体声波谐振器制造技术

公开了一种体声波谐振器(BAWR)。BAWR可以包括具有第一电极、第二电极和压电层的体声波谐振单元。所述压电层设置在第一电极和第二电极之间。在距所述体声波谐振单元的中部的一定距离处形成空气边缘。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】体声波谐振器
下面的描述涉及一种体声波谐振器(BAWR)。
技术介绍
体声波谐振器(BAWR)通过将电势施加到设置在压电层上和/或压电层下方的电极而进行操作。压电层响应于施加到电极的高频电势而振荡。结果，BAWR进行操作。BAffR的带宽与声电耦合系数成比例。电极和压电层的膜特性影响声电耦合系数。因此，为了增加BAWR的带宽，需要提高声电耦合系数的值。因此，需要持续地开发利用电极和压电层的膜特性来改善带宽的技术。
技术实现思路
技术方案在一个总的方面，提供一种体声波谐振器(BAWR)，所述BAWR包括:体声波谐振单元，包括第一电极、第二电极以及设置在第一电极和第二电极之间的压电层；空气边缘，形成在距所述体声波谐振单元的中部的预定位置处。所述空气边缘可通过沿着竖直方向按照与体声波谐振单元的厚度大约相同的厚度蚀刻体声波谐振单元的边缘的预定部分而形成。所述BAWR还可包括空气间隙，所述空气间隙设置在所述体声波谐振单元下方并设置在所述基底上，所述空气间隙反射从所述体声波谐振单元产生的竖直声波。所述空气边缘可通过沿着竖直方向穿透体声波谐振单元的边缘的预定部分直至所述空气间隙而形成。所述空气边缘可通过放大设置在所述体声波谐振单元上的通孔而形成。所述第一电极、第二电极和压电层可通过应用层叠在与体声波谐振单元的边缘不同的部分上的光掩模而按照相同的过程被蚀刻，使得空气边缘具有陡坡。所述空气边缘可形成在体声波谐振单元的边缘的一部分上，所述部分大于或等于所述的边缘的20%。所述BAWR还可包括桥部，所述桥部设置在体声波谐振单元的边缘中的除了形成空气边缘的部分之外的区域上，所述桥部支撑所述体声波谐振单元。所述BAWR还可包括钝化层，所述钝化层由氧化硅基材料、氮化硅基材料和氮化铝(AlN)基材料中的一种形成，所述钝化层设置在压电层上或者设置在压电层下方。所述BAWR还可包括钝化层，所述钝化层由氧化硅基材料、氮化硅基材料和AlN基材料中的一种形成，所述钝化层设置在第一电极上或者设置在第一电极下方。所述BAWR还可包括钝化层，所述钝化层由氧化硅基材料、氮化硅基材料和AlN基材料中的一种形成，所述钝化层设置在第二电极上或者设置在第二电极之下。所述体声波谐振单元可包括:第一框架，通过经由蒸镀在连接到第一电极的部分处局部地形成另外的膜而形成，并且所述第一框架不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘；第二框架，通过经由蒸镀在连接到第二电极的部分处局部地形成另外的膜而形成，并且所述第二框架不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘。所述体声波谐振单元可包括:第一框架，通过在连接到所述第一电极的部分处进行局部地蚀刻而形成，并且不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘；第二框架，通过在连接到所述第二电极的部分处进行局部地蚀刻而形成，并且不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘。所述第一电极可包括以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的预定部分的部分以及通过图案化暴露于空气边缘的部分。所述第二电极可包括以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的预定部分的部分以及通过图案化暴露于空气边缘的部分。所述体声波谐振单元可包括:第一框架，通过经由蒸镀在第一电极以指状物形式连接到体声波谐振单元的边缘的预定部分的部分处局部地形成另外的膜而形成；第二框架，通过经由蒸镀在第二电极以指状物形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的预定部分的部分处局部地形成另外的膜而形成。所述体声波谐振单元可包括:第一框架，通过在所述第一电极以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的预定部分的部分处进行局部蚀刻而形成；第二框架，通过在所述第二电极以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的预定部分的部分处进行局部蚀刻而形成。在另一总的方面，提供一种BAWR，所述BAWR包括:基底；空气间隙，设置在所述基底的预定区域上；第一电极，设置在所述空气间隙上；压电层，设置在所述第一电极上;第二电极，设置在所述压电层上；空气边缘，形成在距所述空气间隙的中部的预定距离处。所述空气边缘可通过沿着竖直方向按照与第一电极、压电层和第二电极的厚度相同的厚度蚀刻层叠第一电极、压电层和第二电极的部分的边缘的预定部分而形成。在又一总的方面，一种制造的体声波谐振单元的方法包括以下步骤为:形成第一电极；形成第二电极；形成所述第一电极和所述第二电极之间的保护层；在距所述体声波谐振单元的中部的预定距离处形成空气边缘。所述空气边缘通过沿着竖直方向按照与所述体声波谐振单元的厚度大约相同的厚度蚀刻体声波谐振单元的边缘的预定部分而形成。所述空气边缘通过沿着竖直方向穿透体声波谐振单元的边缘的预定部分而形成。所述空气边缘通过放大设置在体声波谐振单元上的通孔而形成。示意性示例提供一种BAWR，所述BAWR使用空气边缘来降低由于水平声波导致的损耗，因此，可改善声电耦合系数。