输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出了在显示技术领域中，应用在快速加热退火设备中的输送装置。该输送装置包括平台，还包括在所述平台的超像玻璃的一面上、相对设置在玻璃的两条相对边的外围的阻挡机构。阻挡机构能够防止玻璃相对于平台产生滑移，或使得滑移量保持在误差范围内，从而快速加热退火设备不会检测到玻璃的位置变动，避免了由此产生的自动停机和工作人员负荷量，同时也避免了玻璃由于滑移过大产生的碎裂，节省了成本。

Conveying device

The invention provides a conveying device used in a fast heating and annealing equipment in the field of display technology. The conveying device comprises a platform and a barrier mechanism on the side of the super image glass of the platform and opposite sides of the two opposite edges of the glass. A blocking mechanism can prevent the glass slide relative to the platform, or the amount of slip in the range of error, and position change of rapid heating annealing device does not detect the glass, to avoid the resulting automatic shutdown and staff workload, but also to avoid the glass due to slip generated excessive fragmentation, saving cost.

【技术实现步骤摘要】
输送装置
本专利技术涉及显示
，具体涉及输送装置，该输送装置用在快速加热退火设备中。
技术介绍
目前，快速加热退火设备(RapidThermalAnneal，RTA)在低温多晶硅面板制程中的应用越来越多，如去氢、离子活化等。RTA设备包括上载单元、温度控制单元、快速降温单元、卸载单元、返回单元等处理单元。玻璃在进入RTA设备进行工艺处理时，首先在上载单元中被放置在输送平台上，由输送平台承载其依次进入温度控制单元、快速降温单元、卸载单元、等中进行退火处理并经过返回单元回到待整理区域。在对玻璃进行退火处理的过程中，玻璃一直放置在输送平台上，由输送平台带动玻璃进行运动。在运动过程中，当运动速度较大时，会出现由于输送平台与玻璃之间摩擦力不足而产生二者之间的相对位移。当玻璃相对于输送平台移动的距离超过误差范围时，RTA设备会检测到玻璃的位置发生变动，从而自动停机，这样就会给工作人员带来额外工作量及产能损失；甚至，当玻璃相对于输送平台滑动严重时，还会出现玻璃碎裂，造成经济损失。
技术实现思路
针对现有技术中的玻璃相对于输送平台产生相对滑移并可能造成碎裂的问题，本专利技术提出了应用在快速退火设备中的输送装置。本专利技术提出的输送装置，用于快速加热退火设备，所述输送装置包括平台，其特征在于，其还包括在所述平台的朝向玻璃的一面上、相对设置在玻璃的两条相对边的外围的阻挡机构。这样设置的输送装置，当其承载着玻璃运动时，阻挡机构能够防止玻璃相对于平台产生滑移，或使得滑移量保持在误差范围内，从而RTA设备不会检测到玻璃的位置变动，避免了由此产生的自动停机和工作人员负荷量，同时，也避免了玻璃由于滑移过大产生的碎裂，节省了成本。作为对本专利技术的输送装置的进一步改进，其还包括设置在所述平台上、沿所述平台的运动方向延伸的第一孔槽，所述阻挡机构相对设置在所述第一孔槽中并能够分别沿所述第一孔槽移动。这种结构的输送装置，将需要处理的玻璃放置在相对设置的阻挡机构之间。当需要处理的玻璃尺寸不同时，可以移动阻挡机构，使其适应玻璃的尺寸。这样的输送装置不再局限于单一的玻璃尺寸，提高了其应用的广泛性，进一步降低了成本。另外，玻璃相对于平台产生的滑移主要是沿平台的运动方向，因此，当第一孔槽沿平台的运动方向延伸时，阻挡机构能够最大程度地限制玻璃相对于平台的滑移量。作为对本专利技术的输送装置的进一步改进，其还包括设置在所述平台上、沿与所述第一孔槽延伸方向垂直的方向延伸的第二孔槽，所述阻挡机构相对设置在所述第二孔槽中并能够分别沿所述第二孔槽移动。由于RTA设备的震动，玻璃不仅会产生沿平台运动方向的滑移，还可能产生沿其他方向的滑移，因此，当同时设置与第一孔槽延伸方向垂直延伸的第二孔槽和设置于第二孔槽中的阻挡机构时，能够最大程度地限制玻璃由于震动而产生的偏移。作为对阻挡机构的进一步改进，所述阻挡机构包括阻挡单元和穿过所述第一孔槽或第二孔槽的紧固单元，通过所述紧固单元能够移动所述阻挡单元或将所述阻挡单元固定在所述平台的预设位置。当玻璃的放置位置或尺寸改变时，通过打开紧固单元能够移动阻挡单元的位置，当将阻挡单元移动到与玻璃相适配的位置时，通过紧固单元将其固定住，以便在输送装置带动玻璃运动时将玻璃的滑移量控制在误差范围内。作为对紧固单元的进一步改进，其包括与所述第一孔槽或所述第二孔槽相匹配的螺钉和与所述螺钉相匹配的锁紧螺母，所述螺钉从所述平台的背离玻璃的一面穿入所述第一孔槽或所述第二孔槽和设置在所述阻挡单元上且与所述螺钉相匹配的固定孔，所述锁紧螺母设置在所述螺钉的穿过所述固定孔的一端，通过调节所述锁紧螺母，能够沿所述第一孔槽或所述第二孔槽移动或固定所述阻挡单元。这种结构的紧固单元，可以选择机械上常用的螺钉和螺母，其结构简单、易于制作，不仅达到了其应有的作用，而且降低了成本。作为对紧固单元的进一步改进，其还包括设置在所述锁紧螺母与所述固定孔之间的垫圈。当将阻挡单元固定在平台上后，垫圈能够防止紧固单元由于设备振动而产生的松动，从而防止阻挡单元位置变动，保证玻璃的滑移量控制在预设范围内。作为对第一孔槽和第二孔槽的改进，所述第一孔槽和所述第二孔槽的截面均呈小直径朝向所述阻挡单元的沉孔状。这样的第一孔槽和第二孔槽，当螺钉从其底部穿入时，螺钉的螺帽可以完全沉入孔槽的大直径中，从而避免了螺帽与运输平台的滚轮的干涉，保证了平台的正常使用。作为对阻挡单元的改进，所述阻挡单元包括用于阻挡玻璃的阻挡体和设置在所述阻挡体的背离玻璃的一侧的弹性调节单元，通过所述弹性调节单元能够调节所述阻挡体对玻璃产生的缓冲力大小。当玻璃撞击到阻挡单元时，弹性调节单元能够使得阻挡体对玻璃产生缓冲力，使得玻璃与阻挡体之间的碰撞转化为弹性碰撞，从而避免了玻璃由于碰撞产生损伤。同时弹性调节单元的自恢复能力能够使得玻璃的滑移量保持在误差范围内。作为对弹性调节单元的改进，所述弹性调节单元包括设置在所述阻挡体上并朝远离玻璃的方向延伸的拉杆、供所述拉杆穿过的支撑板、弹性件和调节件，其中，所述弹性件设置在所述阻挡体与所述支撑板之间，所述调节件设置在所述拉杆的穿过所述支撑板的一端，通过所述调节件能够调节所述弹性件的压缩量，从而调节所述阻挡体对玻璃产生的缓冲力大小。这样的弹性调节单元结构简单、易于制造，节省了成本。在一个优选的实施例中，所述弹性件为压缩弹簧，所述拉杆沿压缩弹簧的轴向穿过所述压缩弹簧。压缩弹簧是常见的弹性单元之一，具有很好的弹性和自恢复能力，进一步保证了弹性调节单元的性能。作为对阻挡机构的进一步改进，所述阻挡机构的朝向玻璃的一面设置为向远离玻璃的方向倾斜的斜面。当输送平台出现紧急停止或加速时，玻璃会由于惯性而产生较大滑移力，此时，斜面的设置不仅对玻璃起到缓冲作用而且能够防止玻璃急速碰撞阻挡机构而出现损伤。斜面的设置同时方便了对玻璃进行吸取操作。在一个优选的实施例中，所述斜面与所述平台的角度呈100度。总之，本专利技术提出的输送装置，当其承载着玻璃运动时，设置在平台的朝向玻璃的一面上的能够防止玻璃相对于平台产生滑移的阻挡机构能够防止玻璃相对于平台产生滑移，或使得滑移量保持在误差范围内，从而RTA设备就不会检测到玻璃的位置变动，避免了由此产生的自动停机和工作人员负荷量，同时，也避免了玻璃由于滑移过大产生的碎裂，节省了成本。附图说明在下文中将基于实施例并参考附图来对本专利技术进行更详细的描述。其中：图1为本专利技术的输送装置的整体结构示意图；图2为分别设置一个第一孔槽和第二孔槽的输送装置的俯视结构示意图；图3为分别设置两个第一孔槽和第二孔槽的输送装置的俯视结构示意图；图4为阻挡机构的结构示意图；图5为紧固单元与第一孔槽或第二孔槽配合的结构示意图；图6为阻挡单元的结构示意图。在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。具体实施方式以下将结合附图对本专利技术的内容作出详细的说明，下文中的“上”“下”“左”“右”均为相对于图示方向，不应理解为对本专利技术的限制。本专利技术中的“第一”和“第二”等仅仅是为了区分设备中还有的多个该结构，并不表示该结构上的实际差别。例如其中的第一阻挡机构221和第二阻挡机构221’均为阻挡机构，实际结构无差别，仅仅为了标注结构清楚的考虑进行的命名。本专利技术提出的一种输送装置，用于快速加热退火设备，其包括平台，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送装置，用于快速加热退火设备，所述输送装置包括平台，其特征在于，所述输送装置还包括在所述平台的朝向玻璃的一面上、相对设置在玻璃的两条相对边的外围的阻挡机构。

