【技术实现步骤摘要】
硅烷废气焚烧净化系统
本专利技术涉及一种硅烷废气焚烧系统,具体的说是一种用于电池、微电子、光电子工业的硅烷废气处理净化系统。
技术介绍
硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业,用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层,并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现,包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量,决定了它是一种高危险性的气体。
技术实现思路
专利技术目的:本专利技术的目的是提供一种硅烷废气焚烧净化系统,结构设计合理,安全可靠,硅烷废气处理效率高,无二次污染,既经济又环保。技术方案:为了实现以上目的,本专利技术采用如下技术方案:一种硅烷废气焚烧净化系统,它包括焚烧炉、多管除尘器、布袋除尘器、风机和烟囱。作为优选方案,以上所述的硅烷废气焚烧净化系统,所述的焚烧炉尾部与多管除尘器进气口相连,多管除尘器出气口与布袋除尘器进气口相连,布袋除尘器出气口与风机进风口相连,风机出风口与烟囱相连。作为优选方案,以上所述的硅烷废气焚烧净化系统,所述的焚烧炉前端中心轴线上水平安装燃烧器,所述的燃烧器上设有硅烷气入口,助燃煤气入口,助燃风入口和惰性气入口;突发状况下用惰性气进行吹扫,更安全可靠。作为优选方案,以上 ...
【技术保护点】
一种硅烷废气焚烧净化系统,其特征在于,它包括焚烧炉(2)、多管除尘器(3)、布袋除尘器(4)、风机(5)和烟囱(6)。焚烧炉(2)尾部与多管除尘器(3)进气口相连,多管除尘器(3)出气口与布袋除尘器(4)进气口相连,布袋除尘器(4)出气口与风机(5)进风口相连,风机(5)出风口与烟囱(6)相连。
【技术特征摘要】
1.一种硅烷废气焚烧净化系统,其特征在于,它包括焚烧炉(2)、多管除尘器(3)、布袋除尘器(4)、风机(5)和烟囱(6)。焚烧炉(2)尾部与多管除尘器(3)进气口相连,多管除尘器(3)出气口与布袋除尘器(4)进气口相连,布袋除尘器(4)出气口与风机(5)进风口相连,风机(5)出风口与烟囱(6)相连。2.根据权利要求1所述的硅烷废气焚烧净化系统,其特征在于,所述焚烧炉(2)前端的中心轴线上水平安装有燃烧器(1),所述的燃烧器(1)上开设有硅烷气入口(1-1),助燃煤气入口(1-2),助燃风入口(1-3)和惰性气入口(1-4)。3.根据权利要求1所述的硅烷废气焚烧净化系统,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:端午祥,赵娟,赵忠良,张龑,
申请(专利权)人:南京博纳能源环保科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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