和自转的镀膜机膜片转动机构。为了解决上述现有技术的不足，本专利技术采用的技术方案是：镀膜机膜片公转结构，包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述传动机构主要包括一个驱动齿轮，所述罩体固定在底盘上，所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔，所述定轴的上端部固定在罩体的顶部，所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个膜片行星盘机构，所述行星盘机构包括自转轴以及对自转轴进行径向和轴向支撑的支撑部件，支撑部件安装在旋转板上，所述自转轴上端固定设有与自转轴同轴心的从动齿轮，从动齿轮可与传动齿轮啮合带动自转轴的自转，自转轴下端用于安装工件架装载基片。进一步的，所述推力球轴承包括座圈、轴圈和钢球保持架组成，轴圈与减速齿轮或者转筒固定，座圈固定在环形底盘上。进一步的，所述罩体靠近环形底盘的端部与推力球轴承对应位置设置环形空腔用于注入冷却水，罩体在环形空腔处设置注水孔和出水孔用于水循环。进一步的，所述球轴承设置在罩体顶部，罩体顶部设置冷却水循环网路用于给球轴承降温。进一步的，还包括一个磁流体密封装置，磁流体密封装置一端连接驱动电机，另一端伸入镀膜机真空腔连接驱动齿轮。进一步的，所述定轴为中部结构，设置贯穿定轴的用于测量基片镀膜厚度的晶控探头。进一步的，所述球轴承和推力球轴承上涂抹有耐高温的润滑脂。进一步的，自转轴的上端设置的从动齿轮有多个，且齿轮不同，所述支撑部件可相对于旋转板上下移动设置。进一步的，所述支撑部件上设置多个环形凹槽，凹槽间距等于齿轮间距，沿凹槽设置一对半圆环形的垫片，垫片上设置螺孔，垫片固定在旋转板后将支撑部件夹持固定。从上述技术方案可以看出本专利技术具有以下优点：双轴承设置有利与转筒的稳定转动，减少轴承的卡死，通过冷却水的循环来带走热量，这样就大大降低了工转结构内部的温度，从而减少了热涨变形造成的卡死，设置行星盘实现基片在腔体内部的公转和自转，从而提高膜层的均匀性，且设置多个齿数不同的齿轮，可以对自转的速度进行调节；磁流体密封来替代原有的O型圈，J型密封圈组合，它既具有液体的流动性又具有固体磁性材料的磁性，进而保证基片镀膜的品质，密封效果好，而且也很耐用，是传统橡胶密封的几倍，可以保持镀膜腔的真空度。附图说明图1为本专利技术的剖视结构图。图2为本专利技术中膜片行星盘机构。图3为本专利技术的俯视图。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细说明。如图1所示，本专利技术的镀膜机膜片公转结构，包括传动机构、定轴10、绕定轴转动的转筒9、罩体2以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘1，所述传动机构主要包括驱动齿轮7和磁流体密封装置6，磁流体密封装置6连接外部的驱动电机，另一端伸入镀膜机的镀膜真空腔连接驱动齿轮7，磁流体密封来替代原有的O型圈，J型密封圈组合。它既具有液体的流动性又具有固体磁性材料的磁性。密封效果好，而且也很耐用，是传统橡胶密封的几倍，可以保持镀膜腔的真空度。罩体2固定在底盘1上从而固定在镀膜机上，转筒9和定轴10穿过环形底盘1伸入镀膜机的真空镀膜腔，定轴10的上端部固定在罩体2的顶部，转筒9和定轴10同轴心设置，转筒9的外周面上固定设置一个减速齿轮8，减速齿轮8与转筒9同轴心设置，驱动齿轮7与减速齿轮8啮合从而驱动减速齿轮8转动，进一步带动转筒9绕定轴10转动，在环形底盘1上方设置一个轴向支撑转筒9的推力球轴承，推力球轴承包括座圈14、轴圈3和钢球保持架13组成，轴圈3与减速齿轮或者转筒固定，座圈14固定在环形底盘1上，罩体2的内壁与转筒9外周面之间还设置防止转筒9径向偏移的球轴承4。双轴承设置有利与转筒的稳定转动，减少轴承的卡死，进而保证基片镀膜的品质。对工转结构的外围增加了水冷，通过冷却水的循环来带走热量，这样就大大降低了工转结构内部的温度，从而减少了热涨变形造成的卡死。