基于固态和空腔结合的薄膜体声波谐振器及加工方法技术

本发明专利技术提出了一种全新的结合固态封装型工艺和背部空腔型工艺的薄膜体声波谐振器及其制备方法。通过先在器件正面沉积固态封装型(SMR)的布拉格反射层薄膜，然后在反射层薄膜上面依次沉积并刻蚀底电极、压电材料和顶电极，使之形成压电薄膜换能器堆叠结构，最后在器件背部开口刻蚀形成空腔结构。本发明专利技术有效避免了刻蚀时间对器件性能的影响，布拉格反射层加上背部空腔结构，能够比传统的固态封装型(SMR)器件更加有效的将传播的声波反射回压电薄膜换能器堆叠结构，从而提高声电转换的效率；布拉格反射层薄膜充当压电薄膜换能器堆叠器的支撑层，从结构上能加强器件整体的稳固性。

Thin film bulk acoustic resonator based on solid state and cavity combination and processing method thereof

The invention provides a novel film bulk acoustic wave resonator combined with a solid encapsulation process and a back cavity type process and a method for making the same. The first device is in solid deposition (SMR) encapsulated Prague reflection layer, and the reflecting layer are sequentially deposited and etched thin film above the bottom electrode, a piezoelectric material and a top electrode to form a pressure transducer stack structure film, finally in the back opening etching cavity structure forming device. The invention can effectively avoid the influence of etching time on the performance of the devices, Prague reflection layer with back cavity structure, than the traditional solid package (SMR) devices will be more effective dissemination of the acoustic reflection back pressure transducer stack structure film, thereby improving the efficiency of electro acoustic conversion; Prague reflection layer as support the pressure transducer layer film stack, the structure can enhance the stability of the whole device.

【技术实现步骤摘要】
基于固态和空腔结合的薄膜体声波谐振器及加工方法
本专利技术涉及一种薄膜体声波谐振器，特别是涉及一种采用基于固态和空腔结合的薄膜体声波谐振器及其制备方法。
技术介绍
随着无线通讯应用的发展，人们对于数据传输速度的要求越来越高。在移动通信领域，第一代是模拟技术，第二代实现了数字化语音通信，第三代(3G)以多媒体通信为特征，第四代(4G)将通信速率提高到1Gbps、时延减小到10ms，第五代(5G)是4G之后的新一代移动通信技术，虽然5G的技术规范与标准还没有完全明确，但与3G、4G相比，其网络传输速率和网络容量将大幅提升。如果说从1G到4G主要解决的是人与人之间的沟通，5G将解决人与人之外的人与物、物与物之间的沟通，即万物互联，实现“信息随心至，万物触手及”的愿景。与数据率上升相对应的是频谱资源的高利用率以及通讯协议的复杂化。由于频谱有限，为了满足数据率的需求，必须充分利用频谱；同时为了满足数据率的需求，从4G开始还使用了载波聚合技术，使得一台设备可以同时利用不同的载波频谱传输数据。另一方面，为了在有限的带宽内支持足够的数据传输率，通信协议变得越来越复杂，因此对射频系统的各种性能也提出了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜体声波谐振器，其特征在于：包括基底、依次形成在所述基底第一表面的反射层结构、压电换能器堆叠结构；在与所述基底第一表面相对的第二表面上包括空腔；所述空腔与所述压电换能器堆叠结构相对设置，所述压电换能器堆叠结构包括底电极、压电层、顶电极的三明治结构。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于：包括基底、依次形成在所述基底第一表面的反射层结构、压电换能器堆叠结构；在与所述基底第一表面相对的第二表面上包括空腔；所述空腔与所述压电换能器堆叠结构相对设置，所述压电换能器堆叠结构包括底电极、压电层、顶电极的三明治结构。2.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述空腔停止在所述反射层结构表面。3.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述反射层结构包括布拉格反射层结构。4.根据权利要求3所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述布拉格反射层结构包括交替沉积的多组不同材料的反射层。5.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于：还包括形成在所述基底的第二表面上的掩模层。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：王国浩，张树民，陈海龙，汪泉，
申请(专利权)人：杭州左蓝微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33