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本发明提出了一种全新的结合固态封装型工艺和背部空腔型工艺的薄膜体声波谐振器及其制备方法。通过先在器件正面沉积固态封装型(SMR)的布拉格反射层薄膜，然后在反射层薄膜上面依次沉积并刻蚀底电极、压电材料和顶电极，使之形成压电薄膜换能器堆叠结构，...
该专利属于杭州左蓝微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州左蓝微电子技术有限公司授权不得商用。

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