一种含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，所述处理装置包括依次连接的焚烧炉、余热锅炉、急冷塔、除尘器、盐酸吸收塔、碱洗塔、再热器、SCR反应器和吸附设备；所述焚烧炉的顶部设有燃烧器，所述燃烧器的出口连接至焚烧炉的顶部入口。本实用新型专利技术所述处理装置以焚烧炉为源头，对含氯硅烷的废气和废液进行焚烧处理，将氯硅烷转化为容易处理的物质，再依次连接各级设备对反应产物及其携带热量进行分离或回收，回收得到SiO2、盐酸等产品，解决了常规方法针对该类废弃物处理不彻底及氯离子难以去除的问题，极大提高含氯硅烷的去除率，产品及余热回收率高；所述处理装置结构设计合理，不会造成二次污染，环保经济。环保经济。环保经济。

【技术实现步骤摘要】
一种含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置


[0001]本技术属于废弃物回收处理
，涉及一种含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，尤其涉及一种多晶硅生产过程中排出的含氯硅烷废气和废液焚烧及回收处理装置。

技术介绍

[0002]随着微电子产业和光伏产业的迅速发展，对其基础原材料多晶硅的需求也与日俱增，多晶硅在化工、冶金、机械、电子等众多学科与领域中均有广泛应用。而随着多晶硅产量和规模的不断扩大，其生产过程中会排出大量废气、废液，其中会含有氯硅烷等污染物，若不及时处理会造成环保及安全问题，这已成为整个多晶硅产业链中急需解决的瓶颈之一。
[0003]根据多晶硅生产所用的原料，其产生的废气、废液中会含有三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅等氯硅烷，以及少量金属杂质氯化物，针对上述废气、废液的处理，目前常采用水解碱吸收法、石灰乳中和沉淀法以及焚烧处理法等。其中，水解碱吸收法通常是将废气、废液送入淋洗塔，用氢氧化钠溶液连续洗涤，经过滤后，渣外运填埋，过滤液送入废水处理工序继续处理，但该方法会产生大量的废水、废渣，尤其是碱消耗量大，容易结渣导致设备本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述处理装置包括依次连接的焚烧炉、余热锅炉、急冷塔、除尘器、盐酸吸收塔、碱洗塔、再热器、SCR反应器和吸附设备；所述焚烧炉的顶部设有燃烧器，所述燃烧器的出口连接至焚烧炉的顶部入口。2.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述焚烧炉包括立式顶燃炉，所述焚烧炉上设有废气入口和废液入口，所述废液入口处设有喷嘴。3.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述燃烧器的入口通入天然气和空气。4.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和废液焚烧及回收处理装置，其特征在于，所述余热锅炉包括膜式壁余热锅炉，所述焚烧炉的底部出口通过倾斜烟道与余热锅炉的热源入口相连，两者共用一个排灰口。5.根据权利要求1所述的含氯硅烷的废气和...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄强，戴炳慧，端午祥，李孝朋，刘宁云，
申请(专利权)人：南京博纳能源环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：