水冷结构如下，将球轴承设置在罩体顶部，罩体顶部设置冷却水循环网路12用于给球轴承降温；罩体2靠近环形底盘1的端部与推力球轴承对应位置设置环形空腔11用于注入冷却水，罩体在环形空腔处设置注水孔和出水孔用于水循环定轴10为中部结构，设置贯穿定轴的用于测量基片镀膜厚度的晶控探头5。且镀膜过程中不能有挥油的存在，因为在薄膜沉积过程中，油的存在会影响薄膜沉积的牢固度。因此，在球轴承和推力球轴承上涂抹有耐高温的润滑脂。抖动的根本原因是轴承的磨损，因此选用了一种高真空不挥发的，耐高温的润滑脂。如图1、2和图3所示，转筒9下端固定设置一个传动齿轮16和一个旋转板17，旋转板17上设置多个膜片行星盘机构，所述行星盘机构包括自转轴20以及对自转轴20进行径向和轴向支撑的支撑部件15，支撑部件15安装在旋转板17上，所述自转轴20上端固定设有多个与自转轴同轴心的从动齿轮18，从动齿轮18的齿轮不同，从动齿轮18可与传动齿轮16啮合带动自转轴20的自转，自转轴20下端用于安装工件架19装载基片。设置行星盘可以实现基片的自转，从而使镀膜更加均匀，且可以通过选择从动齿数的齿数改变自转速度。支撑部件的内部可以通过设置球轴承和推力球轴承实现对自转轴的支撑，具体结构可以参考转筒的支撑方式，在此不在赘述。支撑部件15可相对于旋转板17上下移动设置，可以通过以下结构实现支撑部件的上下移动，在支撑部件外部设置多个环形的凹槽22，凹槽22的间距等于从动齿轮18的间距，一对半圆环形的垫片22沿凹槽设置将支撑部件夹紧，垫片22通过螺钉固定在旋转板17上。上下移动时，松开垫片上的螺钉，移开垫片，上下移动支撑部件一个或者多个凹槽间距后，再通过垫片将支撑部件固定在旋转板上。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种带行星盘的镀膜机膜片转动结构，包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述传动机构主要包括一个驱动齿轮，所述罩体固定在底盘上，其特征在于：所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔，所述定轴的上端部固定在罩体的顶部，所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个膜片行星盘机构，所述行星盘机构包括自转轴以及对自转轴进行径向和轴向支撑的支撑部件，支撑部件安装在旋转板上，所述自转轴上端固定设有与自转轴同轴心的从动齿轮，从动齿轮可与传动齿轮啮合带动自转轴的自转，自转轴下端用于安装工件架装载基片。
【技术特征摘要】
1.一种带行星盘的镀膜机膜片转动结构，包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述传动机构主要包括一个驱动齿轮，所述罩体固定在底盘上，其特征在于：所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔，所述定轴的上端部固定在罩体的顶部，所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个膜片行星盘机构，所述行星盘机构包括自转轴以及对自转轴进行径向和轴向支撑的支撑部件，支撑部件安装在旋转板上，所述自转轴上端固定设有与自转轴同轴心的从动齿轮，从动齿轮可与传动齿轮啮合带动自转轴的自转，自转轴下端用于安装工件架装载基片。2.根据权利要求1所述的带行星盘的镀膜机膜片转动结构，其特征在于：所述推力球轴承包括座圈、轴圈和钢球保持架组成，轴圈与减速齿轮或者转筒固定，座圈固定在环形底盘上。3.根据权利要求1或者2所述的带行星盘的镀膜机膜片转动结构，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘忠兴，
申请(专利权)人：江阴市中兴光电实业有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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