Some problems of judgment method, an ion implantation machine includes: step S1: in view of the different processes in the production process, and process in the process of material composition of different ion implantation to establish the database; step S2: in the detection of particle defects, determination of the particle composition, obtained by the element type; step S3: according to the defects of element types and processes, according to database, when the defects of the element type and the corresponding decision making process, the working process of ion implanter for ion injection machine problem. The ion implantation method to determine the segment machine when the process defects occur in ion implantation, yield scanning was not before the value, can effectively shorten the suspect interval, help engineers quickly lock machine, thereby reducing the defects after the result quality is influenced by the number of products, cost savings.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种离子注入段问题机台的判定方法。
技术介绍
随着半导体制造技术不断的发展，其生产工艺流程也越来越复杂。为了让产品有更多的功能，需要在芯片上集成更多的各种微电子器件，根据不同要求需要通过大量的离子注入工艺来调整器件的电性参数，以满足不同的运算要求。目前，业界对于离子注入工艺的检测普遍存在良率抽检比例有限，抽检产品向重要站点倾斜的趋势。这会造成很长段的离子注入工艺不能够在每一个站点均可进行缺陷检测。生产中时常出现严重的缺陷事件而不能快速的确定问题机台的情况，势必使得离子注入段的缺陷情况对后续工艺带来严重影响，给生产带来重大损失。故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本专利技术一种离子注入段问题机台的判定方法。
技术实现思路
本专利技术是针对现有技术中，传统的离子注入工艺生产中时常出现严重的缺陷事件而不能快速的确定问题机台的情况，势必使得离子注入段的缺陷...
【技术保护点】
一种离子注入段问题机台的判定方法，其特征在于，所述方法包括：执行步骤S1：针对生产工艺中不同制程工序，以及在所述制程工序中进行不同离子注入的物质成分建立数据库；执行步骤S2：在检测出颗粒缺陷时，测定所述颗粒成分，获得所述缺陷元素类型；执行步骤S3：根据所述缺陷元素类型和制程工序，比照数据库，当所述缺陷元素类型与所述制程工序对应时，判定所述制程工序之离子注入机为离子注入段问题机台。
【技术特征摘要】
1.一种离子注入段问题机台的判定方法，其特征在于，所述方法包括：
执行步骤S1：针对生产工艺中不同制程工序，以及在所述制程工序中进
行不同离子注入的物质成分建立数据库；
执行步骤S2：在检测出颗粒缺陷时，测定所述颗粒成分，获得所述缺陷
元素类型；
执行步骤S3：根据所述缺陷元素类型和制程工序，比照数据库，当所述
缺陷元素类型与所述制程工序对应时，判定所述制程工序之离子注入机为离
...
【专利技术属性】
技术研发人员：何理，许向辉，郭贤权，陈超，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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