【技术特征摘要】
1.一种输送装置，用于快速加热退火设备，所述输送装置包括平台，其特征在于，所述输送装置还包括在所述平台的朝向玻璃的一面上、相对设置在玻璃的两条相对边的外围的阻挡机构。2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置还包括设置在所述平台上、沿所述平台的运动方向延伸的第一孔槽，所述阻挡机构相对设置在所述第一孔槽中并分别沿所述第一孔槽移动。3.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置还包括设置在所述平台上、沿与所述第一孔槽延伸方向垂直的方向延伸的第二孔槽，所述阻挡机构相对设置在所述第二孔槽中并分别沿所述第二孔槽移动。4.根据权利要求2或3所述的输送装置，其特征在于，所述阻挡机构包括阻挡单元和穿过所述第一孔槽或第二孔槽的紧固单元，通过所述紧固单元能够移动所述阻挡单元或将所述阻挡单元固定在所述平台的预设位置。5.根据权利要求4所述的输送装置，其特征在于，所述紧固单元包括与所述第一孔槽或所述第二孔槽相匹配的螺钉和与所述螺钉相匹配的锁紧螺母，所述螺钉从所述平台的背离玻璃的一面穿入所述第一孔槽或所述第二孔槽和设置在所述阻挡单元上且与所述螺钉相匹配的固定孔，所述锁紧...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖东辉，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42