【技术实现步骤摘要】
一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统
本专利技术涉及一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统领域,特别涉及一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统。
技术介绍
制绒清洗机是由移载机械手运输,经去损伤、制绒、漂洗、中和、漂洗等工艺组成一条全自动连续工作的清洗装置,主要由主体、工艺槽、移载机械手、管道系统、电气控制系统等部分组成。设备运行时,将装满硅片的花篮放置在进料台上,由移载机械手将花篮依次送到各处理工位,对硅片进行去损伤层、制绒腐蚀、清洗,然后硅片由机械手移到出料台上,由作业员将花篮取出,进行下一步的处理。在实际生产中,机械手系统既可以横向滑移,也能上下升降,因此对于机械手结构的灵活程度和耐用程度。并且,在多个花篮一同进入工位,进行多花篮花生产同步时,现有技术的机械手系统因复杂迟滞,故难以满足上述要求。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足,本专利技术提供了一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统,能够大大提高硅片制绒的生产效率。为达到上述目的,本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统,包括横移轨架和升降手臂,所述横移轨架包括若干横向排列的单元板块,若干所述单元板块高度一致且相邻间距相等,并上下两端固定连接有一对横向长轨,所述升降手臂包括由上至下依次连接的横臂、升降杆和横移连接座,所述横臂上套合有一对用于吊挂硅片花篮的挂件,所述横移连接座卡合于一对横向长轨、并固定于横移轨架一侧,所述横移连接座的宽度等于单元板块的宽度,所述横移连接座的端面设有一对无杆气缸,一对所述无杆气缸的中部均设有可上下滑移的滑块,一对所述滑块固定连接升降杆的底部,所 ...
【技术保护点】
一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统,其特征在于:包括横移轨架(1)和升降手臂(2),所述横移轨架(1)包括若干横向排列的单元板块(3),若干所述单元板块(3)高度一致且相邻间距相等,并上下两端固定连接有一对横向长轨(4),所述升降手臂(2)包括由上至下依次连接的横臂(5)、升降杆(6)和横移连接座(7),所述横臂(5)上套合有一对用于吊挂硅片花篮的挂件(8),所述横移连接座(7)卡合于一对横向长轨(4)、并固定于横移轨架(1)一侧,所述横移连接座(7)的宽度等于单元板块(3)的宽度,所述横移连接座(7)的端面设有一对无杆气缸(9),一对所述无杆气缸(9)的中部均设有可上下滑移的滑块(10),一对所述滑块(10)固定连接升降杆(6)的底部,所述升降手臂(2)的数目不小于3个且相邻升降手臂(2)的间距与相邻单元板块(3)的间距相等,所述横移连接座(7)的下部设有横向驱动连接件(11)。
【技术特征摘要】
1.一种用于黑硅制绒清洗机的机械手系统,其特征在于:包括横移轨架(1)和升降手臂(2),所述横移轨架(1)包括若干横向排列的单元板块(3),若干所述单元板块(3)高度一致且相邻间距相等,并上下两端固定连接有一对横向长轨(4),所述升降手臂(2)包括由上至下依次连接的横臂(5)、升降杆(6)和横移连接座(7),所述横臂(5)上套合有一对用于吊挂硅片花篮的挂件(8),所述横移连接座(7)卡合于一对横向长轨(4)、并固定于横移轨架(1)一侧,所述横移连接座(7)的宽度等于单元板块(3)的宽度,所述横移连接座(7)的端面设有一对无杆气缸(9),一对所述无杆气缸(9)的中部均设有可上下滑移的滑块(10),一对所述滑块(10)固定连接升降杆(6)的底部,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:邵玉林,
申请(专利权)人:无锡琨圣科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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