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一种离子注入段问题机台的判定方法，包括：执行步骤S1：针对生产工艺中不同制程工序，以及在所述制程工序中进行不同离子注入的物质成分建立数据库；执行步骤S2：在检测出颗粒缺陷时，测定所述颗粒成分，获得所述缺陷元素类型；执行步骤S3：根据所述缺陷...
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