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本实用新型公开了一种臭氧气源供应系统，涉及氧化硅薄膜的制备，包括有臭氧发生器、尾气处理系统、储存瓶、反应室，氧气通过主管路在V1阀的控制下通入臭氧发生器，臭氧发生器产生的臭氧通过V2阀通入超纯水的储存瓶，所述储存瓶外装有液位感应器，V3阀一...
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