测试图案、测试方法以及计算机实现方法技术

一种测试图案包括：第一线图案，设置在第一水平，具有通过第一间隔而间隔开的不连续的区域，具有第一宽度，并在第一方向上延伸。测试图案还包括：设置在第二水平并在第一方向上延伸的连接线图案；以及设置在第二水平、从连接线图案分支、具有第二宽度并在垂直于第一方向的第二方向上延伸的多个第二线图案。测试图案还包括多个通路图案，该多个通路图案设置在第三水平、具有第三宽度并形成为至少部分地交叠具有第一线图案的第一宽度和第二线图案的第二宽度的交叉区域。第一焊盘与第一线图案相连。第二焊盘与连接线图案相连。

【技术实现步骤摘要】
测试图案、测试方法以及计算机实现方法
本公开涉及测试图案、用于半导体器件的测试方法以及用于设计集成电路布图的计算机实现方法，更具体地，涉及用于具有测试图案的半导体器件的测试方法。
技术介绍
半导体后端工艺包括金属互连工艺和通路工艺。也就是，通路被形成以将形成在下部的金属互连与将要形成在上部的金属互连连接。由于金属互连工艺和通路工艺可能具有各种问题诸如设计误差和处理中的误差，所以金属互连被彼此短路或彼此断开，或者下部的金属互连会不正确地与上部的金属互连连接。这些故障降低半导体制造产率并增加制造成本。
技术实现思路
本公开描述了可在短时间内准确地检测故障的测试图案。本公开还提供可在短时间内准确地检测故障的用于半导体器件的测试方法。本公开还提供用于设计集成电路的布图的计算机实现方法，其可以在短时间内准确地检测故障。本公开不限于以上的目的，而是没有在这里描述的其它目的可以从以下的描述而被本领域技术人员清楚地理解。根据本公开的一方面，一种测试图案包括：多个第一线图案，设置在第一水平，具有通过第一间隔而间隔开的不连续的区域，具有第一宽度，并在第一方向上延伸。测试图案还包括设置在第二水平并在第一方向上延伸的连接线图案。多个第二线图案设置在第二水平，从连接线图案分支，具有第二宽度，并在垂直于第一方向的第二方向上延伸。多个通路图案设置在第三水平，具有第三宽度，并形成为至少部分地交叠具有第一线图案的第一宽度和第二线图案的第二宽度的交叉区域。第一焊盘与第一线图案相连，第二焊盘与连接线图案相连。根据本公开的另一个方面，第一线图案的不连续的区域可以在第二方向上以相同的第一间隔或者以不同的第一间隔形成在相同的位置或者在不同的位置。根据本公开的另一方面，第二线图案可以在第二方向上延伸至相同的长度或者不同的长度。根据本公开的另一个方面，每个第一线图案可以具有与从第二线图案当中选择的至少一个第二线图案的交叉区域。根据本公开的另一个方面，交叉区域可以包括：具有第一线图案的第一宽度的一部分和第二线图案的第二宽度的一部分的交叉区域；和具有第一线图案的第一宽度的全部和第二线图案的第二宽度的全部的交叉区域。根据本公开的另一方面，连接线图案可以包括彼此面对并使第一线图案插设在两者之间的第一连接线图案和第二连接线图案。根据本公开的另一个方面，第一线图案当中的奇数编号的图案可以形成第一组，第一线图案当中的偶数编号的图案可以形成第二组，第二线图案当中的奇数编号的图案可以从第一连接线图案分支，第二线图案当中的偶数编号的图案可以从第二连接线图案分支。根据本公开的另一个方面，通路图案可以形成为至少部分地交叠第一交叉区域和第二交叉区域，该第一交叉区域具有第一组的第一线图案的第一宽度和从第一连接线图案分支的第二线图案的第二宽度，该第二交叉区域具有第二组的第一线图案的第一宽度和从第二连接线图案分支的第二线图案的第二宽度。根据本公开的另一方面，每个通路图案可以具有垂直地匹配到第一交叉区域的中心或第二交叉区域的中心或者与第一交叉区域的中心或第二交叉区域的中心水平地分离的中心以便至少部分地交叠第一交叉区域或第二交叉区域。根据本公开的另一个方面，第一宽度、第二宽度和第三宽度可以具有可变的值。根据本公开的另一个方面，一种测试图案包括：多个第一线图案，设置在第一水平，具有通过第一间隔而间隔开的不连续的区域，具有第一宽度，并在第一方向上延伸。测试图案还包括多个第二线图案，设置在第二水平，具有比第一间隔的长度大的长度以包括不连续的区域，具有第二宽度，并在第一方向上延伸；多个通路图案形成在第三水平，具有第三宽度，并形成为至少部分地交叠第一线图案和第二线图案之间的交叠区域。第一焊盘与第一线图案相连。