示意性示例提供一种BAWR，所述BAWR使用空气边缘来降低由于水平声波导致的损耗，因此，所述BAWR可具有高Q因子值。示意性示例可使用BAWR确保高声电耦合系数，因此，可实施具有宽带宽的RF滤波器或RF双工器。示意性示例使用BAWR实施具有窄带隙的RF双工器。示意性示例提供一种BAWR，所述BAWR用作振荡器的参考谐振器，因此，可移除相位噪声。运营移动通信系统(例如，便携式电话)的公司由于有限数量的频率资源而对用于通信的频率分配承受巨大的成本。为了防止发送的信号和接收的信号之间发生干扰，在终端的发送频率和接收频率之间需要预定的带隙。因此，这些公司已经试图降低发送频率和接收频率之间的带隙，以有效地利用分配的频率。另外，BAWR可与无线通信装置中的滤波器、发送器、接收器或双工器一样用于无线数据的输入和输出。存在用于不同用途的各种类型的无线通信装置，并且无线装置(通常被认为是有线装置)的数量已经快速地增加。因此，可应用BAWR的领域的数量已经扩大。其它特征和方面可以通过下面的详细描述、附图和权利要求而清楚。【附图说明】图1是示出根据示意性示例的体声波谐振器(BAWR)的剖视图的示图。图2是示出根据示意性示例的BAWR的俯视图的示图。图3a和图3b是示出根据示意性示例的BAWR的俯视图和剖视图的示图。图4a至图4c是示出根据示意性示例的BAWR的俯视图和剖视图的示图。图5是示出根据示意性示例的BAWR的俯视图的示图。图6a至图6c是示出根据示意性示例的BAWR的俯视图和剖视图的示图。图7a至图7c是示出根据示意性示例的BAWR的俯视图和剖视图的示图。图8是示出制造根据示意性示例的BAWR的方法的流程图。在整个附图和详细的描述中，除非另有描述，否则相同的附图标号将被理解为指示相同的元件、特征和结构。为了清楚、示出和方便起见，可以夸大这些元件的相对尺寸和描绘。【具体实施方式】提供下面的详细描述来帮助读者获得对在此描述的方法、设备和/或系统的全面的理解。因此，本领域普通技术人员将了解这里描述的系统、设备和/或方法的各种改变、修改和等同物。描述的处理步骤和/或操作的顺序是示例；然而，如本领域的普通技术人员所领会的那样，除了必须按特定顺序发生的步骤和/或操作之外，处理步骤和/或操作的顺序不限于这里所阐明的顺序并可被改变。另外，为了增加清楚性和简要性，省略对公知的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种体声波谐振器(BAWR)，包括：体声波谐振单元，包括第一电极、第二电极以及设置在所述第一电极和所述第二电极之间的压电层；空气边缘，形成在距体声波谐振单元的中部的一定距离处。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.01 KR 10-2011-01276861.一种体声波谐振器(BAWR),包括: 体声波谐振单元，包括第一电极、第二电极以及设置在所述第一电极和所述第二电极之间的压电层； 空气边缘，形成在距体声波谐振单元的中部的一定距离处。2.如权利要求1所述的BAWR，其中，所述空气边缘是沿着竖直方向按照与体声波谐振单元的厚度大约相同的厚度蚀刻的体声波谐振单元的边缘的一部分。3.如权利要求1所述的BAWR，所述BAWR还包括: 空气间隙，设置在所述体声波谐振单元下方并设置在基底上，空气间隙反射从所述体声波谐振单兀产生的竖直声波。4.如权利要求3所述的BAWR，其中，所述空气边缘是沿着竖直方向从所述体声波谐振单元的边缘直至空气间隙的预定穿透部分。5.如权利要求1所述的BAWR，其中，所述空气边缘是设置在所述体声波谐振单元上的放大的通孔。6.如权利要求1所述的BAWR，其中，所述第一电极、第二电极和压电层通过应用层叠在与体声波谐振单元的边缘不同的部分上的光掩模而按照相同的过程被蚀刻，使得空气边缘具有陡坡。7.如权利要求1所述的BAWR，其中，所述空气边缘形成在体声波谐振单元的边缘的一部分上，所述部分大于或等于所述边缘的20%。8.如权利要求1所述的BAWR，其中，所述BAWR还包括: 桥部，设置在体声波谐振单元的边缘中的除了形成空气边缘的部分之外的区域上，所述桥部支撑所述体声波谐振单元。9.如权利要求1所述的BAWR，所述BAWR还包括: 纯化层，由氧化娃基材料、氣化娃基材料和氣化招(AlN)基材料中的一种形成，所述纯化层设置在压电层、第一电极或第二电极中的一个上或者设置在压电层、第一电极或第二电极中的一个下方。10.如权利要求1所述的BAWR，其中，所述体声波谐振单元包括: 第一框架，通过在连接到第一电极的部分处的另外的膜的蒸镀而形成，其中，所述第一框架不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘； 第二框架，通过在连接到第二电极的部分处的另外的膜的蒸镀而形成，其中，所述第二框架不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘。11.如权利要求1所述的BAWR，其中，所述体声波谐振单元包括: 第一框架，在连接到所述第一电极的部分处被蚀刻，并且不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘； 第二框架，在连接到所述第二电极的部分处被蚀刻，并且不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘。12.如权利要求1所述的BAWR，其中，所述第一电极包括: 以指状物的形式连接到...

【专利技术属性】
技术研发人员：申济湜，金德焕，金哲秀，孙尚郁，宋寅相，李文喆，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR