一种链式热氧化炉制造技术

本实用新型专利技术公开一种链式热氧化炉，包括有石英腔体、加热灯管、弥散管、陶瓷滚轮、抽风装置、所述石英腔体表面包覆一层保温层，所述保温层采用硅酸铝材质，石英腔体上方平行于陶瓷滚轮方向均匀安装加热灯管，所述灯管外部为具有保护作用的陶瓷护套，石英腔体内部打有孔洞，所述弥散管与孔洞连通用于均匀通入氧气，陶瓷滚轮安设于石英腔体下方，通过陶瓷轴承和动力装置同步转动，实现硅片的水平横向移动，所述陶瓷轴承通过陶瓷轴承座固定，陶瓷滚轮下方设有抽风装置，本实用新型专利技术节省了氧化工序的设备包括生产成本，设备可以和链式机很好的整合在一起，下料处硅片可直接通入帘和链式去PSG槽式机，可进一步提升产能。

【技术实现步骤摘要】
一种链式热氧化炉
本技术涉及硅片氧化设备领域，尤其涉及一种链式热氧化炉。
技术介绍
光伏发电技术作为环保可持续能源技术近年发展迅速，光电转换效率在逐步提高，生产成本也在逐渐降低，其度电成本已经接近传统火力发电的水平，各个光伏公司都在进行大规模扩产，随着技术进步和发电成本的降低，可预见的光伏产业后期更将迎来爆发性增长。当前主流晶硅电池结构为PERC背钝化电池，其光电转换效率可达22％左右，PERC电池生产工序包含制绒-扩散-激光SE-链式刻蚀-镀膜-激光开槽-丝网印刷，常规刻蚀工序采用的是HF/HNO3酸刻蚀体系，通过链式机水上漂浮形式对下表面进行刻蚀抛光，但酸刻蚀不环保，抛光效果差，目前各个光伏企业均在推广碱刻蚀工艺，碱体系刻蚀成本低，无氨氮排放，且抛光效果更好可以进一步提升电池效率。但是碱抛光需要链式机和槽式机相结合，在槽式机反应时会把正面SE选择性重掺的部分腐蚀掉，严重影响电池效率，现在的解决方法是碱抛工艺前通过管式炉进行热氧化，这样SE部分硅会重新形成磷硅玻璃，磷硅玻璃不与碱反应从而实现了对SE的保护。而管式氧化炉设备太贵涉及复杂的真空、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种链式热氧化炉，包括有石英腔体、加热灯管、弥散管、陶瓷滚轮、抽风装置、其特征在于，所述石英腔体表面包覆一层保温层，石英腔体上方平行于陶瓷滚轮方向均匀安装加热灯管，所述加热灯管外部为具有保护作用的陶瓷护套，石英腔体内部打有孔洞，所述弥散管与孔洞连通用于均匀通入氧气，陶瓷滚轮安设于石英腔体下方，通过陶瓷轴承和动力装置同步转动，实现硅片的水平横向移动，所述陶瓷轴承通过陶瓷轴承座固定，陶瓷滚轮下方设有所述抽风装置便于抽出石英腔体多余的氧气。/n

【技术特征摘要】
1.一种链式热氧化炉，包括有石英腔体、加热灯管、弥散管、陶瓷滚轮、抽风装置、其特征在于，所述石英腔体表面包覆一层保温层，石英腔体上方平行于陶瓷滚轮方向均匀安装加热灯管，所述加热灯管外部为具有保护作用的陶瓷护套，石英腔体内部打有孔洞，所述弥散管与孔洞连通用于均匀通入氧气，陶瓷滚轮安设于石英腔体下方，通过陶瓷轴承和动力装置同步转动，实现硅片的水平横向移动，所述陶瓷轴承通过陶瓷轴承座固定，陶瓷滚轮下方设有所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵玉林，陶俊，张三洋，
申请(专利权)人：无锡琨圣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32