根据本公开的另一方面，第一线图案的不连续的区域可以在垂直于第一方向的第二方向上以相同的第一间隔或以不同的第一间隔形成在相同的位置或在不同的位置。根据本公开的另一个方面，测试图案还可以包括：第一区域，其中第一线图案和第二线图案在一端交叠；和第二区域，其中第一线图案和第二线图案在另一端交叠。根据本公开的另一方面，每个通路图案可以具有垂直地匹配到第一区域的中心或第二区域的中心或者与第一区域的中心或第二区域的中心水平地分离不同的距离的中心以便至少部分地交叠第一区域或第二区域。根据本公开的另一方面，第一宽度、第二宽度和第三宽度可以具有可变的值。根据本公开的另一个方面，一种用于半导体器件的测试方法包括：制备包括器件区域和测试区域的基板；以及在测试区域的第一互连层中形成具有第一宽度的多个第一金属互连。第一金属互连在第一方向上延伸并具有通过第一间隔而间隔开的不连续的区域。测试方法还包括在测试区域的第二互连层中形成金属连接线。金属连接线在第一方向上延伸。测试方法包括在测试区域的第二互连层中形成具有第二宽度的多个第二金属互连。第二金属互连在垂直于第一方向的第二方向上延伸并从金属连接线分支。测试方法包括：在测试区域的第一通路层中形成具有第三宽度的多个通路结构，该通路结构至少部分地交叠具有第一金属互连的第一宽度和第二金属互连的第二宽度的交叉区域。通路结构在垂直于第一方向和第二方向的第三方向上延伸。测试方法包括：形成与第一金属互连电连接的第一焊盘和与金属连接线电连接的第二焊盘。电信号被提供到第一焊盘中的一个和第二焊盘。测试方法包括使用电信号检查第一金属互连、第二金属互连和通路结构的故障。根据本公开的另一个方面，在第一金属互连的形成中，不连续的区域可以在第二方向上以相同的第一间隔或者以不同的第一间隔形成在相同的位置或者在不同的位置。根据本公开的另一方面，在第二金属互连的形成中，第二金属互连可以在第二方向上延伸至相同的长度或者不同的长度。根据本公开的另一方面，在第二金属互连的形成中，每个第一金属互连可以具有与第二金属互连当中选择的至少一个第二金属互连的交叉区域。根据本公开的另一个方面，交叉区域可以包括：具有第一金属互连的第一宽度的一部分和第二金属互连的第二宽度的一部分的交叉区域；和具有第一金属互连的第一宽度的全部和第二金属互连的第二宽度的全部的交叉区域。根据本公开的另一个方面，在金属连接线的形成中，金属连接线可以包括彼此面对的第一金属连接线和第二金属连接线，第一金属互连插设在两者之间。根据本公开的另一方面，第一金属互连当中的奇数编号的互连可以形成第一组，第一金属互连当中的偶数编号的互连可以形成第二组，第二金属互连当中的奇数编号的互连可以从第一金属连接线分支，第二金属互连当中的偶数编号的互连可以从第二金属连接线分支。根据本公开的另一个方面，在通路结构的形成中，通路结构可以形成为至少部分地交叠第一交叉区域和第二交叉区域，该第一交叉区域具有第一组的第一金属互连的第一宽度和从第一金属连接线分支的第二金属互连的第二宽度，该第二交叉区域具有第二组的第一金属互连的第一宽度和从第二金属连接线分支的第二金属互连的第二宽度。根据本公开的另一个方面，在通路图案的形成中，每个通路结构可以形成为具有垂直地匹配到第一交叉区域的中心或第二交叉区域的中心或者与第一交叉区域的中心或第二交叉区域的中心水平地分隔的中心以便至少部分地交叠第一交叉区域或第二交叉区域。根据本公开的另一方面，第一通路层可以形成在第一互连层上，第二互连层可以形成在第一通路本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试图案，包括：多个第一线图案，设置在第一水平，具有通过第一间隔而间隔开的不连续的区域，具有第一宽度，并在第一方向上延伸；连接线图案，设置在第二水平并在所述第一方向上延伸；多个第二线图案，设置在所述第二水平，从所述连接线图案分支，具有第二宽度，并在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸；多个通路图案，设置在第三水平，具有第三宽度，并形成为至少部分地交叠具有所述第一线图案的第一宽度和所述第二线图案的第二宽度的交叉区域；第一焊盘，与所述多个第一线图案相连；以及第二焊盘，与所述连接线图案相连。

【技术特征摘要】
