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本实用新型公开一种链式热氧化炉，包括有石英腔体、加热灯管、弥散管、陶瓷滚轮、抽风装置、所述石英腔体表面包覆一层保温层，所述保温层采用硅酸铝材质，石英腔体上方平行于陶瓷滚轮方向均匀安装加热灯管，所述灯管外部为具有保护作用的陶瓷护套，石英腔体内...
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