用于检查衬底的静电的装置及制造衬底的方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于检查衬底的静电的装置及制造衬底的方法。该装置包括探针、布线和测量单元，该探针具有与需检查的衬底基本相同形状并且包括由传导性材料制成的接触表面，该布线连接至该探针的接触表面并且输送由该探针收集的静电，该测量单元连接至该布线、从该布线接收静电并且分析静电的强度。

Device for inspecting electrostatic of substrate and method for manufacturing substrate

The present invention provides an apparatus for inspecting the electrostatic of a substrate and a method of manufacturing a substrate. The apparatus includes a probe, wiring and measuring unit, the probe has a substrate to be inspected is basically the same shape and includes a contact surface made of conductive material, the surface of the wiring is connected to the probe and delivered by the electrostatic collection probe, the measuring unit is connected to the wiring, the wiring from receiving and static analysis static strength.

【技术实现步骤摘要】

实施例涉及检查衬底的静电的装置和制造衬底的方法。
技术介绍
用于诸如有机发光显示器、液晶显示器（LCD）和等离子体显示面板（PDP）之类的平板显示器（FPD）的衬底在被制成最终产品以前，经历许多制造过程。这些制造过程之一可以是使用像反应气体这样的气体或使用像液体化学制品这样的液体的流体处理过程。流体处理过程可以是衬底清洁过程、薄膜沉积过程、涂覆过程等。
技术实现思路
实施例关于一种用于检查衬底的静电的装置，该装置包括探针、布线和测量单元，所述探针具有与需检查的衬底基本相同的形状，所述探针包括由传导性材料构成的接触表面，所述布线连接至所述探针的所述接触表面并且输送由所述探针收集的静电，所述测量单元连接至所述布线，所述测量单元从所述布线接收静电并且分析静电的强度。所述测量单元可以包括静电测量单元、存储器和比较器，所述静电测量单元从所述探针接收静电并且测量静电的量，所述存储器存储参考静电值，所述比较器将从所述静电测量单元接收的测量静电值与从所述存储器接收的所述参考静本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检查衬底的静电的装置，所述装置包括：探针，具有与需检查的衬底相同的形状，所述探针包括由传导性材料制成的接触表面；布线，连接至所述探针的所述接触表面并且输送由所述探针收集的静电；以及测量单元，连接至所述布线，所述测量单元从所述布线接收静电并且分析静电的强度。

【技术特征摘要】
2012.11.20 KR 10-2012-01317981.一种用于检查衬底的静电的装置，所述装置包括：
探针，具有与需检查的衬底相同的形状，所述探针包括由传导性材料制成的接触
表面；
布线，连接至所述探针的所述接触表面并且输送由所述探针收集的静电；以及
测量单元，连接至所述布线，所述测量单元从所述布线接收静电并且分析静电的
强度。
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述测量单元包括：
静电测量单元，从所述探针接收静电并且测量静电的量；
存储器，存储参考静电值；以及
比较器，将从所述静电测量单元接收的测量静电值与从所述存储器接收的所述参
考静电值进行比较。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述探针包括多个子探针，所述多个子探针
共同具有与所述需检查的衬底相同的尺寸。
4.根据权利要求3所述的装置，其中所述布线包括分别连接至所述多个子探针的
多个布线。
5.根据权利要求1所述的装置，进一步包括控制单元，所述控制单元根据由所述
测量单元分析的静电的强度控制过程条件。
6.一种用于检查衬底的静电的装置，所述装置包括：
包括凸出表面和凹陷表面的探针，所述凸出表面和所述凹陷表面中至少之一是由
传导性材料制成的接触表面；
布线，连接至所述探针的所述接触表面并且输送由所述探针收集的静电；以及
测量单元，连接至所述布线，所述测量单元从所述布线接收静电并且分析静电的
强度。
7.根据权利要求6所述的装置，其中所述测量单元包括：
静电测量单元，从所述探针接收静电并且测量静电的量；
存储器，存储参考静电值；以及
比较器，将从所述静电测量单元接收的测量静电值与从所述存储器接收的所述参
考静电值进行比较。
8.根据权利要求6所述的装置，其中所述探针包括面向彼此的第一探针和第二探
针。
9.根据权利要求6所述的装置，其中所述探针是包括多个孔的网眼式探针，所述
多个孔穿透所述凸出表面和所述凹陷表面。
10.根据权利要求6所述的装置，其中所述探针包括沿一方向并排布置的第一探
针、第二探针和第三探针，其中：
所述第一探针是包括多个孔的网眼式探针，所述多个孔穿透所述凸出表面和所述
凹陷表面；以及
所述第二探针和所述第三探针位于所述第一探针的两侧。
11.根据权利要求6所述的装置，进一步包括控制单元，所述控制单元根据由所
述测量单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：安正铉，金京孝，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR