物理量传感器、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供一种能够发挥优良的机械强度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：基板(2)；检测用翼板(47)，其以与基板(2)对置的方式而配置；质量部(41)，其对检测用翼板(47)进行支承；梁部(48)，其对检测用翼板(47)和质量部(41)进行连结；第一限制部(61)，其位于检测用翼板(47)与质量部(41)之间，并对检测用翼板(47)的向面内方向的位移进行限制。此外，第一限制部(61)被设置于呈矩形形状的检测用翼板(47)的角部处。

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、电子设备以及移动体
本专利技术涉及一种物理量传感器、电子设备以及移动体。
技术介绍
一直以来，作为陀螺仪传感器(角速度传感器)而已知有专利文献1所记载的结构。该专利文献1所记载的陀螺传感器具有框状的质量部(框)、被配置于质量部的内侧的可动板(振动装置)、对可动板和框进行连结的梁部(悬架片)、和以与可动板对置的方式而配置的电极，且被构成为，当在使质量部于Y轴方向上进行振动的状态下被施加有围绕X轴的角速度时，通过科里奥利力而使得可动板在使梁部发生扭转变形的同时在Z轴方向上进行振动。由于通过这种可动板的振动而使被形成在可动板与电极之间的静电电容发生变化，因此能够根据该静电电容的变化而对被施加于陀螺传感器上的角速度进行检测。然而，在这种专利文献1的陀螺传感器中，在向陀螺传感器施加有可动板的面内方向上的加速度的情况下，可动板会向面内方向位移，从而存在梁部过度挠曲而损坏(裂缝的产生、断裂等)、或者可动板与质量部发生碰撞而使可动板损坏的可能性。即，在专利文献1的陀螺传感器中，存在机械强度较低的这类问题。专利文献专利文献1：日本特表2008-514968号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够发挥优良的机械强度的物理量传感器、电子设备以及移动体。这样的目的通过下述的本专利技术来实现。本专利技术的物理量传感器的特征在于，具有：基板；可动板，其以与所述基板对置的方式而配置；支承部，其对所述可动板进行支承；梁部，其能够进行弹性变形，且以将所述可动板设为能够相对于所述基板而在所述基板的厚度方向上进行位移的方式对所述可动板和所述支承部进行连结；第一限制部，其位于所述可动板与所述支承部之间，并对所述可动板的向面内方向的位移进行限制。由此，由于通过第一限制部而限制了可动板的位移，因此能够防止可动板的向支承部的碰撞、或梁部的过度的变形，从而能够获得具有优良的机械强度的物理量传感器。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述第一限制部被设置于所述可动板上。由此，第一限制部的配置变得容易。此外，例如能够将第一限制部与可动板一体形成。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述可动板在俯视观察时呈矩形形状，所述第一限制部被设置于所述可动板的角部处。由此，能够有效地减少可动板与支承部的接触。此外，由于可动板的角部为容易因撞击而出现缺口或破损的部位，因此通过利用第一限制部来保护这样的部位，从而能够有效地对可动板进行保护。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述可动板通过围绕转动轴倾倒从而在所述厚度方向上进行位移，并且具有如下部分，即，沿着所述旋转轴的方向上的宽度沿着从所述旋转轴远离的方向而逐渐减少的部分。由此，使可动板与支承部变得不易接触。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述第一限制部被设置于所述支承部上。由此，第一限制部的配置变得容易。此外，例如能够将第一限制部与支承部一体形成。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述第一限制部被设置于所述基板上。由此，能够以与可动板及支承部为非接触的方式而对第一限制部进行配置。因此，第一限制部不会对可动板及支承部的位移造成影响。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述可动板具有相互并列设置的第一可动板和第二可动板，所述梁部具有对所述第一可动板与所述支承部进行连结的第一梁部、和对所述第二可动板与所述支承部进行连结的第二梁部，所述物理量传感器还具有第二限制部，所述第二限制部位于所述第一可动板与所述第二可动板之间，并对所述第一可动板以及所述第二可动板的向面内方向的位移进行限制。由此，能够防止第一可动板与第二可动板的接触。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述第二限制部被设置于所述基板上。由此，使第二限制部的配置变得容易。本专利技术的电子设备的特征在于，具有本专利技术的物理量传感器。由此，能够获得一种机械强度优良、且具有较高可靠性的电子设备。本专利技术的移动体的特征在于，具有本专利技术的物理量传感器。由此，能够获得一种机械强度优良、且具有较高可靠性的电子设备。附图说明图1为表示本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图2为图1的A-A线剖视图。图3为表示具有图1所示的物理量传感器的限制部的俯视图。图4为表示检测用翼板的向面内方向的位移的俯视图。图5为表示图3所示的限制部的改变例的俯视图。图6为表示图3所示的限制部的改变例的俯视图以及剖视图。图7为表示本专利技术的第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图8为表示检测用翼板的向面内方向的位移的俯视图。图9为表示本专利技术的第三实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图10为表示检测用翼板的向面内方向的位移的俯视图。图11表示应用了本专利技术的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。图12为表示应用了本专利技术的电子设备的便携式电话机(也包括PHS)的结构的立体图。图13为表示应用了本专利技术的电子设备的数码照相机的结构的立体图。图14为表示应用了本专利技术的移动体的汽车的立体图。具体实施方式以下，基于附图所示的实施方式来对本专利技术的物理量传感器、电子设备以及移动体进行详细说明。第一实施方式首先，对本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器进行说明。图1为表示本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图2为图1的A-A线剖视图。图3为表示具有图1所示的物理量传感器的限制部的俯视图。图4为表示检测用翼板的向面内方向的位移的俯视图。图5为表示图3所示的限制部的改变例的俯视图。图6为表示图3所示的限制部的改变例的俯视图以及剖视图。另外，在以下的说明中，将互相正交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴。此外，将沿着X轴的方向称为“X轴方向”、将沿着Y轴方向的方向称为“Y轴方向”、将沿着Z轴的方向称为“Z轴方向”。图1及图2所示的物理量传感器1为，能够对围绕Y轴的角速度ωy进行检测的陀螺传感器。该物理量传感器1具有基板2、盖体3、功能元件4和限制部6。另外，为了便于说明，在图1中，省略了基板2以及盖体3的图示。基板2具有向上表面开放的凹部21和被设置于凹部21内的支柱(突起部)22，并通过上表面和支柱22来对功能元件4进行支承。此外，在凹部21的底面21a上，设置有与功能元件4之间形成静电电容C的四个固定检测电极5。另一方面，盖体3具有向下表面开放的凹部31。而且，基板2与盖体3以通过凹部21与凹部31而形成内部空间S的方式被接合在一起，并且在内部空间S内收纳有功能元件4。另外，优选为，使内部空间S处于减压状态(优选为，10Pa以下程度)。由此，能够减少粘性阻力，从而有效地使功能元件4进行振动(驱动)。在本实施方式中，基板2由玻璃基板形成，盖体3由硅基板形成。因此，能够通过阳极接合而对基板2和盖体3进行接合。但是，作为基板2及盖体3的材料并未被限定于此，而且，基板2与盖体3的接合方法也未被限定于此。如上文所述，功能元件4被配置于内部空间S内，且与基板2的上表面和支柱22接合。这种功能元件4具有两个结构体40(40a、40b)。两个结构体40a、40b以在X轴方向上并排的方式被设置，并且相对于沿着Y轴的假想直线α而对称。结构体40具有：质量部(振动部)41、驱动弹簧部42、固定部43、可动驱动电极44、固定驱动电极45、46、检测用翼板(可动板)47、梁部48。此外，检测用翼板47具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；可动板，其以与所述基板对置的方式而配置；支承部，其对所述可动板进行支承；梁部，其能够进行弹性变形，且以将所述可动板设为能够相对于所述基板而在所述基板的厚度方向上进行位移的方式对所述可动板和所述支承部进行连结；第一限制部，其位于所述可动板与所述支承部之间，并对所述可动板的向面内方向的位移进行限制。

【技术特征摘要】
2015.09.15 JP 2015-1820581.一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；可动板，其以与所述基板对置的方式而配置；支承部，其对所述可动板进行支承；梁部，其能够进行弹性变形，且以将所述可动板设为能够相对于所述基板而在所述基板的厚度方向上进行位移的方式对所述可动板和所述支承部进行连结；第一限制部，其位于所述可动板与所述支承部之间，并对所述可动板的向面内方向的位移进行限制。2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述第一限制部被设置于所述可动板上。3.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，所述可动板在俯视观察时呈矩形形状，所述第一限制部被设置于所述可动板的角部处。4.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述可动板通过围绕转动轴倾倒从而在所述厚度方向上进行位移，并且具有如下部分，即，沿着所述旋转轴的方向上的宽度沿着从所述旋转轴远离的方向而逐渐减少的部分。5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述第一限制部被设置于所述支承部上。6.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述第一限制部被设置于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：古畑诚，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP