一种臭氧气源供应系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种臭氧气源供应系统，涉及氧化硅薄膜的制备，包括有臭氧发生器、尾气处理系统、储存瓶、反应室，氧气通过主管路在V1阀的控制下通入臭氧发生器，臭氧发生器产生的臭氧通过V2阀通入超纯水的储存瓶，所述储存瓶外装有液位感应器，V3阀一端管路接通储存瓶，另一端管路接通主管路，V5阀设置V2阀、V3阀之间的主管路上，臭氧与高纯水混合后一同通入反应室，所述尾气处理系统通过V6阀与主管路接通，为了对主管路进行高压保护。本实用新型专利技术工艺时间短、薄膜质量高、有效提升单机产能，提升电池效率。臭氧气体通源管路直接和水蒸汽结合在一条管路上，可携带供应也可单独供应气源控制方便。

【技术实现步骤摘要】
一种臭氧气源供应系统
本技术涉及氧化硅薄膜的制备
，尤其涉及一种臭氧气源供应系统。
技术介绍
在晶硅太阳电池的制备过程中包含一步氧化工序，其目的是在晶硅表面制备一层氧化硅薄膜，实现对晶硅表面的钝化从而减少光生电子的复合以提升效率。现有的处理方式主要有两种，一种是湿法氧化法，即将硅片与高温纯HNO3进行氧化反应制备，另一种是干法氧化法，即热氧化方式，将硅片放置于800度以上高温氧气氛围内反应生成氧化硅。但是这两种方式都有一定的缺点，硝酸湿氧化法一方面是环保性较差涉及到氨氮排放，另外其生长出的薄膜较疏松，容易引入其它复合中心表面因此钝化效果不好。干法氧化法主要的缺点在于氧化硅生长速率太慢，产能太低不利于工业化的量产。主要存在下述缺点（1）现有湿法硝酸氧化法不环保，制备的氧化硅不致密，电池效率低。（2）干法热氧化，工艺时间太长，量产成本高。（3）常规通源系统臭氧和水蒸汽单独通入，系统复杂难控制。本技术提出了一种适用于晶硅电池量产的新的氧化方案，即臭氧（O3）/水蒸汽Water混合氧化方案，实验验证相较于800度以上的干氧化速率硅片在臭氧水蒸气和450度左右的中低温高温环境下氧化速率可以大幅提升，同时氧化硅拥有很好的致密性和硅表面晶格匹配系数更好因此可以保证良好的钝化效果。针对此氧化工艺的设备本技术设计了一种臭氧气源供应系统，臭氧发生器产生的高浓度臭氧气体通过特气管路在多个阀和传感器的作用下携同水汽一起通入反应室内（石英管式炉）内。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种臭氧气源供应系统。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种臭氧气源供应系统，包括有臭氧发生器、尾气处理系统、储存瓶、反应室，氧气通过主管路在V1阀的控制下通入臭氧发生器，臭氧发生器产生的臭氧通过V2阀通入超纯水的储存瓶，所述储存瓶外装有液位感应器，V3阀一端管路接通储存瓶，另一端管路接通主管路，V5阀设置V2阀、V3阀之间的主管路上，臭氧与高纯水混合后一同通入反应室，所述尾气处理系统通过V6阀与主管路接通，实现对主管路进行高压保护。进一步的技术方案，所述储存瓶还连通有水槽，V4阀设置在水槽与储存瓶管路之间。进一步的技术方案，所述储存瓶材质采用石英材质。进一步的技术方案，所述V1阀、V2阀、V3阀、V4阀、V5阀、V6阀与管路连接处设有密封圈，所述密封圈采用全氟橡胶材质。进一步的技术方案，所述主管路、及管路采用1/4管径的不锈钢材料。进一步的技术方案，所述液位感应器型号采用VP02E。与现有技术相比，本技术的有益效果：本技术工艺时间短，薄膜质量高，有效提升单机产能，提升电池效率，臭氧气体通源管路直接和水蒸汽结合在一条管路上，可携带供应也可单独供应气源，系统结构简单，控制方便。附图说明图1为本技术提出的一种臭氧气源供应系统流程图。图中：1氧气源；2V1阀；3臭氧发生器；4V2阀；5尾气处理系统；6V5阀；7V3阀；8储存瓶；9V4阀；10水槽；11反应室。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1，一种臭氧气源供应系统，包括有臭氧发生器3、尾气处理系统5、储存瓶8、反应室11，氧气源1提供的氧气通过主管路在V1阀2的控制下通入臭氧发生器3，臭氧发生器3产生的臭氧通过V2阀4通入超纯水的储存瓶8，所述储存瓶8外装有液位感应器（本图中未标注），V3阀7一端管路接通储存瓶8，另一端管路接通主管路，V5阀6设置V2阀4、V3阀7之间的主管路上，臭氧与高纯水混合后一同通入反应室11（石英管式炉），所述尾气处理系统5通过V6阀与主管路接通，所述储存瓶8还连通有水槽10，V4阀9设置在水槽10与储存瓶8管路之间，所述储存瓶8材质采用石英材质，所述V1阀2、V2阀4、V3阀7、V4阀9、V5阀6、V6阀与管路连接处设有密封圈，所述密封圈采用全氟橡胶材质，上述阀优选的富士金fujikin、世伟洛克swagelok气动阀中的一种。所述主管路、及管路采用1/4管径的不锈钢材料，所述液位感应器型号采用VP02E。具体的工作原理：氧气通过主管路在V1阀2的控制下通入臭氧发生器3，氧气在高频电源作用下电解成臭氧气体，同时所述臭氧发生器3预留以太网接口1个，用于跟臭氧发生器通讯，用于氧气流量设定和监控。紧接着臭氧发生器3产生的臭氧通入超纯水的储存瓶8，所述超纯水储存瓶8瓶体材质优选石英材质，储存瓶四周装有加热控温系统保证瓶内温度始终维持在恒定温度下，所述储存瓶8外装有液位感应器，其用于检测瓶内超纯水的量，在瓶内液位较低的情况下以及时往瓶内补加水，所述臭氧与高纯水混合后一同通入反应室11（石英管式炉）内。其次所述臭氧发生器3产生的臭氧可根据工艺需求通过关闭V2阀4、V3阀7、V4阀9单独通入反应室11（石英管式炉）内。管路可采用多个压力传感器对管路压力进行实时监测，并对整个通源过程进行相应的控制，当管内压力达到一定值时，为了对管路进行高压保护V6阀打开通过尾气处理系统5进行臭氧分解处理，本技术本技术工艺时间短，薄膜质量高，有效提升单机产能，提升电池效率，臭氧气体通源管路直接和水蒸汽结合在一条管路上，可携带供应也可单独供应气源，系统结构简单，控制方便。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种臭氧气源供应系统，包括有臭氧发生器、尾气处理系统、储存瓶、反应室，其特征在于，氧气通过主管路在V1阀的控制下通入臭氧发生器，臭氧发生器产生的臭氧通过V2阀通入超纯水的储存瓶，所述储存瓶外装有液位感应器，V3阀一端管路接通储存瓶，另一端管路接通主管路，V5阀设置在V2阀与V3阀之间的主管路上，臭氧与高纯水混合后一同通入反应室，所述尾气处理系统通过V6阀与主管路接通，提供对主管路进行高压保护。/n

【技术特征摘要】
1.一种臭氧气源供应系统，包括有臭氧发生器、尾气处理系统、储存瓶、反应室，其特征在于，氧气通过主管路在V1阀的控制下通入臭氧发生器，臭氧发生器产生的臭氧通过V2阀通入超纯水的储存瓶，所述储存瓶外装有液位感应器，V3阀一端管路接通储存瓶，另一端管路接通主管路，V5阀设置在V2阀与V3阀之间的主管路上，臭氧与高纯水混合后一同通入反应室，所述尾气处理系统通过V6阀与主管路接通，提供对主管路进行高压保护。


2.根据权利要求1所述的一种臭氧气源供应系统，其特征在于，所述储存瓶还连通有水槽，V4阀设置在水槽与储存瓶管路之间。...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶俊，石烨炜，薛帅，陈磊，孔祥才，
申请(专利权)人：无锡琨圣科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32