2015.12.09 KR 10-2015-01753531.一种测试图案，包括：多个第一线图案，设置在第一水平，具有通过第一间隔而间隔开的不连续的区域，具有第一宽度，并在第一方向上延伸；连接线图案，设置在第二水平并在所述第一方向上延伸；多个第二线图案，设置在所述第二水平，从所述连接线图案分支，具有第二宽度，并在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸；多个通路图案，设置在第三水平，具有第三宽度，并形成为至少部分地交叠具有所述第一线图案的第一宽度和所述第二线图案的第二宽度的交叉区域；第一焊盘，与所述多个第一线图案相连；以及第二焊盘，与所述连接线图案相连。2.如权利要求1所述的测试图案，其中所述多个第一线图案的所述不连续的区域在所述第二方向上以相同的第一间隔或以不同的第一间隔形成在相同的位置或者在不同的位置。3.如权利要求1所述的测试图案，其中所述多个第二线图案在所述第二方向上可变地延伸至相同的长度或者不同的长度。4.如权利要求1所述的测试图案，其中所述多个第一线图案的每个具有与从所述多个第二线图案当中选择的至少一个第二线图案的交叉区域。5.如权利要求4所述的测试图案，其中所述交叉区域包括：第一交叉区域，具有所述第一线图案的所述第一宽度的一部分和所述第二线图案的所述第二宽度的一部分；和第二交叉区域，具有所述第一线图案的所述第一宽度的全部和所述第二线图案的所述第二宽度的全部。6.如权利要求1所述的测试图案，其中所述连接线图案包括彼此面对的第一连接线图案和第二连接线图案，并使所述多个第一线图案插设在两者之间。7.如权利要求6所述的测试图案，其中，所述多个第一线图案当中的奇数编号的图案形成第一组，所述多个第一线图案当中的偶数编号的图案形成第二组，所述多个第二线图案当中的奇数编号的图案从所述第一连接线图案分支，并且所述多个第二线图案当中的偶数编号的图案从所述第二连接线图案分支。8.如权利要求7所述的测试图案，其中所述多个通路图案形成为至少部分地交叠第一交叉区域和第二交叉区域，所述第一交叉区域具有所述第一组的所述第一线图案的所述第一宽度和从所述第一连接线图案分支的所述第二线图案的所述第二宽度，所述第二交叉区域具有所述第二组的所述第一线图案的所述第一宽度和从所述第二连接线图案分支的所述第二线图案的所述第二宽度。9.如权利要求8所述的测试图案，其中所述多个通路图案的每个具有垂直地匹配到所述第一交叉区域的中心或所述第二交叉区域的中心或者与所述第一交叉区域的中心或所述第二交叉区域的中心水平地分离可变的距离的中心，以便至少部分地交叠所述第一交叉区域或所述第二交叉区域。10.如权利要求1所述的测试图案，其中所述第一宽度、所述第二宽度和所述第三宽度具有可变的值。11.一种测试图案，包括：多个第一线图案，设置在第一水平，具有通过第一间隔而间隔开的不连续的区域，具有第一宽度，并在第一方向上延伸；多个第二线图案，设置在第二水平，具有比所述第一间隔的长度大的长度以包括所述不连续的区域，具有第二宽度，并在所述第一方向上延伸；多个通路图案，形成在第三水平，具有第三宽度，并形成为至少部分地交叠所述第一线图案和所述第二线图案之间的交叠区域；以及第一焊盘，与所述多个第一线图案相连。12.如权利要求11所述的测试图案，其中所述多个第一线图案的所述不连续的区域在垂直于所述第一方向的第二方向上以相同的第一间隔或以不同的第一间隔形成在相同的位置或在不同的位置。13.如权利要求11所述的测试图案，还包括：第一区域，其中所述第一线图案和所述第二线图案在一端交叠；和第二区域，其中所述第一线图案和所述第二线图案在另一端交叠。14.如权利要求13所述的测试图案，其中所述多个通路图案的每个具有垂直地匹配到所述第一区域的中心或所述第二区域的中心或者与所述第一区域的中心或所述第二区域的中心水平地分离可变的距离的中心，以便至少部分地交叠所述第一区域或所述第二区域。15.如权利要求11所述的测试图案，其中所述第一宽度、所述第二宽度和所述第三宽度具有可变的值。1...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄盛昱，李钟弦，姜旻秀，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR