用于半导体工艺的主动式衬底对准系统及对准衬底的方法技术方案

本发明专利技术提供一种用于离子注入机的主动式衬底对准系统以及一种对准衬底的方法，衬底系统包含压板；对齐装置，其经调适以选择性地移动邻近于压板安置的衬底接合表面，用于限制安置在压板上的衬底的移动；相机，其经配置以在衬底安置在压板上之前获取衬底的图像；以及控制器，其与相机和对齐装置通信，控制器可以经配置以命令对齐装置基于图像移动衬底接合表面，以用预定的方式限制衬底的移动。本发明专利技术使用上述系统使衬底定向，以使得投射到衬底上的掺杂剂图案将置中于衬底上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】主动式衬底对准系统及方法相关申请案的交叉参考本专利技术主张于2014年9月15日提出申请的美国临时专利申请案第62/050,363号的优先权，所述美国临时专利申请案的揭露内容全文并入本案供参考。
本专利技术的实施例涉及半导体和太阳能电池处理的领域，且更确切地说，涉及一种主动式衬底对准系统和用于离子注入机的对应方法。
技术介绍
离子注入是用于将导电性改变的杂质引入到半导体和太阳能电池衬底中的技术。在离子注入期间，将所需杂质材料在离子源室中离子化，所述离子经加速以形成具有指定能量的离子束并且将所述离子束聚焦且引导朝向位于处理室中的衬底的表面。离子束中的高能离子穿透到大部分衬底材料中并且被嵌入到材料的晶格中以形成所需导电性的区域。太阳能电池制造业的两个问题是制造生产率和太阳能电池效率。太阳能电池效率是太阳能电池能够将其转换成电力的太阳能的量的测量，并且与制造精确度密切相关。随着技术进步，可能需要更高太阳能电池效率以在太阳能电池制造业中保持竞争性。提高精确度同时保持或提高制造生产率因此是非常合乎需要的。已证实离子注入是以精确方式掺杂太阳能电池的可行方法。离子注入的使用去除现有技术所需的程序，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于离子注入机的主动式衬底对准系统，其特征在于，包括：压板；对齐装置，其经调适以选择性地移动邻近于所述压板安置的衬底接合表面，用于限制安置在所述压板上的衬底的移动；相机，其经配置以在所述衬底安置在压板上之前获取所述衬底的图像；以及控制器，其与所述相机和所述对齐装置通信，所述控制器可以经配置以命令所述对齐装置基于所述图像移动所述衬底接合表面，以用预定的方式限制所述衬底的移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.15 US 62/050,3631.一种用于离子注入机的主动式衬底对准系统，其特征在于，包括：压板；对齐装置，其经调适以选择性地移动邻近于所述压板安置的衬底接合表面，用于限制安置在所述压板上的衬底的移动；相机，其经配置以在所述衬底安置在压板上之前获取所述衬底的图像；以及控制器，其与所述相机和所述对齐装置通信，所述控制器可以经配置以命令所述对齐装置基于所述图像移动所述衬底接合表面，以用预定的方式限制所述衬底的移动。2.根据权利要求1所述的衬底对准系统，其特征在于，还包括推动器，所述推动器邻近于所述压板安置且经调适以推动所述衬底与所述衬底接合表面接合。3.根据权利要求2所述的衬底对准系统，其特征在于，所述推动器包括第一推动器及第二推动器，所述第一推动器及所述第二推动器以彼此平行的关系安置于压板的第一侧上。4.根据权利要求1所述的衬底对准系统，其特征在于，所述对齐装置包括第一对齐装置及第二对齐装置，所述第一对齐装置及所述第二对齐装置安置于所述压板的第一侧上。5.根据权利要求4所述的衬底对准系统，其特征在于，还包括第三对齐装置，所述第三对齐装置安置于所述压板的第二侧上。6.根据权利要求1所述的主动式衬底对准系统，其特征在于，所述相机经配置以在所述衬底安置在所述压板上之前获取所述衬底上的第一掺杂剂图案的图像，且所述控制器经配置以命令所述对齐装置基于所述图像移动所述衬底接合表面，以使所述衬底上的所述第一掺杂剂图案将在所述衬底设置在所述压板上之后对齐于投射到所述衬底上的第二掺杂剂图案。7.根据权利要求1所述的主动式衬底对准系统，其特征在于，所述控制器经配置以命令所述对齐装置基于所述图像移动所述衬底接合表面，以使投射到所述衬底上的掺杂剂图案将在所述衬底设置在所述压板上之后居中于所述衬底上。8.一种用于离子注入机的主动式衬底对准系统，其特征在于，包括：压板；第一对齐装置及第二对齐装置，其经调适以选择性地移动与所述第一对齐装置及所述第二对齐装置相应的安置于所述压板的第一侧的第一衬底接合表面及第二衬底接合表面，以用于限制安置在所述压板上...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚隆·P·威波，提摩西·J·米勒，泰美·州·普赖德，克里斯多夫·N·葛兰特，詹姆斯·D·史瑞斯奈，查理斯·T·卡尔森，
申请(专利权)人：瓦里安半导体设备公司，
类型：发明
国别省市：美国,US