一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统技术方案

技术编号:16003348 阅读:37 留言:0更新日期:2017-08-15 17:17
本实用新型专利技术涉及一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统,包括无尘房,所述无尘房内设置有箱式真空镀膜机;所述箱式真空镀膜机顶部设在无尘房外,所述箱式真空镀膜机除顶部外的其余部位设在无尘房内;所述箱式真空镀膜机内设有真空室,所述箱式真空镀膜机一侧设有与真空室连通的抽气系统,所述箱式真空镀膜机顶部设有与真空室连通的充气系统,所述充气系统包括充气管道,所述充气管道末端的充气口设在无尘房内,所述充气管道内还设有过滤层。本实用新型专利技术能有效防止灰尘带入真空室,保证了镜片的质量。

Air pumping and inflating system for box type vacuum coating machine

Air suction system of the utility model relates to a box type vacuum coating machine, including clean room, the clean room is arranged in the box type vacuum coating machine; the top of the box type vacuum coating in clean room, the box type vacuum coating machine in addition to the top outside the rest in clean room; the box vacuum coating machine is arranged in the vacuum chamber, the box type vacuum coating machine is arranged on the side pumping system is communicated with the vacuum chamber, the box type vacuum coating machine is arranged on the top of a pneumatic system is communicated with the vacuum chamber, the inflatable inflatable system comprises a pipeline, the gas pipeline at the end of the air outlet is arranged in the clean room, the the inflatable pipe is also provided with a filter layer. The utility model can effectively prevent dust from being carried into a vacuum chamber, thereby ensuring the quality of the lenses.

【技术实现步骤摘要】
一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统
本技术涉及镜片镀膜领域,尤其涉及一种箱式真空镀膜机的抽气吸气系统。
技术介绍
镜片镀膜通常用到真空镀膜机,真空镀膜机工作时,需要先抽真空,使真空室处于真空状态,再进行镀膜;镀膜完成后,需要向真空室充气。现有技术中,真空镀膜机的充气管道直接与外界连通,容易把外界空气中的灰尘带入真空室,导致镜片上吸附灰尘,造成产品不良。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术所要解决的技术问题是如何避免箱式真空镀膜机充气时灰尘带入真空室。为解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案是:提供一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统,包括无尘房,所述无尘房内设置有箱式真空镀膜机;所述箱式真空镀膜机顶部设在无尘房外,所述箱式真空镀膜机除顶部外的其余部位设在无尘房内;所述箱式真空镀膜机内设有真空室,所述箱式真空镀膜机一侧设有与真空室连通的抽气系统,所述箱式真空镀膜机顶部设有与真空室连通的充气系统,所述充气系统包括充气管道,所述充气管道末端的充气口设在无尘房内,所述充气管道内还设有过滤层。优选地,所述抽气系统包括抽气管道,所述抽气管道内设有过滤层。所述过滤层用于收集真空室内的灰尘,防止被带入无尘房。优选地,所述充气系统包括3个间隔均匀地设置在箱式真空镀膜机顶部的充气管道。所述充气管道均匀分布,有利于往真空室均匀地充气。本技术能够取得以下有益效果:本技术的充气管道末端设在无尘室内,不与外界连通,且充气管道内设有过滤层,能有效防止灰尘带入真空室,保证了镜片的质量。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式:以下将结合附图对本技术作进一步的说明:如图1所示的一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统,包括无尘房1,所述无尘房1内设置有箱式真空镀膜机2。所述箱式真空镀膜机2顶部设在无尘房1外,所述箱式真空镀膜机2除顶部外的其余部位设在无尘房1内。这样的设置有利于节约无尘房1的空间,降低无尘房1的成本。所述箱式真空镀膜机2内设有真空室3,所述箱式真空镀膜机2一侧设有与真空室3连通的抽气系统4,所述箱式真空镀膜机2顶部设有与真空室3连通的充气系统5,所述充气系统5包括充气管道6,所述充气管道6末端的充气口设在无尘房1内,所述充气管道6内还设有过滤层7,这样能有效防止灰尘带入真空室3,保证了镜片的质量。所述抽气系统4包括抽气管道8,所述抽气管道8内设有过滤层7,其能收集真空室3内的灰尘,并防止灰尘被带入无尘房1。所述充气系统5包括3个间隔均匀地设置在箱式真空镀膜机2顶部的充气管道6,有利于往真空室3均匀地充气。以上所述仅是本技术的优选实施方式,应当指出的是,对于本
的普通技术人员来说,在不脱离本技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也不超出本技术保护的范围。本文档来自技高网
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一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统

【技术保护点】
一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统,其特征在于包括无尘房(1),所述无尘房(1)内设置有箱式真空镀膜机(2);所述箱式真空镀膜机(2)顶部设在无尘房(1)外,所述箱式真空镀膜机(2)除顶部外的其余部位设在无尘房(1)内;所述箱式真空镀膜机(2)内设有真空室(3),所述箱式真空镀膜机(2)一侧设有与真空室(3)连通的抽气系统(4),所述箱式真空镀膜机(2)顶部设有与真空室(3)连通的充气系统(5),所述充气系统(5)包括充气管道(6),所述充气管道(6)末端的充气口设在无尘房(1)内,所述充气管道(6)内还设有过滤层(7)。

【技术特征摘要】
1.一种箱式真空镀膜机的抽气充气系统,其特征在于包括无尘房(1),所述无尘房(1)内设置有箱式真空镀膜机(2);所述箱式真空镀膜机(2)顶部设在无尘房(1)外,所述箱式真空镀膜机(2)除顶部外的其余部位设在无尘房(1)内;所述箱式真空镀膜机(2)内设有真空室(3),所述箱式真空镀膜机(2)一侧设有与真空室(3)连通的抽气系统(4),所述箱式真空镀膜机(2)顶部设有与真空室(3)连通的充气系统(5),所述充气系统...

【专利技术属性】
技术研发人员:李辉华张慧聂波何易张平李小梅
申请(专利权)人:中山市优度光学科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东,44

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