The utility model aims to provide a PECVD and PVD mixed continuous flexible thin film coating device, which is characterized in that a plurality of processing chamber and vacuum feeding and coiling chamber; the plurality of processing chamber includes a plurality of PECVD processing chambers, a plurality of PVD processing chamber and a vacuum chamber with the isolation chamber are respectively arranged at the the flexible substrate of narrow gap; the vacuum chamber and a vacuum closed roll unwinding and rewinding roll axle shaft mechanism chamber; the isolation chamber is provided with a gas isolating mechanism. The utility model overcomes the shortcomings of the prior art, integrates PECVD and PVD on a production line, greatly saves the quantity and the length of the production line, expands the production capacity and reduces the cost, and is favorable for popularization and application.
【技术实现步骤摘要】
一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置
本技术涉及一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置,特别是一种PECVD与PVD整合在一条生产线的镀膜装置。
技术介绍
现今卷对卷连续真空连续镀膜设备都只针对一种沉积模式运作,PECVD模式或PVD模式。受限于不同的制程气体如何有效地进行隔绝,通常的做法是将PECVD及PVD分别作为两套独立运作的系统,以避免制程气体相互影响,设备建制成本提高,同时增加使用空间。或着设置多个空腔室作为气体隔离作用,且分别需要配置门阀加强气体隔离效果;此举虽然整合PECVD及PVD于一条生产线上,但是设置多个空腔室还是增加了设备长度,也并未有效降低设备建制成本。因此,如何设计一种结构紧凑、占用空间小的整合装置,以实现同时可执行PECVD及PVD两种模式的镀膜是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置,包括送卷腔室、收卷腔室、PECVD处理腔室、隔离腔室、气氛隔离机构、PVD处理腔室、腔室狭长缝隙,所述处理腔室设置腔室狭长缝隙,所述送卷腔室设置送卷滚轮,所述收卷腔室设置收卷滚轮,所述隔离腔室设置气氛隔离机构。优选的,所述气氛隔离机构设置进气孔,直径5mm-10mm,间隔100mm设置,共设置15孔。优选的,所述气氛隔离机构,可设置一个或多个气氛隔离机构。优选的,所述PECVD处理腔室,可设置一个或多个处理腔室。优选的,所述PVD处 ...
【技术保护点】
一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置,其特征在于送卷腔室(11)、收卷腔室(17)、PECVD处理腔室(13)、隔离腔室(14)、PVD处理腔室(15)、腔室狭长缝隙(16)所组成。
【技术特征摘要】
1.一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置,其特征在于送卷腔室(11)、收卷腔室(17)、PECVD处理腔室(13)、隔离腔室(14)、PVD处理腔室(15)、腔室狭长缝隙(16)所组成。2.根据权利要求1所叙述之一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置,其特征在于所述隔离腔室设置气氛隔离机构并通入惰性气体。3.根据权利要求2所叙述之一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置,其特征在于所述气氛隔离机构,其特征在于:上板及下板互相平行设置,其中下板设置进气孔,直径5mm-10mm,间隔100mm设置,共设置15孔。4.根据权利要求1所述之一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装...
【专利技术属性】
技术研发人员:周文彬,邓勋明,曹新民,张军委,
申请(专利权)人:昆山迅立光电设备有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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